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计量标准技术报告(尘埃粒子计数器)PAGE计量标准技术报告计量标准名称尘埃粒子计数器校准装置计量标准负责人李亮远绵阳市计量测试所填写日期2014年9月4-计量标准器名称型号测量范围不确定度或准确度等级或最大允许误差制造厂及出厂编号检定或校准机构检定周期或复校间隔聚苯乙烯标准粒子/0.4μmU=4.1nm(k=2)/上海市计量测试技术研究院一年聚苯乙烯标准粒子/0.5μmU=4.9nm(k=2)/上海市计量测试技术研究院一年聚苯乙烯标准粒子/0.6μmU=6.3nm(k=2)/上海市计量测试技术研究院一年主要配套设备标准粒子发生器HY-AG-4A(0.1~10)μm/苏州市华宇净化设备有限公司//电子秒表DM-010(0~9999)s±0.01s上海秒表厂绵阳市计量测试所一年转子流量计LZB-44L/min1.5级常州市丰流量仪表有限公司苏州市计量测试研究所一年转子流量计LZB-1040L/min1.5级常州市丰流量仪表有限公司苏州市计量测试研究所一年容量瓶/100mlA级YUBEI绵阳市计量测试所一年微量进样器W-410μL0.02μL上海安亭微量进样器厂绵阳市计量测试所一年绝缘电阻表HT26701000V10级武汉市华天电力自动化有限责任公司112336绵阳市计量测试所一年耐电压测试仪JNS-8910(0~4)kV5级德阳市电子仪器厂91-26绵阳市计量测试所一年四、计量标准的主要技术指标尘埃粒子计数器校准装置:测量范围:((0.1~10)μm不确定度:0.4μm:U=4.1nm(k=2);0.5μm:U=4.9nm(k=2);0.6μm:U=6.3nm(k=2)五、环境条件序号项目要求实际情况结论1温度(20±5)℃符合规程要求合格2湿度<75%RH符合规程要求合格3实验室洁净度10000级的净化室或净化区符合规程要求合格六、计量标准的量值溯源和传递框图上级计量标准直接测量溯源单位:上海市计量测试技术研究院直接测量溯源单位:上海市计量测试技术研究院计量标准名称及测量范围:扫描电子显微镜:(20~100000)倍/<2%2160线/mm方格光栅:20000倍以下/1.1%本所计量标准单位名称单位名称:绵阳市计量测试所计量标准名称:聚苯乙烯标准粒子测量范围:0.4μm、0.5μm、0.6μm测量不确定度(或最大允许误差或准确度等级):0.4μm:U=4.1nm(k=2);0.5μm:U=4.9nm(k=2);0.6μm:U=6.3nm(k=2)直接测量直接测量工作计量器具计量器具名称:计量器具名称:尘埃粒子计数器测量范围:(0.1~10)μm测量不确定度(或最大允许误差或准确度等级):粒子浓度重复性≤10%FS粒径分布误差≤±30%FS粒子浓度示值误差≤±30%FS七、计量标准的重复性试验方法:由于该检定装置是以有效期内聚苯乙烯标准粒子作为主标准器,具有国家标准物质证书。研制单位在研制过程中,已经对其均匀性和稳定性作过考核,并且,该标物开封后为一次性使用。因此,可不再做重复性试验。八、计量标准的稳定性考核方法:由于该检定装置是以有效期内聚苯乙烯标准粒子作为主标准器,具有国家标准物质证书。研制单位在研制过程中,已经对其均匀性和稳定性作过考核,并且,该标物开封后为一次性使用。因此,可不再做稳定性试验。九、检定或校准结果的测量不确定度评定一、概述依据JJF1190-2008《尘埃粒子计数器校准规范》,对尘埃粒子计数器进行测量。主要测量尘埃粒子计数器的粒子浓度示值误差和粒径分布误差,所以这里对尘埃粒子计数器的粒子浓度示值误差和粒径分布误差的测量不确定度进行评定。二、各不确定度分量的评定(一)粒子浓度示值误差测量结果的不确定度评定1、数学模型式是:——被校准仪器粒子浓度示值的算术平均值;——精密粒子计数器测得的粒子浓度平均值,为约定真值;——引用值,此处即为气溶胶所在洁净度等级的最高粒子浓度值。2、输入量的标准不确定度评定2.1输入量的标准不确定度u()通过连续测量得到测量列,采用A类方法进行评定。校准规范对尘埃粒子计数器测量重复性要求不大于10%FS,可得到标准不确定度:2.2输入量cs,的标准不确定度u(cs)评定由精密尘埃粒子计数器测量粒子确定气溶胶粒子浓度时引入的不确定度,由精密尘埃粒子计数器的比对报告给出u(cs)=U/k。以9台尘埃粒子计数器参加比对,则输入量cs的标准不确定度u(cs)为:3、合成标准不确定度uc的评定3.1灵敏系数数学模型灵敏系数3.2标准不确定度汇总表表1粒子浓度示值误差标准不确定度汇总结果标准不确定度分量不确定度来源标准不确定度/%civiu()被校尘埃粒子计数器的测量重复性3.2%FS1/cN3.2%50u(cs)精密尘埃粒子计数器测量粒子确定气溶胶粒子浓度时引入的不确定度6.1%FS-1/cN6.1%503.3合成标准不确定度的计算由于以上全部输入量彼此不相关,因此合成的标准不确定度与各输入量的标准不确定度满足下式:3.4合成标准不确定度的有效自由度veff为:4、扩展不确定度的评定取k=2,则扩展不确定度为:(二)、粒径分布误差测量结果的不确定度评定1、数学模型使用0.6μm粒子测量时h理论值=100%,使用0.4μm粒子测量时h理论值=0%。2、h值的不确定度评定不确定度的主要来源是:测量重复性和单分散标准粒子的相对标准偏差引起的标准不确定度u。因为尘埃粒子计数器最常用的是0.5μm粒径档,所以此处只对0.5μm粒径档的分布误差进行评定。2.1测量重复性引起的标准不确定度u1测量重复性引起的标准不确定度u1,是通过连续测量列进行评定的,属于A类不确定度。用一台被检尘埃粒子计数器,对单分散粒子气溶胶进行侧量,用0.6μm粒子和0.4μm粒子各测量10次,测得h测量列为25%,23%,22%,23,22%,22%,26%,25%,23%,21%和8%.7%,6%,996,5%,7%,6%,7%,10%,8%,得到测量列的单次实验标准差为s0.6=1.62%,s0.4=1.49%,取其中最大的作为本次测量的单次实验标准差,所以s=1.62%再任意选取2台尘埃粒子计数器,在同样的条件下用同样的方法连续测量10次,所以一共得到3组单次实验标准差,分别为1.62%,1.42%,1.49%合并样本标准差sp为因为实际测量是以3次测量值为测量结果,所以可得到:2.2单分散标准粒子的相对标准偏差引起的标准不确定度u2单分散标准粒子粒径分布的相对标准偏差≤5%,所以单分散标准粒子的相对标准偏差引起的标准不确定度u2为u2属于B类不确定度。3、合成不确定度的评定3.1标准不确定度汇总表表2粒径分布误差标准不确定度汇总结果标准不确定度分量不确定度来源标准不确定度/%civiu1被测量重复性0.87%10.87%50标准不确定度分量不确定度来源标准不确定度/%civiu2单分散标准粒子15.0%503.2合成标准不确定度的计算由于以上全部输入量彼此不相关,因此合成的标准不确定度u}(从)与各输入量的标准不确定度满足下式:3.3合成标准不确定度的有效自由度veff为:4、扩展不确定度的评定取k=2,则扩展不确定度为:三、结语尘埃粒子计数器测量过程中,每项测量项目的测量结果独立给出,因此,进行测量结果不确定度来源分析及其评定时要针对每项进行。其中仪器型号不同、所使用计量器具不同,其评定结果也不同,应根据实际情况进行分析评定。十、检定或校准结果的验证方法:选取正常工作的尘埃粒子计数器,型号;CLJ-3106L,生产厂∶苏州市华宇净化设备有限公司,出厂编号∶135164,对其进行检定,其检定结果与上级法定计量机构检定结果进行比较如下(以示值误差为例):检定项目本装置结果上级法定计量机构粒子浓度示值误差10.0%FS10.2%FS1≤即≤因此,该项计量标准检定结果的验证符合要求。十一、结论经分析与验证,本装置在检定时的技术指标、测量重复性、稳定性等性能符合JJF1190-2008《尘埃粒子
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