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文档简介

《传感器与检测技术》

项目二电阻式传感器主讲人：牛亚莉陕西交通职业技术学院半导体式气敏传感器工作机理一、什么是气敏传感器什么是气敏传感器?气敏传感器是用来检测气体类别、浓度和成分的传感器。由于气体种类繁多，性质各不相同，不可能用一种传感器检测所有类别的气体，因此，能实现气-电转换的传感器种类很多，按构成气敏传感器材料可分为半导体和非半导体两大类。目前实际使用最多的是半导体气敏传感器。烟雾报警器酒精传感器二氧化碳传感器二、半导体式气敏传感器1、半导体式气敏传感器：利用半导体气敏元件同气体接触，造成半导体的电导率等物理性质发生变化的原理来检测特定气体的成分或者浓度2、材料：气敏电阻的材料是金属氧化物半导体;其中

P型：如氧化钴、氧化铅、氧化铜、氧化镍等。N型：如氧化锡、氧化铁、氧化锌、氧化钨等。合成材料有时还渗入了催化剂，如钯(Pd)、铂(Pt)、银(Ag)等。半导体式气敏传感器工作机理二、半导体式气敏传感器是利用气体在半导体表面的氧化还原反应导致敏感元件阻值变化而制成的。半导体气敏材料吸附气体的能力很强。当半导体器件被加热到稳定状态，在气体接触半导体表面而被吸附时，被吸附的分子首先在表面物性自由扩散，失去运动能量，一部分分子被蒸发掉，另一部分残留分子产生热分解而固定在吸附处(化学吸附)。当氧化型气体吸附到N型半导体(SnO2,ZnO)上，还原型气体吸附到P型半导体(CrO3)上时，将使半导体载流子减少，而使电阻值增大。当还原型气体吸附到N型半导体上，氧化型气体吸附到P型半导体上时，则我流子增多，使半导体电阻值下降。半导体式气敏传感器工作机理输出电压与温度的关系三、气敏电阻的特性半导体式气敏传感器工作机理四、气敏电阻式传感器的工作

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