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文档简介

JJF(电子)XXXX─XXXX离子风机校准规范CalibrationSpecificationforIonizer××××-××-××发布××××-××-××实施归口单位:中国电子技术标准化研究院主要起草单位:中国电子技术标准化研究院参加起草单位:深圳赛西信息技术有限公司北京东方计量测试研究所深圳市中明科技股份有限公司本规范技术条文委托起草单位负责解释本规范主要起草人:李道政(中国电子技术标准化研究院)吴永明(深圳赛西信息技术有限公司)韩玲玲(深圳市中明科技股份有限公司)参加起草人:高志良(北京东方计量测试研究所)李雷(中国电子技术标准化研究院)王晓童(中国电子技术标准化研究院)Ⅰ V 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 2 2 2 3 3 4 5 6 6 6 6 7 7 7Ⅱ1ANSI/ESD3.1-2015ForProtectionofElectrostaticDischargeSusceptibleItems。27.1.2被校离子风机产品名称、制造厂a)将被校离子风机置于空气流动不受任何影响的工作台表面上,工作台表面应为e)启动充电平板检测仪衰减时间和残余电压测量功能。读取充电平板检测仪衰减3);g)进行校准的日期,如果与校准结果的有效性和应用有关时,应说明被校对象的接4附录A原始记录格式k=2k=2TP1TP2TP3TP4TP5TP6TP7TP8TP9TP10TP11TP125附录B校准证书内页格式k=2k=2TP1TP2TP3TP4TP5TP6TP7TP8TP9TP10TP11TP126测量不确定度评定示例C.1衰减时间参数校准利用离子风机检测仪,采用直接测量法进行C.1.1测量模型tcal=tCPM…………(C.1)C.1.2标准不确定度评定C.1.2.1离子风机检测仪的衰减时间测量不准引入的不确定度分量uB1C.1.2.2测量重复性引入的测量不确定度分量uA测量重复性等随机因素引入的不确定度分量按A量,测量次数n=10,重复性测试数据见下表。根据下式,则uA1为:1234567879x Sn(x)/x kuB12uA1//不确定度分量uA1和uB1独立不相关,则合成标准不确定度可计算C.1.4扩展不确定度取值k=2,根据Urel=uc×k,则扩展不确定度为:6.4%,k=2。C.2残余电压参数校准利用离子风机检测仪,采用直接测量法进行C.2.1测量模型VC.2.2标准不确定度评定C.2.2.1离子风机检测仪残余电压测量不准引入的不确定度分量uB18C.2.2.2测量重复性引入的测量不确定度分量uA测量重复性等随机因素引入的不确定度分量按A量,测量次数n=10,重复性测试数据见下表。根据下式,则uA1为:123456789xSn(x)/xkuB12uA1//不确定度分量uA1、uB1和uB2独

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