质量检验-多晶硅片质量检验规范

多晶硅片质量检验规范

文件编号：IC-IG-102

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式实施

目录

--适用范围

二.引用标准

三.检验项目

四.检验工具

五.实施细则

六.相关记录

附表1:硅片检验项目及判定标准

附件1:二级硅片分类及标识方法

附件2：125x125mm划片技术要求及标识方法

附件3:硅片“亮线”的判定标准

1.适用范围

本细则规定了多晶硅片的电性能、外观尺寸的检验项目、测量器具、检测方

法、操作步骤、判定依据，适用于正常生产的多晶硅片的质量检验。

2.引用标准

«Q/BYL02太阳能级多晶硅片》

《太阳能级多晶硅片内控标准》

3.检验项目

电性能、外形尺寸、外观

4.检测工具

硅片自动分选机、游标卡尺(0.02mm)、测厚仪、万能角度尺。

5.实施细则

5.1表面质量

目测外观符合附表1相关要求。对整包硅片重点查看B4,B7、TTV、缺口、

碎片、油污等情况；整包里的B4片在迎光侧表现为“亮点”背光侧较暗；

B7、TTV片手感表现较重的，利用分选机重新分选；油污一般为斑点形式，

擦拭不掉，无论面积大小均需重新清洗。

5.2外型尺寸

通过硅片自动分选机分选判定，符合附表1相关要求。

5.3电性能

依据硅锭/硅块测试数据判定，必要时用相关测试仪器核实。

5.3抽检方法

(1)对硅片车间自检合格的包装硅片或直传片，采取一次抽检(抽检比例8%),

不合格比例不高于0.5%。每次抽检不合格率大于0.5%时，通知清洗班长

重新分选，对重新分选片抽检合格后可入库。

(2)抽取8%硅片进行检测，其结果作为该批硅片合格的判定依据。

注：针对分选机现状，分选机分选A等硅片由清洗工序包装时进行简易分选；

B3、B5、B9硅片人工分选，B7、B8硅片分选时加大抽检力度，避免不合格

硅片混入。

1、相关记录

附表1:硅片检验项目及判定标准

检验标准

检验项目■一^级品5k品

电性能指标

电阻率0.7~2Q•cm2~4O・cm

少子寿命>2|llS1~2口s

外形尺寸及外观

几何形状正方形

厚度及公差210Rni±30.m

200.m±25.m

(160-180Mm)±20|im

TTV210口用450口111210|Lini<50|am

200口40口m200Mm<40pm

(160-180|nni)<35nm35Hm<(160-180口m)

<45pm

尺寸及公差156mm±0.5mm或156mm±0.8mm或

125mm±0.5mm125mm±0.8mm

角度及公差90°±0.3°

倒角45°±10°

倒角长度1.5mm±0.5mm1.5mm±1mm

崩边（长度*延伸深度）崩边尺寸＜1mm*1mm,崩边尺寸＞1mm*1mm,

个数不限个数不限

缺口<0.lmm*0.1mm,个数不限

锯痕420口m<40|nm

小晶粒无面积小于30*30mm2

翘曲度<100nm

亮线详见《亮线判定标准》

弯曲度<100m

表面质量表面平整，无裂纹、孑㈠同、表面平整，无裂纹、孔洞、

缺口等；清洗干燥后，表缺口等；清洗干燥后，表

面洁净、无斑点、沾污、面允许有轻微的水印、斑

手印等；点、沾污等，且《总面积

的5%

注：在线抽取8%多晶硅片进行检测，其结果作为批量多晶硅片合格的判定依据。

附件1:二级硅片分类及标识方法

按优先级B1至B9无重复排序标示如下：

B1几何尺寸偏差，其它检验参数符合一级品标准。

注：具体情况在标签上注明（尺寸、倒角）。

B2晶粒小，其它检验参数符合一级品标准。

B3少子寿命1~2口s,其它检验参数符合一级品标准。

B4小崩边，其它检验参数符合一级品标准。

B5电阻率2~4Q•cm,其它检验参数符合一级品标准。

B6156mm*156mm硅片划片后的125mm*125mm硅片

B7锯痕20~401nm或亮线二级（参考《亮线判定标准》。），其它检验参数符合一

级品标准。

B835um<ttv<45um,其它检验参数符^—级品标准。

B9表面沾污

如果存在两种以上的二级缺陷，以级别较高的等级作为归类依据，优先级别排列

如下：

第一级第二级第三级第四级第五级第六级第七级第八级第九级

B1B2B5B3B8B7B4B9B6

附件2:125x125mm划片技术要求及标识方法

1、156*156硅片划为125*125硅片，少子寿命》2口s,电阻率为0.7-2Q.cm,

锯痕小于20口m,其它检验参数也符合一级品标准。

2、标识：Ingot（锭号）标H,等级标B6。

3、表面沾污的脏面硅片，一定要重新清洗，否则按不合格片处置。

4、划片后，外形尺寸超过125±0.5mm，倒角尺寸超过1.5±0.5mm,角度超过45

±10°判不合格。

附件3:硅片“亮线”的判定标准

一、亮线处，测试深度小于10m的硅片

1、单面亮线：

亮线面积大于硅片面积的1/2,为B7

亮线面积小于硅片面积的1/2,为A等

2、双面亮线：

亮线面积大于硅片面积的1/4,为B7

亮线面积小于硅片面积的1/4,为A等

二、亮线处，测试深度10~20m的硅片

1、单面亮线：

亮线面积大于硅片面积的1/4,为B7

亮线面积小于硅片面积的1/4,为A等

2、双面亮线:

亮线面积大于硅片面积的1/2,为不合格

亮线面积小于硅片面积的1/2,为B7

注：检测亮线深度使用自动分选设备。

制绒工序检验规范

1.适用范围

本规范适用于电池车间制绒工序的过程检验。

2.引用标准

《多晶硅电池内控标准》

《太阳能级多晶硅片内控标准》

《制绒工艺操作规程》

3.检验项目

硅片外观质量、传送带速、腐蚀酸槽温度、腐蚀深度

4.检验工具

电子秤（千分之一）、卡尺、测厚仪

5.检验标准

5.1硅片的外观质量、几何尺寸（参考项目）的检验，参照《太阳能级多晶硅片内控标准》。

5.2为保证腐蚀质量，要求传送带速控制在0.8-1.2m/min；酸槽腐蚀温度控制在35度以下。

5.3156*156mm硅片经过制绒后，平均腐蚀深度目标值为4.6um—4.8um,腐蚀量超出目标

值必须进行工艺调整，合格品范围单片值为3.5um-5.4口m,超出此范围应停产调试。否

则为不合格并通知车间技术员进行相关处理。

6.检验方法及判定规则

6.1目测硅片外观质量，包括崩边、缺角、裂纹、表面质量等；利用卡尺、测厚仪对硅片的

几何尺寸进行检测。生产前随机抽取5包原硅片进行外观质量检查，并每包取2片进行几何

尺寸的检查，符合《太阳能级多晶硅片内控标准》的判合格，否则判不合格；合格硅片可正

常生产，不合格品需通知当班负责人进行复查，复查合格可正常生产，但需进行重点跟踪；

复查仍不合格，需通知硅片车间进行退换或协商后处理。

6.2腐蚀深度检测：先利用电子秤称量3片（5道设备）/4片（8道设备）腐蚀前硅片的质

量，将此质量按顺序填写在工序腐蚀深度记录表中，同时记录好工艺条件（如腐蚀温度、传

输速度等参数），并按照第1、3……5,7（第二次2、4、6、8）道的顺序装片投入腐蚀槽运

行工艺。制绒后按照放置顺序取出此称重硅片，再称量腐蚀后硅片的重量，填入表格，利用

电子表格的公式直接求出腐蚀深度等值。

硅片的单面腐蚀深度平均值为4.6-4.8微米，每次称量允许有一片的腐蚀深度不在该范

围内，如果有大于1片超出此范围应当复测一次，如果仍有大于1片超出范围，应当立即通

知当班工艺人员进行调整,记录更改参数并增加对腐蚀深度的检测,卷半小时进行一次测量,

直至测量结果符合标准要求后恢复正常称重频率。

6.3本规范规定的的各项工艺参数由技术部、车间协商确定，适用车间正常生产。如需进行

范围外调整或小规模车间工艺试验，需由技术部或车间技术人员认可并附相关技术试验单，

同时检验时以相应试验单作为检验依据，无技术试验单的范围外调整一律视为违反工艺操

作。质量管理部有权对违反工艺的操作进行处罚。

7.注意事项

7.1检查硅片或称重时要及时更换手套，在操作过程中保持硅片表面清洁，避免引起粘污。

7.2因工艺不断优化，在实验或实验性生产过程中参数调整或要求会超出此标准要求，为有

效起到工艺监督作用，范围外工艺试验或调整必须得到相关技术部门认可，并有书面技术要

求或范围作为新的依据。

扩散工序检验规范

1.适用范围

本规范适用于电池车间扩散工序的过程检验。

2.引用标准

《扩散工艺操作规程》

《四探针测试仪使用说明书》

《少子寿命测试仪使用说明书》

《多晶硅电池内控标准》

3.检验项目

3.1检测项目：方块电阻

3.2工艺监督：少子寿命

4.检验工具

四探针测试仪、少子寿命测试仪

5.检验标准

5.1硅片经Tempress扩散炉扩后方块电阻范围为：单点50-66Q/sq,工艺控制目标为平均

值58±3Q/sq；Centrotherm扩散炉扩后方块电阻范围为：50-66Q/sq,工艺控制目标为平

均值58+3Q/sq。

在全部90个（45个）点中允许有不多于4个（2个）点超出范围（＞66Q/sq或V50Q/sq）,

如果有多于4个（2个）点超出此范围为不合格，应当立即通知当班技术员进行处理。

允许直接下传方块电阻范围为45-70Q/sq,超出此范围电池片需再利用，不允许直接

下传。

5.2对扩散后硅片的少子寿命进行监测，并做相应记录，不作判定。

6.检验方法及判定规则

6.1每班每种设备检测两次扩散后少子寿命，每次5片一；对方块电阻可抽检，每班每管至少

检测一次，方法如下：

6.1.1取片方法

待硅片冷却后方可进行抽取测量，从source区到load区顺序均匀取出。使用四探针测试仪

对硅片的源面进行方块电阻测量，把数据按炉管进行汇总填入Excel表格。

6.1.2方块电阻和少子寿命具体测试方法参照《四探针测试仪使用说明书》和《少子寿命测

试仪使用说明书》，并详细记录相关数据。

6.1.3方块电阻的测量值应符合5.1要求，如出现不符合情况，测试人员应立即通知车间工

艺人员进行工艺调整，并将不符合内容进行记录。对方块电阻进行跟踪检测，直到符合5.1

要求。

6.2本规范规定的的各项工艺参数由技术部、车间协商确定，适用车间正常生产。如需进行

范围外调整或小规模车间工艺试验，需由技术部或车间技术人员认可并附相关技术试验单，

同时检验时以相应试验单作为检验依据，无技术试验单的范围外调整律视为违反工艺操

作。质量管理部有权对违反工艺的操作进行处罚。

7.注意事项

7.1测试时必须首先带好洁净的检查手套，测试过程中要保证暗室不透光线，硅片冷却后方

可测量。

7.2因工艺不断优化，在实验或实验性生产过程中参数调整或要求会超出此标准要求，为有

效起到工艺监督作用，范围外工艺试验或调整必须得到相关技术部门认可，并有书面技术要

求或范围作为新的依据。

湿法刻蚀工序检验规范

1.适用范围

本规范适用于电池车间湿法刻蚀工序的过程检验。

2.引用标准

《多晶硅电池内控标准》

《湿法刻蚀工艺操作规程》

3.检验项目

扩散后硅片外观质量、刻蚀槽温度、腐蚀深度、腐蚀边缘宽度

4.检验工具

电子称（千分之一）、钢板尺

5.检验标准

5.1扩散后硅片的外观质量、几何尺寸（参考项目）的检验，参照《多晶硅电池内控标准》

5.2156*156mm硅片经过湿法刻蚀后，腐蚀深度要控制在L0-1.4um,超出此范围要通知当

班技术员进行调节；每组测试的片间腐蚀深度小于0.9um、大于1.8Um为不合格并通知

车间技术员进行相关处理

5.3腐蚀后刻蚀边宽度小于1mm

6.检验方法及判定规则

6.1为保证腐蚀质量，传送速度应控制在1.0-1.4m/min,刻蚀槽温度应控制在10度以下，碱

槽控制在25度以下。

6.2每台设备每两时检测一次硅片的腐蚀深度，具体检测方法如下：

先利用电子秤称量3片（5道设备）/4片（8道设备）腐蚀前硅片的质量，将此质量

按顺序填写在工序腐蚀深度记录表中，同时记录工艺条件（如腐蚀温度、传输速度等参数）,

并按照第1、2……5、6、7、8道的顺序装片投入腐蚀槽运行工艺。制绒后按照第1、2……

5、6、7、8道的顺序取出此称重硅片，再称量腐蚀后硅片的重量，填入表格，利用电子表

格的公式直接求出腐蚀深度等值。

硅片的单面腐蚀深度为1T.4微米，每次测试允许有一片的腐蚀深度不在该范围内，如果有

多于一片超出此范围应当复测一次，如果仍有大于一片超出范围，应当立即通知工艺技术员

进行调整。记录更改参数并增加对腐蚀深度的检测，每半小时进行一次测量，直至测量结果

符合标准要求后恢复正常称重频率。

6.3随时对刻蚀后边缘宽度进行观察，目测刻蚀边缘宽度是否符合5.3标准要求，必要时对

刻蚀边宽度使用钢板尺进行测量，发现不合格时立即通知车间技术人员进行调整。

6.4本规范规定的的各项工艺参数由技术部、车间协商确定，适用车间正常生产。如需进行

范围外调整或小规模车间工艺试验，需山技术部或车间技术人员认可并附相关技术试验单，

同时检验时以相应试验单作为检验依据，无技术试验单的范围外调整一律视为违反工艺操

作。质量管理部有权对违反工艺的操作进行处罚。

7.注意事项

7.1检查硅片或称重时要及时更换手套，在操作过程中保持硅片表面清洁，避免引起粘污。

7.2因工艺不断优化，在实验或实验性生产过程中参数调整或要求会超出此标准要求，为有

效起到工艺监督作用，范围外工艺试验或调整必须得到相关技术部门认可，并有书面技术要

求或范围作为新的依据。

PECVD工序检验规范

1.适用范围

本规范适用于电池车间PECVD工序的过程检验。

2.引用标准

《PECVI）工艺操作规程》

《椭偏仪使用说明书》

《多晶硅电池内控标准》

3.检验项目

检测项目：减反射膜厚度、折射率

监督项目：维护周期

4.检验工具

椭偏仪

5.检验标准

绒面硅片经PECVD镀膜后减反射膜厚度目标平均值为88±2nm,表面折射率平均目标值应为

2.08+0.03o超出范围应当立即通知当班技术员进行处理。减反射膜厚度单点超出82-92nm

或折射率单点超出2.0-2.13为不合格。

6.检验方法及判定规则

6.1每班每台设备检测两次减反射膜厚度以及表面折射率，具体检测方法如下：

横向取每舟中间5片镀膜后硅片，测量时使用椭偏仪对硅片按下表位置顺序进行5点法

测量，1、2、3、4测量点距边2cm。具体操作方法参照《椭偏仪使用说明书》。详细记录相

关数据。

减反射膜厚度以及表面折射率的测量值符合检验标准要求为合格，否则为不合格。出现

不合格情况后，测试人员应立即通知车间工艺人员进行工艺调整,并将不符合内容进行记录。

同时进行跟踪检测，直到测量值符合标准要求。

6.2设备维护周期要求为120小时，最长不超过140小时。

6.3本规范规定的的各项工艺参数山技术部、车间协商确定，适用车间正常生产。如需进行

范围外调整或小规模车间工艺试验，需山技术部或车间技术人员认可并附相关技术试验单，

同时检验时以相应试验单作为检验依据，无技术试验单的范围外调整一律视为违反工艺操

作。质量管理部有权对违反工艺的操作进行处罚。

7.注意事项

7.1测试时必须首先带好洁净的检查手套，不可用手直接接触减反射膜，避免沾污。

7.2维护时间目标值为120小时，车间制定维护计划时需按照120小时执行，特殊情况下可

延长维护时间，但最长不超过140小时。

7.3因工艺不断优化，在实验或实验性生产过程中参数调整或要求会超出此标准要求，为有

效起到工艺监督作用，范围外工艺试验或调整必须得到相关技术部门认可，并有书面技术要

求或范围作为新的依据。

印刷测试工序检验规范

1.适用范围

本规范适用于电池车间印刷和测试工序的过程检验。

2.引用标准

《印刷测试工艺操作规程》

《太阳电池测试仪使用说明书》

《多晶硅电池内控标准》

3.检验项目

3.1检测项目：背面铝浆重量、正面银浆重量

3.2工艺监督：测试环境温度、测试仪校准、测试设备一致性、探针更换周期

4.检验工具

电子秤（千分之一）、太阳电池测试仪

5.检验标准

5.1156*156mm的电池片单片背面铝浆的重量为：L3-1.5g

5.2156*156mm的电池片Ag浆的单片印刷重量：杜邦PV系列目标范围0.21—0.23g,印刷

重量在0.20—0.25g之间视为合格半成品；Heraeus系列：目标范围0.25—0.27g,印刷重

量在0.23-0.3g之间视为合格半成品；其它新型浆料以技术部相关通知为准

5.3标准片校准时允许的平均偏差范围：Voc:±0.003V,Isc:±0.02A

5.4标准更改前后测试偏差、电池复测效率范围、设备间一致性允许的偏差范围：

Eff:±0.2%；目标值Eff:±0.1%

5.5探针更换周期：小于30万片电池

5.6测试环境温度要求25±3℃

6.检验方法及判定规则

6.1银浆、铝浆重量每台设备每一小时称量一次，每次称1片。具体操作方法为：首先从生

产线上取下一片未印相应浆料的硅片，放在电子秤上对其进行称量，取下该硅片后，对电子

称进行去皮清零。然后将秤重后的硅片放入运行中的传送带I.,印完后将该硅片取下，放在

去皮后的电子称上对其进行秤量，此时电子称显示的数据即为相应浆料的重量。详细记录相

关数据。

印刷重量应符合5.1、5.2要求。如出现不符合情况，复测一次仍不符合标准要求时.，

工序人员应立即对•工艺进行调整至符合标准要求，同时在工艺调整后两小时内增加称重频

率，每半小时称重一次并记录称重数据。

印刷量不合格电池片可重擦后再利用，禁止印刷不合格片下传。

6.2设备正常生产时，接班后要用标准片对每条测试线的电池测试仪进行测试检查，每4

小时重复一次校准，保留每次校准数据，具体校准方法：

A将不少于三片标准片放置于正常运行生产线上，全部测试完成后对比测试结果，符合5.3

要求时，测试线正常生产，将测试数据储存在测试的电脑中。

B如发现测试电流参数超出5.3规定的误差范围，将标准片再次放到传送线上，当第一片标

准片测试完成后进行以下工作：①点击测试设备上的“STOP”按钮，停止设备运行；②点击

测试软件界面中“PAUSE”按钮，停止软件运行；③选取菜单栏Measurement里的“Edit

MonitorCells”选项,在弹出的对话框中点击“Edit”按钮,之后在弹出的“MonitorCell”

对话框中点击“Calibrate”按钮，接着在弹出的“Scload-STD”对话窗口中点击“0K”按

钮，进入uCalibrateMonitorCell^^界面,选中Isc选项，删除Isc对应文本框的数值,

输入标准片标称电流值，点击“0K"退出"CalibrateMonitorCell"对话框，点击“OK”

返回“Edit”界面，最后点击“Close”，完成电流校准工作。④点击测试软件界面中的红色

aStartAutomaticOperationsw按钮（或按F5键），在弹出的对话框中选择"OK"（或按

键盘中Enter键），确认开启软件；⑤点击测试设备上的“START”按钮，开始设备运行。⑥

再次用标准片验证测试仪标准,重复以上内容直至符合5.3要求。详细记录校准好标准数据。

在标准更改的前提条件下，如果标准更改前后，标准片转换效率偏差小于0.1%,则变

动标准前测得电池为电性能合格电池。如果标准片转换效率偏差大于0.现，需将标准更改

前当班该线所测电池片进行电性能重测；如标准更改发生在接班后，需对上班次该线生产电

池进行电性能抽检。抽样方法为：在上班次该线所生产的平均效率±0.4%范围内，从每个等

级中随机选取两包电池片，每包随机抽取不少于20片一，进行电性能复测，按照5.4要求进

行判定，抽测不合格的需将所抽检批次全部进行复测。

C因电压、填充因子存在偏差，导致不符合5.3、5.4,需通知车间技术员对设备进行调整,

并跟踪调整过程，直至标准片验证符合标准要求。

6.3随时对测试线温度进行检查，发现不符合5.6要求时，立即通知车间外围进行调整。

6.3检验各条测试线的一致性，具体方法为：当班校准标准以后，取8片以上同一等级的电

池，在各条测试线上测试一次，并将测试数据进行对比，各条测试线各项参数之间的差异符

合5.4要求可正常生产，如有不符合情况，需用标准片验证或校准,四小时后再次将该批电

池片进行测试，测试要求同上。将每次的测试数据均储存在测试的电脑中。

6.4本规范规定的的各项工艺参数由技术部、车间协商确定，适用车间正常生产。如需进行

范围外调整或小规模车间工艺试验，需由技术部或车间技术人员认可并附相关技术试验单，

同时检验时以相应试验单作为检验依据，无技术试验单的范围外调整一律视为违反工艺操

作。质量管理部有权对违反工艺的操作进行处罚。

7.注意事项

7.1正常情况下标准片的使用次数为30-50次或三个班次。规定使用次数内，电池测试仪正

常工作，测试标准片电压电流值需保证在规定误差范围内。如果标准片的FF值相比标准数

据下降超过1.5个百分点或者转换效率相比标准数据下降超过0.4个百分点,此时应更换新

标准片。

7.2标准片要在干燥密封的环境下保存，防止被氧化。标准片更换采用批次更换，即每次更

换需同时更换已使用过的所有标准片，禁止每次只更换不合格标准片。

7.3在浆料称重和测试仪校准时都必须配戴洁净的检查手套,避免用手直接接触电池片而引

起沾污。

7.4因工艺不断优化，在实验或实验性生产过程中参数调整或要求会超出此标准要求，为有

效起到工艺监督作用，范围外工艺试验或调整必须得到相关技术部门认可，并有书面技术要

求或范围作为新的依据。

7.5为保证数据不被丢失，要求各测试线校准数据、一致性对比数据等，每两个月一次将数

据拷贝到专用硬盘保存。

包装工序检验规范

1.适用范围

本规范适用于电池车间包装工序的过程检验。

2.引用标准

《包装工艺操作规程》

《太阳电池测试仪使用说明书》

《多晶硅电池内控标准》

3.检验项目

3.1检测项目：电池外观质量、电池电性能

3.2工艺监督：标签填写

4.检验工具

千分尺、太阳电池测试仪

5.检验标准

5.1复测时与标称值允许的偏差范围：Eff:±0.2个百分点

6.检验方法及判定规则

6.1操作人员要随时对当班生产的电池外形尺寸、外观进行抽检，并不定期对已入库电池进

行抽检，外形尺寸质量检验项目、标准要求为：

项目A级品B级品

对角线偏差小于1mm偏差小于1mm

侄1］角标称±0.5mm标称±1mm

厚度

155-225um155-225um

（包括栅线、背场）

尺寸及公差156mm±0.5mm或125mm±0.5mm156mm±0.8mm或125mm±0.8mm

弯曲度小于单边长度的2%小于单边长度的3%

外观质量检验项目、标准要求为:

项目A级品B级品

长、宽均不大于1mm的崩边，每片允宽度小于1mm,长度不限。

崩边许1处。（平行于电池边为长，向内延

伸方向为宽，下同）

长度小于3mm，同时满足宽度小于1mm

缺口不允许

的非尖锐缺口每片允许1处

允许轻微水痕，以边长为5mm正方形

任意位置、方向覆盖缺陷处，正方形

水痕不允许

外部无缺陷的，且在一臂距离处看时

与电池片表面颜色没有明显反差.

允许轻微手印，以边长为5mm正方形

任意位置、方向覆盖缺陷处，正方形

手印不允许

外部无缺陷的，且在一臂距离处看时

与电池片表面颜色没有明显反差

允许轻微色斑，以边长为5mm正方形

任意位置、方向覆盖缺陷处，正方形

色斑不允许

外部无缺陷的，且在-臂距离处看时

与电池片表面颜色没有明显反差

色差同一包内均匀一致，无跳色同一包内均匀一致，无严重跳色

背场油斑不允许不允许

不高于0.1mm（除与传动带接触点，

背场颗粒其它不允许存在人为原因造成的凸起不高于0.2mm（同A）的非尖锐高点

或高点）的非尖锐高点

主栅线无断栅现象，细栅线0.5-2mm主栅线无断栅现象，细栅线0.5-3mm

的断栅每片允许3处,细栅线小于的断栅每片允许3处，细栅线小于

断栅

0.5mm的断栅每片允许10处，不允许0.5mm的断栅每片允许10处，不允许

回路中出现连续断栅回路中出现连续断栅

栅线粗细不均无明显粗细不均无明显粗细不均

栅线偏移栅线整体偏移＜0.3mm栅线整体偏移WO.5mm

湿法刻蚀缺陷刻蚀边缘不允许超过栅线刻蚀边缘不允许超过栅线

背电极缺陷背电极平滑完整,无脱落剥离现象背电极平滑完整,无脱落剥离现象

浆料污染正表面污染不允许正表面污染不允许

允许有面积小于25mm2的印刷不完整

背电场缺陷不允许

缺陷。

以班次为单位，外观抽检数量••般不少于产量的5%,外形尺、『抽检不少于产量的0.5%,当

抽检不合格比例不超过0.5%时，该批次电池合格入库，并详细记录抽检结果；否则进行二

次分选，并继续重点检查分选后质量，复查合格后方可入库。

6.2电性能检查：测试人员要随时对当班生产电池的电性能进行抽测（可与外观检查同时进

行，），抽测重点为•段时期内平均效率所在的等级，以生产线为单位，正常情况卜抽检周期

不超过2小时。每次抽检不同等级，每次抽测数量不少于6片。以下两种情况，视为合格批

次，需详细记录抽检数据：①各项参数符合5.1要求；②超出5.1要求，重测该等级至少两

包电池片，每包极值偏差不大于0.6%（即包内效率最大值、最小值之间差值小于0.6%）,且

重测平均效率需满足标称±0.1%。其它情况均为不合格。

发现不合格情况后,应加测两包以上该生产线相应等级的电池，同时加抽该线其它等级电池,

并通知当班班组长，判定依据为：①加测未发现不合格情况，正常生产；②加测仍只有该等

级电池片不合格，需将该线生产相应等级电池全部重测：③如出现两个等级以上（包含两个）

不合格情况，需将该生产线所有电池片重新测试。

6.3合格电池入库需车间填写《自产电池报检及报告单》，填写抽检结果，出具合格判定，

报领导审批后方可入库。

6.4标签必须按照要求进行填写，包括等级、效率、色号、数量、生产单位、班组、生产日

期、员工编号、丝网、浆料类型等，且必须保证标签与包内电池性能一致。

6.5本规范规定的的各项工艺参数山技术部、车间协商确定，适用车间正常生产。如需进行

范围外调整或小规模车间工艺试验，需由技术部或车间技术人员认可并附相关技术试验单，

同时检验时以相应试验单作为检验依据，无技术试验单的范围外调整一律视为违反工艺操

作。质量管理部有权对违反工艺的操作进行处罚。

7.注意事项

7.1在成品外观检查和电性能复测时时都必须配戴洁净的检查手套，避免用手直接接触电池

片而引起沾污。

7.2由于其它原因造成的电池性能区别于正常电池，标签需要按照相应要求进行增加或更

改。

7.3为保证数据不被丢失，要求各测试线效率抽测数据，每两个月一次将数据拷贝到专用硬

盘保存。

太阳电池生产用

原材料检验规范

目录

一.适用范围

二.名词定义

三.材料名称

四.主要参照规范性文件

五.主要检验项目

六.常用的检验器具及材料

七.实施细则

1.检验要求

2.注意事项

3.检验内容及判定方法

八.处置

附表1：氢氧化钾化学成分要求

附表2：硝酸化学成分要求

附表3:盐酸化学成分要求

附表4：硫酸化学成分要求

附表5：氢氟酸化学成分要求

附表6：三氯氧磷成分要求

附表7：银铝浆、银浆、铝浆质量要求

附表8：抽样检验标准

一.适用范围

本规范规定了电池用材料的检验项目、测量器具、检测方法、判定依据，适

用于电池用各种材料的进厂质量检验。

对于型式试验只做说明。

二.名词定义

辅助材料是指直接用于生产，在生产中起辅助作用，不构成产品主要实体的

各种材料。按其在生产中所起作用的不同，又可分为：（1）加入产品实体与主要

材料相结合，或使主要材料发生变化，或给予产品某种性能，如特殊气体等；（2）

被劳动工具所消耗，如丝网、化学试剂等。

包装材料。一般用包装材料，如纸张、麻绳、铁皮等，可归入辅助材料类。

公司所用燃料、修理用备件（备品备件）、工装工具不纳入辅助材料。

备注：

燃料是指工艺技术过程或非工艺技术过程用来燃烧取得热能的各种材料。包

括固体燃料、液体燃料和气体燃料。

修理用备件（备品备件）是指为修理本企业机器设备和运输工具所专用的各

种备品备件。如轴承、齿轮等。

工装工具是指为创造正常劳动条件而消耗的各种用具。如清洁工作地点的拖

把等

三.材料名称：

本规范材料主要包括氢氧化钾、硝酸、盐酸、硫酸、氢氟酸、三氯氧磷、浆

料（银铝浆、银浆、铝浆）、丝网、其他。

四.主要参照规范性文件

GB/T2828.1-2003《计数抽样检验程序》

T-SS-005《电池原材料技术标准》

五.主要检验项目

1、出厂证明检查2、包装检查3、外观检验4、性能测试

六.常用的检验器具及材料

k钢板尺2、游标卡尺3、经纬密度测试仪

4、张力计5、放大镜

七.实施细则

1、检验要求

1.1验证出厂证明。

检查材料有无出厂检验证明，包括合格证、出厂检验/试验报告或有关记录。

核对检验报告中结果是否符合材料对应的质量要求。

1.2目测检查包装。

a、对于有外包装的材料，需要检查外包装标识；全检。查看并对照供货清单，

核对的到货批号是否与实际到货批号相同；同时查看包装质量。对于包装破

损的，要查看是否对材料造成损伤和污染。

b、对于有内包装的材料，如果无特殊要求，不影响储存，可打开包装，按

GB/T2828.1-2003二次抽样方案按箱进行抽检；否则，只采取验证方式检验。

c、记录：供货厂家、规格型号、供货数量、生产日期、包装状况、损伤和污染

程度等。

1.3检验外观。

如果无特殊要求，不影响储存，可打开包装，按GB/T2828.1-2003二次抽样

方案按箱、桶或托盘进行抽检，目测、手感；否则，只采取验证方式检验，可和

1.2同时进行。

1.4测试性能

根据各种材料的性能特点，使用相应的设备、测量工具，按照相应的操作规

程进行试验测量。需要时，一般取1~3个样品。

记录：所用材料的厂家、型号。

2、注意事项

2.1合格证明材料有时为发货书面报告，有时为电子版文件（需要采购部门提供）,

有时为内、外包装标识。

2.2保存上述有关资料，记录块少文件。

2.3对于包装破损的均要查看，发现问题时，记录厂家生产日期、批号或相应检

验员姓名/编号等。

2.4抽样时，要注意样本应具有代表性、典型性等，需要多次测量。

2.5包装打开检查或取样完成后，需要对包装进行恢复，用胶带或绑扎带等材料

封装，做好标识，并通知库房。

3、检验内容及判定方法

各种材料检验项目、质量要求、结果判定数据见下表:

序材料检测

标准要求方法结果判定

号名称项目

出厂证明齐全，标识与报检内容相符合要求，判定合格；否

氢氧验证

证明同、清晰可见。则不合格。

化钾、

包装未对化学试剂造成污

硝酸、

包装完好；如包装破损不至于对染或破坏，不影响储存，

盐酸、

包装材料造成损伤和污染，不影响储目测判定合格；否则判定不合

1硫酸、

存。格。若缺陷集中在个别包

氢氟

装内，判定部分不合格。

酸、

按照出厂报告单对比化学

三氯化学

详见附表1~6验证技术标准，符合要求，判

氧磷成分

定合格；否则不合格。

出厂证明齐全，标识与报检内容相同、符合要求，判定合格；否则

验证

证明清晰可见。不合格。

a、外包装完好；如包装破损不至外包装未对浆料造成污染或

银铝

于对材料造成损伤和污染，不破坏，不影响储存，内包装

浆包装目测

影响储存。符合要求，判定合格；否则

2b、内包装为真空塑料袋包装。判定不合格。

银浆

符合要求，判定合格；否则

、外观无明显硬块等异常现象目测

不合格。

铝浆

按照出厂报告单对比技术

化学

详见附表7验证标准，符合要求，判定合

成分

格；否则不合格。

出厂证明齐全，标识和报检内容相同、符合要求，判定合格；否则

3丝网险证

证明清晰可见。判定整批不合格。

塑料包装，包装完好；不能对丝符合要求，判定合格；否则

包装目测

网造成污染，不影响储存。判定该块不合格。

目测；

符合要求，判定合格；否则

外观丝网外观无孔洞、色差必要时，放大

不合格。

镜观察

钢板尺、卡尺

尺寸见图纸

测量

目数经纬密度测试符合要求，判定合格；否则

±5目

偏差仪，正面观测不合格。

张力

+2N张力计

偏差

4其他—符合使用要求使用中检验—

八、处置

1.各检验指标全部合格时，检验员按要求在有关单据上注明“合格”，备注主要

数据，做好检验标识。由采购部门办理入库手续。

2.不合格时，由检验员在有关单据上注明原因，通知采购部门，由采购部门按

采购流程进行处置。

3.遇到紧急情况，采购部门可提出申请，报总工程师（或主管副总）批示例外

放行或降级使用；总工程师不在时，可由技术部、质检部评定，达成共同意

见。经批准，采购部门办理入库手续，同时采取纠正预防措施，避免再次发

生。

4.对于例外放行或降级使用的原材料，车间注意按要求跟踪使用，做好记录，

发现问题，及时报有关部门。

附表1、氢氧化钾（KOH）化学成分要求

检测项目技术指标检测项目技术指标

纯度48%-52%钠(Na)<0.5%

碳酸盐，（以K2C03计）<0.5%钙(Ca)<0.001%

氯化物，（C1）<0.005%铁(Fe)<0.0005%

磷酸盐，（P04）<0.0005%锲(Ni)<0.0001%

硫酸盐，（S04）<0.001%锌(Zn)<0.001%

附表2、硝酸（65%）化学成分要求

检测项目技术指标检测项目技术指标

含量64.0-68.0%碑(As)<lOppb

氯化物，cl<500ppb铜(Cu)<20ppb

硫酸盐，SO4<500ppb铁(Fe)<200ppb

铅(Pb)<50ppb

附表3、盐酸（HC1）化学成分要求

检测项目技术指标检测项目技术指标

含量35.0-39.0%铭(Cr)<20ppb

游离卤素（C12）<500ppb铜(Cu)<20ppb

硫酸盐，S04<lOOOppb铁(Fe)<200ppb

亚硫酸盐，S03<lOOOppb铅(Pb)<20ppb

碑(As)<lOppb锡(Sn)<50ppb

镉(Cd)<50ppb

附表4、硫酸（H2SO4）化学成分要求

检测项目技术要求检测项目技术要求

含量95.0-99.0%神(As)WlOppb

还原高镒酸钾WlOOOppb镉(Cd)W50ppb

氯化物，clW200ppb倍(Cr)W20ppb

硝酸盐，N03W200ppb铜(Cu)W20ppb

铁(Fe)WlOOppb

铅(Pb)50ppb

附表5、氢氟酸（HF）化学成分要求

检测项目技术要求检测项目技术要求

含量38.0-42.0%铁(Fe)<lOOppb

氯化物，C1<5000ppb铅(Pb)<50ppb

磷酸盐，P04<lOOOppb

硫酸盐，S04<5000ppb

附表6、三氯氧磷（POCL）成分要求

检测项目技术要求检测项目技术要求

含量99.9999%镇(Ga)<lppb

颗粒(>0.5um)《40个汞(Hg)<2ppb

铝(A1)<14ppb钾(K)<6ppb

银(Ag)<Ippb锂(Li)<3ppb

碑(As)<9ppb镁(Mg)<llppb

领(Ba)<lppb镒(Mn)<12ppb

钛(Bi)<5ppb铅(Pb)<3ppb

钙(Ca)<13ppb钠(Na)<7ppb

辂(Cr)<8ppb锲(Ni)<8ppb

钻(Co)<8ppb锡(Sn)<2ppb

铜(Cu)<7ppb钛(Ti)<2ppb

金(Au)<lppb锌(Zn)<lppb

铁(Fe)<lOppb

附表7：银铝浆、银浆、铝浆质量要求

粘度(HBT

产品名称颗粒度（FOG）

SC4-14/6R01ORPM)

银浆<10|4m,S)4thscratch

200—300Pa.s

（正银）<5pm,350%

银铝浆<10nm,34thscratch

30-150Pa.s

（背银）<5pm,050%

铝浆20~100Pa.s420日m

附表8：抽样检验标准

1.持续供货时间达到1年，并且供货质量和性能比较稳定，没有发生过重大

生产质