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文档简介
应用于LED品质提升的静电测试技术
一、前言LED应用已扩大至各个领域,包含LCDBacklight、手机Backlight、号志灯、艺术照明、建筑物照明及舞台灯光控制、家庭照明等领域,根据DIGITIMESReasearch调查,2010~2015的需求成长高达30%,促使LED产能的大幅增加。随着LED应用环境的多元复杂化,LED下游商对上游晶粒品质的要求日趋严苛,如LED耐静电测试(ElectrostaTIcDischarge,ESD)的电压值就从原来4kV要求,逐渐提高到8kV,以容忍户外的恶劣环境。所以高压LED耐静电测试为目前LED晶粒点测机中,急待开发的关键模组。环境中各种不同模式的静电,包含人体静电或机械静电,均会对LED造成损坏。当静电通过感应或直接触碰于LED的两个引脚上的时候,电位差将直接作用在LED两端,而电压超过LED的承受值时,静电电荷以极短时间内在LED两个电极间进行放电,造成LED绝缘部位损坏,产生漏电或短路等现象。所以固态技术协会JEDEC(JointElectronDeviceEngineeringCouncil)于JESD22-A114E、JESD22-A115A中,制定人体静电放电模式(HumanBodyModel,HBM)与机器装置放电模式(Machinemodel,MM)的测试规范,来确保LED产品的品质。但购买国外高压产生器搭配充放电切换电路,并整合Prober与自动化移动平台主要缺点为反应速度慢(0至4kV上升时间500ms),且未考量探针的高压绝缘,所以有晶粒分类速度慢及测试波型稳定性不足等严重问题,常会击穿LED或充放电模组,如图1,或机台高压测试性不足,出货后仍被高压静电损坏,直接影响LED成品品质。加上晶圆上2万~4万颗晶粒测量的时间常费时超过1小时,需要缩短检测时间以提高产能。因此本文透过开发针高速大动态范围LED晶圆静电量测模组,于高速多电压切换高压产生组件设计使用动态范围控制电路与PID回授控制,以高电压动态范围(250V-8kV)及高速静电测试(80ms),如图2A与图2B,来满足国内LED产业需求,达成降低成本与关键模组自制化之目的。图1LED遭静电损害图2A高速大动态范围静电量测模组短路静电测试电流波形图2B高速多电压切换高压产生组件电测试输出电压波形
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