半导体科技迁建年产晶圆清洗机50台项目环评可研资料环境影响

建设项目名称苏州芯钛半导体科技有限公司迁建年产晶圆清洗机50台项目项目代码2403-320564-89-03-700816建设单位联系人刘地理坐标经度：120度87分07.985秒，纬度：31度24分18.813秒国民经济行业类别3562半导体器件专用设备制造建设项目行业类别三十二、专用设备制造业35电子和电工机械专用设备制造356建设性质☑新建（迁建）□技术改造建设项目☑首次申报项目□不予批准后再次申报项目□超五年重新审核项目□重大变动重新报批项目项目审批（核准/备案）部门苏州市吴中区甪直镇人民政府项目审批（核准/备案）文号（选填）甪行审备〔2024〕14号总投资（万元）环保投资（万元）环保投资占比施工工期是否开工建设☑否2474.55（租赁建筑面积）专项评价设置情况无规划情况规划名称：苏州市甪直镇总体规划（2011-20302016年修改）审批机关：江苏省人民政府审批文件名称及文号：《省政府关于对苏州市甪直镇总体规划（2011-20302016年修改）的批复》（苏政复[2017]21号）规划环境影响评价情况无规划及规划环境影响评价符合性分析1、苏州市甪直镇总体规划（2011-20302016年修改）（1）规划范围：甪直镇域，用地面积118.57km2。（2）功能定位：中国历史文化名镇、江南水乡特色旅游城镇。中国历史文化名镇：按照国家历史文化名镇的各项要求保护和建设甪直镇。江南水乡特色的旅游城镇：发挥自身的资源特色，促进旅游业的快速发展，从而带动全镇第三产业的大发展，并对第一产业、第二产业的发展起到重要的促进作用。（3）产业布局：依托高新技术做强支柱产业，重点发展轻工、纺织和电子工业；培育壮大战略性新兴产业，围绕先进制造业，促进甪直工业结构调整。（4）规划结构：镇域布局结构：形成“一镇、三组团、多点”的空间结构形态。其中：“一镇”为中心镇区，承担城镇综合服务职能；“三组团”即澄湖沿岸组团、车坊生活组团、农产品物流组团；“多点”即外围村庄及散点配套设施用地。中心镇区布局结构：镇区布局结构为“一轴、一楔、九区”，“一轴”为东西向发展轴向；“一楔”为苏昆太沿线的楔形生态绿地；“九区”包括：旧城综合组团、综合中心组团、镇南居住组团、镇北居住组团、新镇生活组团、工业组团、车坊生活组团、澄湖沿岸组团及农产品物流组团。（5）用地布局：用地布局主要包括居住用地，公共服务设施用地，商业服务业设施用地，物流仓储用地，公用设施用地和工业用地。其中工业用地由生产型一类工业与服务型研发中试、服务外包用地组成。共规划工业用地513.18公顷，占城镇建设用地面积22.12%。（6）空间布局a、镇域形成“一镇、三组团、多点”的空间结构形态。其中：“一镇”为中心镇区，承担城镇综合服务职能；“三组团”即澄湖沿岸组团、车坊生活组团、农产品物流组团；“多点”即外围村庄及散点配套设施用地。b、镇区镇区布局结构为“一轴、一楔、九区”，“一轴”为东西向发展轴向；“一楔”为苏昆太沿线的楔形生态绿地；“九区”包括：旧城综合组团、综合中心组团、镇南居住组团、镇北居住组团、新镇生活组团、工业组团、车坊生活组团、澄湖沿岸组团及农产品物流组团。（7）基础设施建设情况：①给水工程甪直镇目前供水主要由吴中新水厂（浦庄水厂）供给，经甪直增压泵站增压后向甪直镇供水。吴中新水厂设计总能力为60万m³/d，水源取自太湖（寺前取水口）。甪直增压泵站设计总能力为10万m³/d。②污水处理甪直镇设有两座污水处理厂，为甪直污水处理厂（苏州甪直污水处理有限公司）和甪直新区污水处理厂。苏州甪直污水处理厂（苏州甪直污水处理有限公司）主要处理清小江以东的生活污水及工业废水。甪直新区污水处理厂主要收集绕城高速公路以西、苏沪高速以北凌港工业园及部分清江工业区内的工业废水及生活污水，排污口设在污水厂区西南的吴淞江上。目前，苏州甪直污水处理有限公司拟在近阶段关闭，进入苏州甪直污水处理有限公司的污水通过提升泵提升至苏州甪直新区污水处理有限公司处理。苏州甪直污水处理有限公司始建于1991年，处理能力为0.6万t/d。随着经济飞速发展2000年投资建设二期工程，处理能力为1.4万t/d，到了2004年又新建三期工程，处理能力为2万t/d。目前苏州甪直污水处理有限公司处理能力达到了4万t/d，主导工艺为活性污泥法。本项目纯水制备浓水及生活污水接管至苏州甪直新区污水处理有限公司处理。③雨水工程充分利用地形、水系进行合理分区，根据分散和就近的原则，保证雨水管道或沟渠沿最短路线、较小管径把雨水就近排入附近水体。④电力工程甪直镇电源主要由500KV车坊变供给，近期将扩建1×1000MVA主变。同时近期新建500KV苏州东变也将作为甪直镇域的电源点。项目所在地电力已供应到位。⑤燃气甪直镇近期以发展镇区管道天然气用气为主，中压管道从苏州高中压调压站引出。农村仍以普及瓶装液化气为主，临近镇区的居民点可接入管道天然气。远期农村居民点采用压缩天然气（CNG）和液化气方式供气。2、与《苏州市甪直镇总体规划（2011-20302016年修改）》符合性分析本项目位于苏州市吴中区甪直镇张庆街1号11幢-甪直智能制造产业园，根据《苏州市甪直镇总体规划（2011-20302016年修改）》（见附图4项目所在地规划图、附图5镇区功能结构规划图本项目所在地位于澄湖沿岸组团，为规划的二类工业用地，与规划相符。3、产业定位符合性分析甪直镇的产业布局为依托高新技术做强支柱产业，重点发展轻工、纺织和电子工业；培育壮大战略性新兴产业，围绕先进制造业，促进甪直工业结构调整。本项目为半导体器件专用设备制造，为电子工业，符合甪直镇的产业定位要求。其他符合性分1、三线一单符合性分析（1）生态保护红线对照《江苏省生态空间管控区域规划》（苏政发[2020]1号）、《省政府关于印发江苏省国家级生态保护红线规划的通知》（苏政发[2018]74号）及《江苏省自然资源厅关于苏州市吴中区生态空间管控区域调整方案的复函》（苏自然资函(2021)1318号），本项目不在生态空间管控区域及国家级生态保护红线范围内（生态红线图见附图5）。表1-1生态功能保护区概况名称主导生态功能范围面积km2与本项目位置关系m生态保护红线范围生态空间管控区域范国家级生态保护红线面积生态空间管控区域面积总面太湖国家级风景名胜区甪直景区人文景观保护/东面以甪直古镇东界、育才路为界，南面以田渡港、吉西浜为界，西面以马公河为界，北面以西市河北侧约200米、东市河北侧约120米为界/0.660.662900澄湖（吴中区）重要湿地湿地生态系统保护/吴中区内澄湖水体范围/31.8931.89西南875（2）环境质量底线SO2、PM10、CO等因子达标，因此项目所在区域大气环境质量为不达标区。根据《苏州市空气质量改善达标规划（2019-2024）》，在落实大气污染防治措施的情况下，区域环境空气质量可以得到改善；地表水、噪声等环境质量均能满足功能区要求；项目大气环境影响可以接受；纯水制备浓水及生活污水排入苏州甪直新区污水处理有限公司处理，尾水最终排入吴淞江；噪声经隔声、减振等措施处理后达标排放，项目建设符合环境质量底线要求。（3）资源利用上线区域环保基础设施较为完善，用水来源为市政自来水，使用量较小，当地自来水厂能够满足本项目的用水要求；用电由市供电公司电网接入。项目采取了优先选用低能耗设备等节能减排措施，项目建设与资源利用上线相符。（4）生态环境准入清单本项目符合国家、江苏省、苏州市产业政策，符合相关环保政策、文件要求，不在《市场准入负面清单》（2022年版）禁止准入类和许可准入类中，也不在《长江经济带发展负面清单指南（试行，2022年版）》禁止类中。①与《江苏省“三线一单”生态环境分区管控方案》的通知（苏政发[2020]49号）的相符性分析项目建设与江苏省省域生态环境管控总体要求、长江流域生态环境分区管控要求、太湖流域生态环境分区管控要求的相符性分析如下表。表1-2与《江苏省“三线一单”生态环境分区管控方案》相符性分析生态环境分区管控类别重点管控要求相符性分析江苏省省域生态环境管控总体要求空间布局约束1.按照《省政府关于印发江苏省生态空间管控区域规划的通知》（苏政发[2020]1号）、《省政府关于印发江苏省国家级生态保护红线规划的通知》（苏政发[2018]74号坚持节约优先、保护优先、自然恢复为主的方针，以改善生态环境质量为核心，以保障和维护生态功能为主线，统筹山水林田湖草一体化保护和修复，严守生态保护红线，实行最严格的生态空间管控制度，确保全省生态功能不降低、面积不减少、性质不改变，切实维护生态安全。全省陆域生态空间总面积23216.24平方公里，占全省陆域国土面积的22.49%。其中国家级生态保护红线陆域面积为8474.27平方公里，占全省陆域国土面积的8.21%；生态空间管控区域面积为14741.97平方公里，占全省陆域国土面积的14.28%。2.牢牢把握推动长江经济带发展“共抓大保护，不搞大开发”战略导向，对省域范围内需要重点保护的岸线、河段和区域实行严格管控，管住控好排放量大、耗能高、产能过剩的产业，推动长江经济带高质量发展。3.大幅压减沿长江干支流两侧1公里范化工园区外和规模以下化工生产企业，着力破解“重化围江”突出问题，高起点同步推进沿江地区战略性转型和沿海地区战略性布局。4.全省钢铁行业坚持布局调整和产能整合相结合，坚持企业搬迁与转型升级相结合，鼓励有条件的企业实施跨地区、跨所有制的兼并重组，高起点、高标准规划建设沿海精品钢基地，做精做优沿江特钢产业基地，加快推动全省钢铁行业转型升级优化布局。5.对列入国家和省规划，涉及生态保护红线和相关法定保护区的重大民生项目、重大基础设施项目（交通基础设施项目等），应优化空间布局（选线）、主动避让；确实无法避让的，应采取无害化方式（如无害化穿、跨越方式等依法依规履行行政审批手续，强化减缓生态环境影响和生态补偿措施。本项目从事半导体器件专用设备制造，不属于化工企业，不属于排放量大、耗能高、产能过剩的产业，土地利用性质为工业用地，不涉及生态管控区域与重点保护的岸线、河段。综上，项目建设符合空间布局约束要求。污染物排放管控1.坚持生态环境质量只能更好、不能变坏，实施污染物总量控制，以环境容量定产业、定项目、定规模，确保开发建设行为不突破生态环境承载力。2.2020年主要污染物排放总量要求：全化学需氧量、氨氮、总氮、总磷排放总量分别为66.8万吨、85.4万吨、149.62.7万吨。①本项目测试工段产生的有机废气量较小，本项目仅做定性分析；②本项目组装车间及实验室测试废液集中收集后做危废处置，纯水制备浓水及生活污水接管至苏州甪直新区污水处理有限公司处理，污染物排放量在区域环境容量之内，不增加区域废水污染物排放总量。③噪声经合理布局、隔声减震等措施，达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)表1中的2类标准；④固废全部合理处置，零排放。综上，项目建设符合污染物排放管控要求。本项目从事半导体器件专用设备制造，经分析，环境风险较低，落实相关应急措施后，环境风险可接受，项目产生的危险废物委托资质单位处理，实现零排放。周边不涉及饮用水源地；与环境风险管控要求相符。本项目新增用水量约：1555.73m³/a，区域水资源能承载项目建设；租用已建闲置工业厂房作为经营场所，不新增建设用地，与资源利用效率管控要求相符；本项目不使用高污染燃环境风险防控1.强化饮用水水源环境风险管控。县级以上城市全部建成应急水源或双源供2.强化化工行业环境风险管控。重点加强化学工业园区、涉及大宗危化品使用企业、贮存和运输危化品的港口码头、尾矿库、集中式污水处理厂、危废处理企业的环境风险防控；严厉打击危险废物非法转移、处置和倾倒行为；加强关闭搬迁化工企业及遗留地块的调查评估、风险管控、治理修复。跨区域环境应急协调联动，分区域建立环境应急物资储备库。各级工业园区（集聚区）和企业的环境应急装备和储备物资应纳入储备体系。4.强化环境风险防控能力建设。按照统一信息平台、统一监管力度、统一应急等级、协同应急救援的思路，在沿江发展带、沿海发展带、环太湖等地区构建区域性环境风险预警应急响应机制，实施区域突发环境风险预警联防联控。资源利用效率要求1.水资源利用总量及效率要求：到2020年，全省用水总量不得超过524.15亿立方米。全省万元地区生产总值用水量、万元工业增加值用水量达到国家最严格水资源管理考核要求。到2020年，全省矿井水、洗煤废水70%以上综合利用，高耗水行业达到先进定额标准，工业水循环利用率达到90%。2.土地资源总量要求：到2020年，全省耕地保有量不低于456.87万公顷，永久基本农田保护面积不低于390.67万公顷。燃用高污染燃料；禁止新建、扩建燃用高污染燃料的设施，已建成的，应当在城市人民政府规定的期限内改用天然气、页岩气、液化石油气、电或者其他清洁能源。料。本项目从事半导体器件专用设备制造，不涉及国家级生态保护红线范围、江苏省生态空间管控区域、永久基本农田、划定的长江岸线保护区，不在《长江经济带发展负面清单指南（试行，2022年版）》负面清单中，与长江流域分区空间布局约束要求相符。本项目水污染物总量在污水厂批复总量内平衡，符合长江流域分区污染物排放管控要求。本项目地不属于沿江区域，从事半导体器件专用设备制造，不属于石化、化纤、危化品和石油类仓储、涉重金属和危险废物处置等重点企业环境风险防控企业；周边不涉及饮用水源地；符合长江流长江流域生态环境分区管控要求空间布局约束1.始终把长江生态修复放在首位，坚持共抓大保护、不搞大开发，引导长江流域产业转型升级和布局优化调整，实现科学发展、有序发展、高质量发展。2.加强生态空间保护，禁止在国家确定的生态保护红线和永久基本农田范围内，投资建设除国家重大战略资源勘查项目、生态保护修复和地质灾害治理项目、重大基础设施项目、军事国防项目以及农民基本生产生活等必要的民生项目以外的项目。3.禁止在沿江地区新建或扩建化学工业园区，禁止新建或扩建以大宗进口油气资源为原料的石油加工、石油化工、基础有机无机化工、煤化工项目；禁止在长江干流和主要支流岸线1公里范围内新建危化品码头。4.强化港口布局优化，禁止建设不符合国家港口布局规划和《江苏省沿江沿海港口布局规划（2015-2030年）》《江苏省内河港口布局规划（2017-2035江干线过江通道布局规划》的过江干线通道项目。5.禁止新建独立焦化项目。污染物排放管控1.根据《江苏省长江水污染防治条例》实施污染物总量控制制度。2.全面加强和规范长江入河排污口管理，有效管控入河污染物排放，形成权责清晰、监控到位、管理规范的长江入河排污口监管体系，加快改善长江水环境质量。环境风险防控1.防范沿江环境风险。深化沿江石化、化工、医药、纺织、印染、化纤、危化品和石油类仓储、涉重金属和危险废物处置等重点企业环境风险防控。2.加强饮用水水源保护。优化水源保护区划定，推动饮用水水源地规范化建域分区环境风险管控要资源利用效率要求到2020年长江干支流自然岸线保有率达到国家要求。本项目区域不涉及长江干支流自然岸线，符合资源利用效率管控要求。太湖流域生态环境分区管控要求空间布局约束1.在太湖流域一、二、三级保护区，禁止新建、改建、扩建化学制浆造纸、制革、酿造、染料、印染、电镀以及其他排放含磷、氮等污染物的企业和项目，城镇污水集中处理等环境基础设施项目和《江苏省太湖水污染防治条例》第四十六条规定的情形除外。2.在太湖流域一级保护区，禁止新建、扩建向水体排放污染物的建设项目，禁止新建、扩建畜禽养殖场，禁止新建、扩建高尔夫球场、水上游乐等开发项目以及设置水上餐饮经营设施。3.在太湖流域二级保护区，禁止新建、扩建化工、医药生产项目，禁止新建、扩建污水集中处理设施排污口以外的排污口。本项目位于太湖流域三级保护区，项目从事半导体器件专用设备制造，不属于新建、改建、扩建化染料、印染、电镀以及其他排放含磷、氮等污染物的企业和项目，符合太湖流域分区空间布局约束要求。污染物排放管控造纸工业、钢铁工业、电镀工业和食品工业的污水处理设施执行《太湖地区城镇污水处理厂及重点工业行业主要水污染物排放限值》。本项目纯水制备浓水及生活污水接管至苏州甪直新区污水处理有限公《苏州市关于高质量推进城乡生活废水治理三年行动计划的实施意见(苏委办发[2018]77号)》符合太湖流域分区污染物排放管控要求。环境风险防控1.运输剧毒物质、危险化学品的船舶不得进入太湖。2.禁止向太湖流域水体排放或者倾倒油类、酸液、碱液、剧毒废渣废液、含放射性废渣废液、含病原体污水、工业废渣以及其他废弃物。3.加强太湖流域生态环境风险应急管控，着力提高防控太湖蓝藻水华风险预警和应急处置能力。本项目无船运；产生的测试废液集中收集后做危废处置，纯水制备浓水及生活污水接管至苏州甪直新区污水处理有限公司处理，不直接排入水体，产生的危险废物委托资质单位处置，实现零排放，符合太湖流域分区环境风险管控要求。资源利用效率要求1.太湖流域加强水资源配置与调度，优先满足居民生活用水，兼顾生产、生态用水以及航运等需要。2.2020年底前，太湖流域所有省级以上开发区开展园区循环化改造。本项目新增用水量约：1555.73m³/a，区域水资源能承载项目建设，符合资源利用效率管控要求。②根据《关于印发<苏州市"三线一单"生态环境分区管控实施方案>的通知》苏环办字[2020]313号，本项目位于澄湖工业区，属于重点管控单元（其他产业园区），重点管控单元（其他产业园区）的生态环境准入清单见表1-3。表1-3重点管控单元（其他产业园区）生态环境准入清单表生态环境准入清单本项目情况空间布局约束禁止引进列入《产业结构调整指导目录》《江苏省工业和信息产业结构调整指导目录》《江苏省淘汰目录及能耗限额》淘汰类的产业；禁止引进列入《外商投资产业指导目录》禁止类的产业。限额》淘汰类产业，为允许类产业；不属于《外商投资产业指导目录》禁止类的产业。禁止引进不符合园区产业准入要求的项目。本项目与园区产业准入要求相符。严格执行《江苏省太湖水污染防治条例》的分级保护要求，禁止料、印染、电镀以及其他排放含磷、级保护要求。严格执行《阳澄湖水源水质保护条例》相关管控要求。本项目不在阳澄湖保护区范围内，符合《阳澄湖水源水质保护条例》相关管控要求。严格执行《中华人民共和国长江保护法》。本项目符合《中华人民共和国长江保护法》管控要求。禁止引进列入上级生态环境负面清单的项目。本项目不属于列入上级生态环境负面清单的项目。污染物排放管控园区内企业污染物排放应满足相关国家、地方污染物排放标准要本项目污染物排放满足相关国家、地方污染物排放标准要求。根据区域环境质量改善目标，采取有效措施减少主要污染物排放总量，确保区域环境质量持续改本项目采取有效措施减少主要污染物排放总量，确保区域环境质量持续改善。环境风险建立以园区突发环境事件应急处置机构为核心，与地方政府和企事业单位应急处置机构联动的应急响应体系，加强应急物资装备储备，编制突发环境事件应急预案、定期开展演练。本项目执行风险防范措施和编制突发环境事件应急预案，防止发生环境事故，与园区突发环境事件应急处置机构进行联动，定期开展演练。生产、使用、储存危险化学品或其他存在环境风险的企事业单位，应当制定风险防范措施，编制突发环境事件应急预案，防止发生环境事故。加强环境影响跟踪监测，建立健全各环境要素监控体系，完善并落实园区日常环境监测与污染源监控计划。本项目建成后落实园区日常环境监测与染污源监控计划。资源开发禁止销售使用燃料为Ⅲ类（严本项目不使用锅炉，不销售和使用国效率要求格具体包括：1、煤炭及其制品（包括原煤、散煤、煤矸石、煤泥、煤粉、水煤浆、型煤、焦设施的专用锅炉燃用的生物质成染燃料。家规定的高污染燃料。由上表可知，本项目符合重点管控单元（其他产业园区）的生态环境准入清单。综上所述，本项目的建设符合“三线一单”的控制要求。2、与其他相关生态环境保护法律法规政策、生态环境保护规划的符合性分析（1）产业政策符合性本项目不属于《产业结构调整指导目录》（2024年本）中鼓励类、限制类、淘汰类项目，为允许类；不在《市场准入负面清单（2022年版）》禁止准入类和限制准入类；不在《长江经济带发展负面清单指南（试行，2022年版）》中禁止建设的项目；不属于《苏州市产业发展导向目录（2007年本）》（苏府[2007]129号）中鼓励类、限制类、淘汰类、禁止类，属于允许类；不属于《外商投资产业指导目录（2017年修订）》；经查《外商投资准入特别管理措施（负面清单）（2021年版）》，本项目未被列入《外商投资准入特别管理措施（负面清单2021年版）》中；经对照《鼓励外商投资产业目录（2022年版）》，本项目属于鼓励类“十八专用设备制造业中269精密电子模具开发生产”建设项目；《外商投资准入特别管理措施（负面清单）（2021年版）》、鼓励外商投资产业目录（2022年版），本项目不属于禁止和限制类建设项目。因此，本项目的建设符合国家及地方的产业政策。（2）与《江苏省太湖水污染防治条例》（2021年9月29日第四次修订）和《太湖流域管理条例》符合性分析①与《江苏省太湖水污染防治条例》（2021年修订）相符性分析根据《省政府办公厅关于公布江苏省太湖流域三级保护区范围的通知》（苏政办发[2012]221号本项目所在地距离太湖22.5km，属于太湖流域三级保护区范围。根据《江苏省太湖水污染防治条例》（2021年修订）第四十三条规定：太湖流域一、二、三级保护区禁止下列行为：“新建、改建、扩建化学制浆造纸、制革、酿造、染料、印染、电镀以及其他排放含磷、氮等污染物的企业和项目，城镇污水集中处理等环境基础设施项目和第四十六条规定的情形除外；销售、使用含磷洗涤用品；向水体排放或者倾倒油类、酸液、碱液、剧毒废渣废液、含放射性废渣废液、含病原体污水、工业废渣以及其他废弃物；在水体清洗装贮过油类或者有毒有害污染物的车辆、船舶和容器等；使用农药等有毒物毒杀水生生物；向水体直接排放人畜粪便、倾倒垃圾；围湖造地；违法开山采石，或者进行破坏林木、植被、水生生物的活动；法律、法规禁止的其他行为”。本项目从事半导体器件专用设备制造，项目废水水质简单，组装车间及实验室测试废液集中收集后做危废处置，纯水制备浓水及生活污水接管至苏州甪直新区污水处理有限公司处理，不排入附近河道，不属于新建、改建、扩建化学制浆造纸、制革、酿造、染料、印染、电镀以及其他排放含磷、氮等污染物的企业和项目；项目不销售和使用含磷洗涤用品，不向水体排放或者倾倒油类、酸液、碱液、剧毒废渣废液、含放射性废渣废液、含病原体污水、工业废渣以及其他废弃物，无条例禁止行为，因此本项目符合《江苏省太湖水污染防治条例》的环境管理要求。②与《太湖流域管理条例》相符性分析《太湖流域管理条例》中第二十八条规定：排污单位排放水污染物，不得超过核定的水污染物排放总量，并应当按照规定设置便于检查、采样的规范化排污口，悬挂标志牌；不得私设暗管或者采取其他规避监管的方式排放水污染物。禁止在太湖流域设置不符合国家产业政策和水环境综合治理要求的造纸、制革、酒精、淀粉、冶金、酿造、印染、电镀等排放水污染物的生产项目，现有的生产项目不能实现达标排放的，应当依法关闭。在太湖流域新设企业应当符合国家规定的清洁生产要求，现有的企业尚未达到清洁生产要求的，应当按照清洁生产规划要求进行技术改造。本项目从事半导体器件专用设备制造，组装车间及实验室测试废液集中收集后做危废处置，纯水制备浓水及生活污水接管至苏州甪直新区污水处理有限公司处理，不排入附近河道，不属于不符合国家产业政策和水环境综合治理要求的造纸、制革、酒精、淀粉、冶金、酿造、印染、电镀等排放水污染物的生产项目，无条例禁止行为。因此，本项目符合《太湖流域管理条例》的环境管理要求。（3）与有关挥发性有机废气环保政策符合性分析表1-4与相关环保政策符合性分析文件名称具体内容相符性《2020年挥发性有机推进源有效减采用符合国家有关低VOCs含量产品规定的涂料、油墨、胶粘剂等，排放浓度稳定达标且排放速率满足相关规定的，相应生产工序可不要求建设末端治理设施。使用的原辅材料VOCs本项目不使用油墨等原辅物治理攻坚方少VOCs产生含量（质量比）均低于10%的工序，可不要求采取无组织排放收集和处理措施。料，测试过程使用满足《清洗剂挥发性有机化合物含量（GB38508-2基清洗剂；本项目清洗剂用量较少，产生的有机废气量较少，项目仅做定性分析，与文件要求相符。本项目从事半导体器件专用设备制造，不属于工业涂木材加工、纺织等重点行落实标强化无组织排放控制2020年7月1日起，全面执行《挥发性有机物无组织排放控制标准》，重点区域应落实无组织排放特别控制要求。各地要加大标准生效时间、涉及行业及控制要求等宣贯力度，通过现场指导、组织培训、新媒体信息推送、发放明白纸等多种方式，督促指导企业对照标准要求开展含VOCs物料（包括含VOCs原辅材料、含VOCs产品、含VOCs废塑料以及有机聚合物材料等）储存、转移和输送、设备与管线组件泄漏、敞开液面逸散以及工艺过程等无组织排放环节排查整治，对达不到要求的加快整细化到具体工序和生产环节，以及启停机、检维修作业等，落实到具体责任人；健全内部考核制度，严格按照操作规程生产。治污设施“三升综合治理效率组织企业对现有VOCs废气收集率、治理设施同步运行率和去除率开展自查，重点关注单一采用光氧化、光催化、低温等离子、一次性活性炭吸附、喷淋吸收等工艺的治理设施，7月15日前完成。对达不到要求的VOCs收集、治理设施进行更换或升级改造，确保实现达标排放。除恶臭异味治理外，一般不采用低温等离子、光催化、光氧化等技术。行业排放标准中规定特别排放限值和控制要求的，应按相关规定执行；未制定行业标准的应执行大气污染物综合排放标准和挥发性有机物无组织排放控制标准；已制定更严格地方排放标准的，按地方标准执行。对于采用局部集气罩的，应根据废气排放特点合理选择收集点位，距集气罩开口面最远处的VOCs无组织排放位置，控制风速不低于0.3米/秒，达不到要求的通过更换大功率风机、增设烟道风机、增加垂帘等方式及时改造；企业新建治污设施或对现有治污设施实施改造，应依据排放废气特征、VOCs组分及浓度、生产工况等，合理选择治理技术，对治理难度大、单一治理工艺难以稳定达标的，要采用多种技术的组合工艺。采用活性炭吸附技术的，应选择碘值不低于800毫克/克的活性炭，并按设计要求足量添加、及时更换。《江苏省重点行业挥发性有机物清洁原料替代工替代要求以工业涂装、包装印刷、木材加工、纺织（附件1）等行业为重点，分阶段推进3130家企业（附件2）清洁原料替代工作。实施替代的企业要使用符合《低挥发性有机化合物含量涂料产品技术要求》（GB/T38597-2020）规定的粉末、水性、无溶剂、辐射固化涂料产品；符合《油墨中可挥发性有机化合物（VOCs）含量的限值》（GB38507-2020）规定的水性油墨和作方案》能量固化油墨产品；符合《清洗剂挥发性有机化合物含量限值》（GB38508-2020）规定的水基、半水基清洗剂产品；符合《胶粘剂挥发性有机化合物限量》（GB33372-2020）规定的水基型、本体型胶粘剂产品。若确实无法达到油墨、清洗剂、胶粘剂等产品应符合相关标准中VOCs含量的限值要求。业；本项目不使用油墨等原辅料，测试过程使用满足《清洗剂挥发性有机化合物含量（GB38508-2基清洗剂。本项目从事半导体器件专用设备制造，不使用涂料、胶黏剂、油墨等原辅料，测试过程使用满足《清洗剂挥发性有机化合物含量限值》（GB38508-2基清洗剂；清洗剂密闭加盖储存于辅料仓库内；本项目清洗剂用量较少，产生的有机废气量较少，项目仅做定性分析，与文件要求相符。准入条件禁止建设生产和使用高VOCs含量的涂料、油包装印刷、纺织、木材加工等行业以及涂料、油墨等生产企业的新（改、扩）建项目需满足低（无）VOCs含量限值要求。省内市场上流通的水性涂料等低挥发性有机物含量涂料产品，执行国家《低挥发性有机化合物含量涂料产品技术要求》（GB/T38597-2020）《重点行业挥发性有机物综合治理方案》思路与要求大力推进源头替代。通过使用水性、粉末、高固体分、无溶剂、辐射固化等低VOCs含量的涂料，水性、辐射固化、植物基等低VOCs含量的油墨，水基、热熔、无溶剂、辐射固化、改性、生物降解等低VOCs含量的胶粘剂，以及低VOCs含量、低反应活性的清洗剂等，替代溶剂型涂料、油墨、胶粘剂、清洗剂等，从源头减少VOCs产生。工业涂装、包装印刷等行业要加大源头替代力度；化工行业要推广使用低(无)VOCs含量、低反应活性的原辅材料，加快对芳香烃、含卤素有机化合物的绿色替代。企业应大力推广使用低VOCs含量木器涂料、车辆涂料、机械设备涂料、集装箱涂料以及建筑物和构筑物防护涂料等，在技术成熟的行业，推广使用低VOCs含量油墨和胶粘剂，重点区域到2020年年底前基本完成。鼓励加快低VOCs含量涂料、油墨、胶粘剂等研发和生产。（二）全面加强无组织排放控制。重点对含VOCs物料（包括含VOCs原辅材料、含VOCs产品、含VOCs废料以及有机聚合物材料等）储存、转移和输送、设备与管线组件泄漏、敞开液面逸散以及工艺过程等五类排放源实施管控，通过采取设备与场所密闭、工艺改进、加强设备与场所密闭管理。含VOCs物料应储存于密闭容器、包装袋，高效密封储罐，封闭式储库、料仓等。含VOCs物料转移和输送，含量废水（废水液面上方100毫米处VOCs检测浓度超过200ppm，其中，重点区域超过100ppm，以碳计）的集输、储存和处理过程，应加盖密闭。含VOCs物料生产和使用过程，应采取有效收集措施或在密闭空间中操作。（三）推进建设适宜高效的治污设施。企业新建治污设施或对现有治污设施实施改造，应依压力，以及生产工况等，合理选择治理技术。鼓励企业采用多种技术的组合工艺，提高VOCs治理效率。低浓度、大风量废气，宜采用沸石转轮吸附、活性炭吸附、减风增浓等浓缩技术，提高VOCs浓度后净化处理；高浓度废气，优先进行溶剂回收，难以回收的，宜采用高温焚烧、催化燃烧等技术。油气（溶剂）回收宜采用冷凝+吸附、吸附+吸收、膜分离+吸附等技术。低温等离子、光催化、光氧化技术主要适用于恶臭异味等治理；生物法主要适用于低浓度VOCs废气治理和恶臭异味治理。非水溶性的VOCs废气禁止采用水或水溶液喷淋吸收处理。采用一次性活性炭吸附技术的，应定期更换活性炭，废旧活性炭应再生或处理处置。有条件的工业园区和产业集群等，推广加强资源共享，提高VOCs治理效率。本项目从事半导体器件专用设备制造，不使用涂料、胶黏剂、油墨等原辅料。测试过程使用满足《清洗剂挥发性有机化合物含量限值》（GB38508-2基清洗剂；项目清洗剂用量较少，产生的有机废气量较少，项目仅做定性分析，与文件要求相本项目生产加工均在车间内进行，清洗剂密闭加盖储存于辅料仓库内；项目清洗剂用量较少，产生的有机废气量较少，项目仅做定性分析，与文件要求相符。《江苏省重点行业挥发性有机物污染控制指南》要求（一）所有生产有机废气污染的企业，应优先采用环保型原辅料、生产工艺和装备，对相应生产单元或设施进行密闭，从源头控制VOCs的产生，减少废气污染物排放。（二）鼓励对排放的VOCs进行回收利用，并优先在生产系统回用。对浓度、性状差异较大的废气应分类收集，并采用十一的方式进行有效处理，确保VOCs总去除率满足管理要求，机剂、浸胶工艺）、溶剂型涂料表面涂装、包装印刷业的VOCs总收集、净化处理率均不低于90%，其他行业原则上不低于75%。《江苏省挥发性有机物污染防治管理办法》第十三条新建、改建、扩建排放挥发性有机物的建设项目，应当依法进行环境影响评价。新增挥发性有机物排放总量指标的不足部分，可以依照有关规定通过排污权交易取得。建设项目的环境影响评价文件未经审查或者审查后未予批准的，建设单位不得开工建设。第十五条排放挥发性有机物的生产经营者应当履行防治挥发性有机物污染的义务，根据国家和省相关标准以及防治技术指南，采用挥发性有机物污染控制技术，规范操作规程，组织生产经营管理，确保挥发性有机物的排放符合相应的排放标准。第二十一条产生挥发性有机物废气的生产经营活动应当在密闭空间或者密闭设备中进行。生产场所、生产设备应当按照环境保护和安全生产等要求设计、安装和有效运行挥发性有机物回收或者净化设施；固体废物、废水、废气处理系统产生的废气应当收集和处理；含有挥发性有机物的物料应当密闭储存、运输、装卸，禁止敞口和露天放置。无法在密闭空间进行的生产经营活动应当采取有效措施，减少挥发性有机物排放量。综上所述，本项目的建设符合相关文件要求。（4）与《挥发性有机物无组织排放控制标准》（GB37822-2019）符合性分析表1-5《挥发性有机物无组织排放控制标准》相符性分析对照表序号相关要求项目情况相符VOCs物料储存无组织排放控制要求1VOCs物料应储存于密闭的容器、包装袋、储罐、储库、料仓中。清洗剂密闭加盖储存于辅料仓库内。相符2盛装VOCs物料的容器或包装袋应存放于室内，或存放于设置有雨棚、遮阳和防渗设施的专用场地。盛装VOCs物料的容器或包装袋在非取用状态时应加盖、封口，保持密闭。清洗剂密闭加盖储存。相符VOCs物料转移和输送无组织排放控制1液态VOCs物料应采用密闭管道输送。采用非管道输送方式转移液态VOCs物料时，应采用密闭容器、罐本项目使用的清洗剂采用密闭的包装桶进行物料转移。相符工艺过程VOCs无组织排放控制要求1a）液态VOCs物料应采用密闭管道输送方式或采用高位槽（罐）、桶泵等给料方式密闭投加。无法密闭投加的，应在密闭空间内操作，或进行局部气体收集，废气应排至VOCs废气收集处理系统。b）粉状、粒状VOCs物料应采用气力输送方式或采用密闭固体投料器等给料方式密闭投加。无法密闭投加的，应在密闭空间内操作，或进行局部气体收集，废气应排至除尘设施、VOCs废气收集处理系统。c）VOCs物料卸（出、放）料过程应密闭，卸料废气应排至VOCs废气收集处理系统；无法密闭的，应采取局部气体收集措施，废气应排至VOCs废气收集处理系统。本项目从事半导体器件专用设备制造，项目生产过程中不涉及粉状、粒状VOCs物料。项目清洗剂用量较少，产生的有机废气量较少，项目仅做定性分析。相符VOCs无组织排1VOCs废气收集处理系统应与生产工艺设备同步运行。VOCs废气收集处理系统发生故障或检修时，对应的生项目清洗剂用量较少，产生的有机废气量较少，项目仅做定相符放废气收集处理系统要求产工艺设备应发生故障或检修时，对应的生产工艺设备应停止运行，待检修完毕后同步投入使用；生产工艺设备不能及时停止运行的，应设置废气应急处理设施或采取其他替代措施。性分析。2废气收集系统排风罩（集气罩）的设置应符合GB/T16758的规定。不涉及。相符3废气收集系统的输送管道应密闭。不涉及。相符4VOCs废气收集处理系统污染物排放应符合GB16297或相关行业排放标准的规定。项目清洗剂用量较少，产生的有机废气量较少，项目仅做定性分析。相符5收集的废气中NMHC初始排放速率≥3kg/h时，应配置VOCs处置设施，处理效率不应低于80%；对于重点地区，收集的废气中NMHC初始排放处理效率不应低于80%；采用的原辅材料符合国家有关低VOCs含量产品规定的除外。项目清洗剂用量较少，产生的有机废气量较少，项目仅做定性分析。相符（5）与《清洗剂挥发性有机化合物含量限值》（GB38508-2020）相符性分析表1-6与《清洗剂挥发性有机化合物含量限值》（GB38508-2020）的相符性名称主要组分挥发性有机物含量g/L标准限值g/L半水基清洗剂清洗剂一缩二丙二醇≤12%、表面活性剂≤5%、丙二醇甲醚≤3%、水≥80%62≤100根据半水基清洗剂检测报告（报告编号：No.SHAEC2013885404挥发性（GB38508-2020）表2中半水基清洗剂中VOCs含量(≤100g/L）限值的要求，属于低VOC清洗剂，且不含二氯甲烷、三氯甲烷、三氯乙烯、四氯乙烯、甲醛、苯、甲苯、乙苯和二甲苯等物质。建设1、项目建设内容苏州芯钛半导体科技有限公司成立于2019年01月31日，位于苏州市吴中区甪直镇张庆街1号11幢，经营范围包括研发、生产、组装、销售：半导体设备、半导体产品、光学电子产品、太阳能产品配套部件；上述产品相关的技术咨询、维护、维修服务；商务信息咨询；自营和代理上述商品及技术的进出口业务。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动）一般项目：电子元器件与机电组件设备销售；机械零件、零部件销售；轴承、齿轮和传动部件制造；机械设备销售；五金产品批发；泵及真空设备销售；气压动力机械及元件销售（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动），详见附件1。现因市场发展需要，公司租赁苏州瑞雕科技有限公司所属位于苏州市吴中甪直镇张庆街1号11幢已建厂房，建筑面积2474.55m2，拟投资1000万元，建设“苏州芯钛半导体科技有限公司迁建年产晶圆清洗机50台项目”。本项目产品为晶圆清洗机（为台积电、日月光的主要供应商），投产后年产晶圆清洗机50台。根据《中华人民共和国环境保护法》、《中华人民共和国环境影响评价法》、《建设项目环境保护管理条例》、《建设项目环境影响评价分类管理名录》及江苏省有关环境保护的规定，本项目属于《建设项目环境影响评价分类管理名录》“三十二、专用设备制造业3570.电子和电工机械专用设备制造356中的其他”，应编制环境影响报告表。在此基础上，苏州芯钛半导体科技有限公司委托我公司进行环评工作。接受委托后，我公司即进行了现场调查及资料收集，同时查阅了相关资料，在此基础上编制完成了本项目环境影响报告表，提交建设单位，供环保部门审查批准。本项目主要建设内容见下表。表2-1本项目主要建设内容表类别设计能力备注主体工程11号厂房一层组装车间58m2测试车间263m2其余为办公区域、原料仓库及其他1F，建筑面积736m2单层高度4m，耐火等级丙类二级11号厂房二层设备测试实验室145m2；其余为办公区域、辅料仓库及其他2F，建筑面积736m2单层高度4m，耐火等级丙类二级11号厂房三层办公区736m23F，建筑面积736m2单层高度4m，耐火等级丙类二级11号厂房四层办公区266.55m24F，建筑面积266.55m2单层高度4m，耐火等级丙类二级贮运工程原料仓库107m21F，原料存放单层高度4m，耐火等级丙类二级辅料仓库6m22F，辅料（清洗剂）暂存单层高度4m，耐火等级丙类二级运输方式汽车运输公用工程给水1555.73m³/a，其中：生活用水1440m³/a市政供水管网排水雨水/接入市政雨水管网污水生产废水46.29m³/a接入市政污水管网供电16万kw·h/a由供电所供电纯水制备企业自建供气空压机1台，30kw排气量为1.5m3/min企业自建事故应急池135m³事故应急池（未建，由产业园建设）依托产业园新建绿化/依托产业园环保工程废水处理生产废水46.29m³/a达到苏州甪直新区污水处理有限公司接管限值排放降噪措施合理布局、隔声减振及距离衰减等措施达《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中的2类标准排放处理危废暂存仓库1F，耐火等级丙类二级一般固废暂存仓库1F，耐火等级丙类二级依托工程主体工程、辅助工程、贮运工程均依托现有已建成的车间；厂区内已实施雨污分流体制，依托现有管网、雨水排放口、污水排放口，不新设废水排污口2、生产单元、主要工艺及规模本项目生产单元及主要工艺见下表。表2-2生产单元及主要工艺表序号生产单元生产工艺1组装—性能测试—包装2设备测试实验室—设备测试本项目产品方案见下表。表2-3建设项目产品方案产品名称适用范围技术规格年运行时间晶圆清洗机金属剥离机适用尺寸8″以下晶圆501920h公自转蚀刻机适用于湿式蚀刻制程助焊剂清洗机ArrayFluxCleanerSC-201适用于晶圆制程清洗助焊剂清洗机DieFormCleanerSC-202适用于2.5D及3D封装制程助焊剂清洗载具清洗机FOUP/FOSBCleanerSC-106适用于各式载具清洗本项目产品见下图。适用于2.5D及3D封装制程，用于清洗助焊剂，可全程使用DIW-喷头XYZ轴、Boat盘底版皆可依制程需求调整倾角，能精准针对不符合国家产业政策和水环境综合治理要求的隙缝清洗。助焊剂清洗机DieFormCleanerSC-202用于清除晶圆上的金属及光阻，纳米级高压雾化喷头将分子微小只要旋转冲洗就可清除金属及光阻，当光阻被溶解会变成浮粒，借由离心力将浮离后的金属及光阻带离晶圆。金属剥离机适用于晶圆制程清洗，采用纳米雾化喷头搭配矩阵清洗方式，可针不同产品，针对间距做高压/雾化清洗，亦可依程需求加强区块清洁能力。助焊剂清洗机ArrayFluxCleanerSC-201适用于湿式蚀刻制程，去除晶圆的多余薄膜，纳米级雾化喷头搭配独家专利公自转技术，可加速蚀刻液反应，有效控制蚀刻液方向，节省蚀刻液使用，提高蚀刻均匀性，减少侧蚀现象。公自转蚀刻机适用于各式载具清洗，全程使用DIW-高压喷头搭配软体可实现指针对需求部分加强清洗能有效去除残留光阻及残胶。载具清洗机3、主要生产设施及设施参数本项目主要生产设施及设施参数见下表。表2-4主要生产设施表类别设备名称技术规格及型号数量（台）备注测试设备金属剥离机适用尺寸8″以下晶圆上的金属及光阻清洗1/公自转蚀刻机适用于湿式蚀刻制程1/助焊剂清洗机ArrayFluxCleanerSC-201适用于晶圆制程清洗1/助焊剂清洗机DieFormCleanerSC-202适用于2.5D及3D封装制程助焊剂清洗1/载具清洗机FOUP/FOSBCleanerSC-106适用于各式载具清洗1/辅助设备空压机30kW1/公辅设备纯水制水机1/4、主要原辅材料及燃料（1）主要原辅材料本项目主要原辅材料见下表。表2-5主要原辅材料表类型名称组分、规格状态是否是危化品年用量存储方式最大存储量暂存位置运输方式原料包装材料辅料晶圆/载具清洗机外壳--固否50个散装原料仓库汽车运输电子元件--固否50套散装--固否50套散装电源开关--固否50套散装伺服电机--固否50套散装遥控器--固否50套散装组装配件簧、密封件等固否50套散装木箱木固否50只散装PE膜聚乙烯固否50kg/卷0.2t清洗剂一缩二丙二醇≤12%、表面活性剂（月桂亚氨基二丙酸二钠）≤5%、丙二醇甲醚≤3%、水液否0.02t20kg/桶0.02t辅料仓库表2-6主要原辅料理化性质名称理化性质燃烧爆炸性毒性清洗剂透明液体；pH值（25℃)：10.5±1.0；比重（25℃):不燃无资料（2）主要燃料本项目不使用燃料。5、水平衡（1）生产用水A、组装性能测试用水：采用纯水对组装设备进行性能测试，测试时长为30min，纯水用量为4L/min，测试设备量为50台，损耗以20%计，则测试过程纯水用量为6t/a，产生测试废液为4.8t/a。B、清洗剂配比用水：清洗剂与纯水的配比为1:100，清洗剂用量为0.02t/a，则纯水用量为2t/a。C、实验室设备测试用水：客户下订单之前，均会带晶圆及载具等样品对所选型号的清洗机进行测试，以便于得知该型号清洗机的清洁能力，测试过程分为：①纯水测试（测试时长为120min，纯水用量为4L/min），测试频率8次/月，损耗以20%计，则纯水用量为46.08t/a，测试废液产生量为36.86t/a；②加清洗剂测试（测试时长为40min，纯水用量为4L/min），测试频率8次/月，损耗以20%计，则纯水用量为15.36t/a，测试废液产生量为12.29t/a，综上，实验室设备测试共需要纯水61.44t/a。D、纯水制备用水：本项目设有1套纯水制水机用于制备纯水，根据建设单位提供资料，项目纯水产率约为60%，本项目纯水制备量为69.44t/a，则用于制备纯水的自来水用水量约为115.73t/a（0.48t/d），浓水产生量约为46.29t/a。（2）生活用水建成后全厂员工共计60人，生活用水按100L/人·d计，则生活用水量为1440t/a，生活污水量按用水量的80%计，则生活污水产生量为1152t/a。（3）地面清洁本项目采用吸尘器清洁地面，无冲地废水产生。本项目水平衡见下图。图2-1水平衡图（单位t/a）6、劳动定员及工作制度职工人数：项目建成后，职工人数为60人，本项目不提供员工住宿，用餐由外单位配送。生产班制：年生产天数240天，白班制，8小时/班，全年工作时数约为1920h。7、厂区平面布置本项目位于苏州市吴中区甪直镇张庆街1号11幢，项目厂区北侧为迎新一路，隔路为居民点包家厍，东侧为南塘港，南侧为苏州世联行汽车科技发展有限公司及苏州新晋源食品科技有限公司生产厂房，西侧为张庆街，隔路为望湖玫瑰园。本项目所在厂房东侧、南侧、西侧、北侧均为甪直智能制造产业园其他企业。本项目一层主要布局为组装车间、测试车间、一般固废暂存仓库、危废暂存仓库，二层主要布局为设备测试实验室及辅料仓库，三层及四层均设置为办公区，厂区内具体内容见厂区平面布置图附图3-1~附图3-5。工艺流程和产排污环施工期：公司租用已建工业厂房作为经营场所，不进行土建，施工期只进行设备安装工程，此阶段主要在室内进行。运营期：（一）、晶圆/载具清洗机组装工艺流程：图2-2晶圆/载具清洗机组装工艺流程图工艺流程简述：（1）组装：人工对外包采购的晶圆/载具清洗机外壳及各配件进行组装。（2）性能测试：通电后采用纯水对组装设备的进行性能测试（测试目的：确认组装完成的设备是否能正常运转，水路是否通畅测试过程不添加清洗剂，测试过程为30min，用水量为4L/min，清洗采用淋洗方式，测试废液进入传送带下方的清洗槽（共1个，槽体规格为120cm*80cm*60cm此过程产生测试废液S1-1收集作为废液处置，设备运行产生的噪声N。（3）包装：人工对合格产品使用木箱及PE膜进行包装，此过程产生少量废包装材料S1-2。（二）、实验室测试工艺流程：客户下订单之前，均会自带沾染污染物的晶圆及载具等样品对所选型号的清洗机进行测试，以便于得知该型号清洗机的清洁能力。图2-3设备测试实验室测试工艺流程图工艺流程简述：测试过程分为：常规测试〔纯水测试〕及加速测试〔加清洗剂测试〕（模拟客户日常出货较急，需要快速清洗后进行下一工序，故添加清洗剂进行清洗，以减少清洗时长）。（1）纯水测试：晶圆通过测试设备传送带传送，测试过程仅使用纯水进行测试，测试时长30mim~120min，纯水用量4L/min，清洗采用淋洗方式，测试废液进入传送带下方的清洗槽（共1个，槽体规格为120cm*80cm*60cm），测试废液S2-2通过清洗槽连接的管道流入废液桶，定期处置，清洗过程设备运行产生的噪声N。（2）加清洗剂测试：为减少清洗时长，通过添加清洗剂进行测试，清洗时长40mim，清洗液用量为4L/min，清洗采用淋洗方式，测试废液进入传送带下方的清洗槽（共1个，槽体规格为120cm*80cm*60cm测试废液S2-3通过清洗槽连接的管道流入废液桶，定期处置，清洗过程产生清洗剂中有机组分挥发产生有机废气G1-1及设备运行产生的噪声N。（3）得出结论：样品外观清洗前后无差别，清洗剥离后无助焊剂和焊锡残留，PI制程后无crack裂纹现象，代表清洗干净，实验室检测后样品由客户自行带回，本项目不负责样品的处置。（三）、纯水制备工艺流程：图2-4纯水制备工艺流程图工艺流程简述：（1）石英砂过滤：自来水进入第一个滤芯，滤芯内置石英砂。（2）活性炭过滤：自来水进入第二个滤芯，滤芯内置活性炭，滤芯（约重28kg）两年一换，该过程产生废滤材S3-1。（3）两级RO反渗透过滤：自来水进入两级反渗透过滤装置，滤芯内置RO膜（3个为一组），RO膜（单个膜约重10kg）两年一换，该过程产生废滤材S3-2、S3-3、浓水W3-1、W3-2。（四）、其他另外，清洗剂拆包产生废包装容器Sa，员工生活过程中会产生生活垃圾Sb、生活污本项目主要产污工序及污染物对照表见下表：表2-7主要产污工序及污染物对照表污染种类产污工序污染物代码主要成份废气设备测试有机废气G1-1非甲烷总烃废水纯水制备浓水W3-1、W3-2COD、SS职工生活生活污水WaCOD、SS、TN、NH3-N、TP包装废包装材料纸箱、PE膜等实验室设备测试测试废液清洗剂、水等纯水制备废滤材活性炭、RO膜、杂质等清洗剂拆包废包装容器清洗剂、塑料等生活办公生活垃圾生活垃圾生产加工设备噪声NLeq(A)与项目有关的原有环境污染搬迁前项目主要情况：苏州芯钛半导体科技有限公司成立于2019年01月31日，注册地址位于苏州工业园区金鸡湖大道88号G1-11F-2单元，搬迁前仅进行办公，不进行生产。搬迁项目：第一工园·甪直智能制造产业园情况：苏州星甪产业园开发有限公司成立于2017年07月25日，注册地位于苏州市吴中区甪直镇长虹北路169号（甪直科技创业园），经营范围包括产业园开发与管理；房地产开发与经营；房地产营销策划；房产信息咨询服务；楼盘销售代理；物业管理；企业管理；会务服务；展览展示服务；建筑工程、市政工程的设计与施工。第一工园·甪直智能制造产业园，2019年吴中区重点项目，12万方智能制造示范区，占地面积约99亩。园区集生产制造、研发设计、成果转化、创新创业、产品展示和一站式服务功能于一体，打造先进制造业产业集聚平台，助力“2025苏州智造”。苏州星甪产业园开发有限公司建高标准工业用房项目于2021年2月1日进行了竣工验收，验收意见详见附件。苏州瑞雕科技有限公司于2020年11月向苏州星甪产业园开发有限公司购置11幢厂房，厂房购置合同详见附件3。本项目租用已建11幢闲置工业厂房作为经营场所，目前厂房闲置，厂房内无遗留污染物，不存在与项目相关的原有环境污染问题。厂区内目前已雨污分流，设置1个雨水接管口、1个污水接管口，雨水、污水总排口位于厂区西侧。本项目供水、供电、雨水管、污水管及排污口等公辅工程均依托出租方，不设置单独雨污排口，依托出租方雨水、污水总排口；供气系统为企业自建，厂内各企业排污总量单独进行申报，环保责任根据实际情况确定。区域环境质量现状1、大气环境本项目位于苏州市吴中区甪直镇张庆街1号11幢，依据《苏州市环境空气质量功能区划》（苏府[2004]40号），所在区域大气环境划为二类环境空气质量功能区，执行《环境空气质量标准》（GB3095-2012）二级标准及其修改单（生态环境部公告2018年第29号）要求。本项目调查项目所在区域环境空气质量达标情况，常规污染物数据来源于《2022年度苏州市生态环境状况公报》，苏州市全市环境空气质量平均优良天数比率为81.9%，同比下降1.9个百分点。各地优良天数比率介于78.7%~83.0%；市区环境空气质量优良天数比率为81.4%，同比下降4.1个百分点，公报数据如下：表3-1大气环境质量现状污染物年评价指标现状浓度(μg/m3)标准值(μg/m3)(%)达标情PM2.5年平均质量浓度2835达标PM10年平均质量浓度447062.9达标NO2年平均质量浓度254062.5达标SO2年平均质量浓度660达标O3日最大8小时滑动平均值的第90百分位数超标CO24小时平均第95百分位数400025达标对照《环境空气质量标准》(GB3095-2012)及《环境空气质量评价技术规范(试行)》(HJ663-2013)，除O3外其余指标均达到《环境空气质量标准》(GB3095-2012)二级标准，项目所在区域大气环境质量为不达标区。达标规划：根据《苏州市空气质量改善达标规划（2019-2024）》，以“力争到2024年，苏州市PM2.5浓度达到35µg/m3左右，臭氧浓度达到拐点，除臭氧以外的主要大气污染物浓度达到国家二级标准要求，空气质量优良大数比率达到80%”，2024年环境空气质量实现全面达标为远期目标，通过采取如下措施：1)调整能源结构，控制煤炭消费总量(控制煤炭消费总量和强度、深入推进燃煤锅炉整治、提升清洁能源占比、强化高污染染料使用监管)；2)调整产业结构，减少、污染物排放(严格准入条件、加大产业布局调整力度、加大淘汰力度)；3)推进工业领域全行业、全要素达标排放(进一步控制SO2、NOx和畑粉尘排放，强化VOCs污染专项治理)；4)加强交通行业大气污染防治(深化机动车污染防治、开展船舶和港口大气污染防治、优化调整货物运输结构、加强油品供应和质量保障、加强非道路移动机械污染防治)；5)严格控制扬尘污染(强化施工扬尘管控、加强道路扬尘控制，推进堆场、码头扬尘污染控制，强化裸地治理、实施降尘考核)；6)加强服务业和生活污染防治(全面开展汽修行业VOCs治理，推进建筑装饰、道路施工VOCs综合治理，加强餐饮油烟排放控制)：7)推进农业污染防治(加强秸秆综合利用、控制农业源氨排放)；8)加强重污染天气应对等，提升大气污染精细化防控能力。届时，区域环境空气质量将得到极大的改善。2、地表水环境本次评价地表水环境现状资料引用《2022年度苏州市生态环境状况公报》中的相关资料如下：2022年，全市地表水环境质量稳中向好，国、省考断面水质均达到年度考核目标要求，太湖连续15年实现“两个确保”。饮用水水源地：根据《江苏省2022年水生态环境保护工作计划》（苏水治办（2022)5号)，全市共13个县级及以上城市集中式饮用水水源地，均为集中式供水。2022年取水总量约为15.25亿吨，主要取水水源长江和太湖取水量分别约占取水总量的32.4%和53.9%。依据《地表水环境质量标准》(GB3838-2002）评价，水质均达到或优于Ⅲ类标准，全部达到考核目标要求。国考断面：2022年，纳入“十四五”国家地表水环境质量考核的30个断面中，年均水质达到或好于《地表水环境质量标准》(GB3838-2002）IⅢ类标准的断面比例为86.7%，同比持平；未达Ⅲ类的4个断面均为湖泊；无劣于V类水质断面；年均水质达到I类标准的断面比例为50.0%，同比上升10个百分点，IⅡI类水体比例全省第四。省考断面：2022年，纳入江苏省“十四五”水环境质量考核的80个地表水断面（含国考断面）中，年均水质达到或好于《地表水环境质量标准》(GB3838-2002）II类标准的断面比例为92.5%，同比持平；未达Ⅲ类的6个断面均为湖泊；无劣于V类水质断面；年均水质达到I类标准的断面比例为66.3%，同比上升12.5个百分点，II类水体比例全省第一。长江干流及主要通江河流：2022年，长江（苏州段）总体水质稳定在优级水平。长江干流（苏州段）各断面水质均达I类，同比持平，主要通江河流水质均达到或优于Ⅲ类，同比持平，I类水体断面个数明显提升，由上年的19个增加至24个。太湖（苏州辖区）：2022年，太湖湖体（苏州辖区）总体水质处于IⅣ类。湖体高锰酸盐指数和氨氮平均浓度分别为3.5毫克/升和0.09毫克/升，保持在I类和I类；总磷和总氮平均浓度分别为0.061毫克/升和1.21毫克/升，保持在IV类；综合营养状态指数为54.4，同比升高1.1，处于轻度富营养状态。主要入湖河流望虞河312国道桥断面水质达到I类。2022年3-10月安全度夏期间，通过卫星遥感监测发现太湖（苏州辖区）共计出现蓝藻水华81次，最大聚集面积375平方千米，平均面积60平方千米/次，与2021年相比，最大发生面积下降41.1%，平均发生面积下降11.8%。阳澄湖；2022年，阳澄湖湖体总体水质处于Ⅲ类。湖体高锰酸盐指数平均浓度为3.5毫克/升，由Ⅲ类变为I类，氨氮平均浓度为0.16毫克/升，保持在Ⅱ类；总磷和总氮平均浓度分别为0.048毫克/升和1.41毫克/升，保持在Ⅲ类和IⅣ类；综合营养状态指数为52.8，同比下降0.1，处于轻度富营养状态。京杭大运河（苏州段）：2022年，京杭大运河（苏州段）水质稳定在优级水平。沿线5个省考及以上监测断面水质均达到Ⅲ类，同比持平。本项目纯水制备浓水及生活污水通过市政污水管网排入苏州甪直新区污水处理有限公司处理，纳污河流为吴淞江。根据《江苏省地表水（环境）功能区划（2021-2030年）》，吴淞江江里庄水质功能要求为Ⅳ类水标准。3、声环境根据《建设项目环境影响报告表编制技术指南（污染影响类试行）》，厂界外周边50米范围内存在声环境保护目标的建设项目，应监测保护目标声环境质量现状并评价达标情况。根据调查，本项目所在厂区周边50米区域内无声环境敏感目标，故本报告不进行声环境现状监测。根据《2022年度苏州市生态环境状况公报》，区域声环境：2022年，苏州市昼间区域噪声平均等效声级为54.3dB(A)，同比下降0.5dB(A)，处于区域环境噪声二级（较好）水平，声强水平与2021年保持一致。各地昼间噪声平均等效声级介于52.6~55.0dB(A)。影响苏州市区昼间城市区域声环境质量的主要声源是社会生活噪声，所占比例达43.0%；其余依次为交通噪声、施工噪声和工业噪声，所占比例分别为22.9%、17.4%和16.7%。功能区声环境：依据《声环境质量标准》(GB3096-2008）评价，2022年，苏州市功能区声环境昼间、夜间平均达标率分别为99.5%和91.0%。与2021年相比，功能区声环境昼间和夜间平均达标率分别上升3.9和5.2个百分点。全市1~4a类功能区声环境昼间达标道路交通声环境：2022年，苏州市昼间道路交通噪声平均等效声级为66.9dB(A)，同比上升0.6dB(A)，交通噪声强度为一级，昼间道路交通声环境质量为好。监测路段中共有130.1千米的路段平均等效声级超出道路交通噪声强度昼间二级限值70dB(A)，占监测总路长的12.8%，同比上升3.3个百分点。4、生态环境本项目租用厂房进行生产，不新增用地，因此本项目不进行生态环境现状调查。5、电磁辐射本项目不属于电磁辐射类项目，故本项目不进行电磁辐射现状监测与评价。6、地下水和土壤本项目实验室测试使用清洗剂，组装车间检测仅使用纯水，生产车间、辅料仓库及实验室等地面均已做防渗处理，在生产过程中不存在土壤、地下水环境污染途径，故无需对本项目地下水、土壤环境进行现状调查。环境保护目标1、大气环境本项目厂界外500米范围内大气环境敏感目标汇总于下表所示。表3-2本项目大气环境保护目标序号坐标保护对象保护内规模环境功能区相对厂址方位相对厂界距离/mXY10200包家厍居民区《环境空气质量标准》（GB3095-2012）二类北2002-1300望湖玫瑰园居住区约936户西30-260紫竹园-名人居居住区南2602、声环境本项目厂界周边50米范围内无声环境敏感目标。3、地下水环境本项目厂界外500米范围内无地下水集中式饮用水水源和热水、矿泉水、温泉等特殊地下水资源。4、生态环境本项目利用已建厂房进行生产，不新增用地，项目周边无生态环境保护目标。环境质量标准1、大气环境质量标准评价区域范围内的环境空气质量标准执行《环境空气质量标准》（GB3095-2012）及修改单（生态环境部公告2018年第29号）中的二级标准，非甲烷总烃执行《大气污染物综合排放标准详解》中标准限值要求。表3-3环境空气质量标准污染物取样时间限值mg/m3依据SO2年平均0.06《环境空气质量标准》（GB3095-2012）及2018年修改单0.151小时平均0.5PM10年平均0.070.15PM2.5年平均0.0350.075CO41小时平均O3日最大8小时平均0.161小时平均0.2NO2年平均0.040.081小时平均0.2非甲烷总烃1小时平均2000《大气污染物综合排放标准详解》2、地表水环境质量标准根据《江苏省地表水（环境）功能区划（2021-2030年）》的划分，本项目纳污河道中规定的Ⅳ类水标准，具体数值如下。表3-4地表水环境质量标准项目pH（无量纲）CODDONH3-NTPⅣ类标准值mg/L6～9≤30≥3≤1.5≤0.33、声环境质量标准根据《市政府关于印发苏州市市区声环境功能区划分规定（2018年修订版）的通知》（苏府[2019]19号），本项目所在区域为居住、工业混杂区，为2类声功能区，本项目厂界声环境现状执行《声环境质量标准》（GB3096-2008）中的2类标准，即昼间60dB(A)，夜间50dB(A)。表3-5声环境质量标准类别昼间dB(A)夜间dB(A)依据2类6050《声环境质量标准》（GB3096-2008）污染物排放控制标准1、废气污染物排放标准本项目实验室设备测试工段产生的非甲烷总烃无组织排放执行《大气污染物综合排放标准》（DB32/4041-2021）中表3规定的限值。厂区内VOCs无组织排放监控点浓度执行《大气污染物综合排放标准》（DB32/4041-2021）中表2排放限值，具体见下表。表3-6废气污染物排放标准污染物无组织排放标准来源监控点厂界标准值mg/m3非甲烷总烃无组织排放监控点4.0《大气污染物综合排放标准》（DB32/4041-2021）表3标准限值非甲烷总烃在厂区内设置监控点监控点处1h平均浓度值《大气污染物综合排放标准》（DB32/4041-2021）表2标准限值6监控点处任意一次浓度值202、废水污染物排放标准本项目纯水制备浓水及生