中国晶圆的静电卡盘行业全景速览

-1-中国晶圆的静电卡盘行业全景速览内容概况：从行业供需方面来看，虽然近年来我国晶圆的静电卡盘产量有所增长，但仍难以满足国内大量的需求市场，因此，长期以来我国晶圆的静电卡盘处于供不应求的状态。具体来看，2022年我国晶圆的静电卡盘产量为77台，同比增长83.3%；需求量为464台，同比增长14%。一、概述静电卡盘又称静电吸盘（简称ESC）是以库伦定律、洛伦兹定律、J-R效应、电势梯度等为原理依据的新型吸附技术。根据被吸附对象材质的特性采用一种或者多种吸附方式，从而实现对物体有效地吸附。晶圆的静电卡盘是一种利用静电吸附原理将晶圆牢固地吸附在其表面的设备。它可以在晶圆加工过程中为晶圆提供稳定可靠的支撑，同时可以通过背吹气体来控制晶圆的温度。静电卡盘主要由陶瓷基板、静电电极、机械顶针、外设电源、背吹系统和冷却基体等部分组成。二、行业政策晶圆的静电卡盘的最终应用领域主要为集成电路制造，因此，集成电路行业的发展对行业起着至关重要的左右。近些年来，为了促进集成电路行业的发展，我国陆续发布了许多政策，如2021年中共中央国务院发布的《知识产权强国建设纲要（2021－2035年）》健全专门保护与商标保护相互协调的统一地理标志保护制度，完善集成电路布图设计法规。三、产业链晶圆的静电卡盘行业产业链上游为原材料供应环节，主要包括氧化铝、碳化硅、聚酰亚胺、环氧树脂等；中游为晶圆的静电卡盘生产供应环节；下游应用主要集中在半导体设备领域。由于我国半导体产业发展起步相对较晚，我国半导体设备行业发展更是步履维艰。受设备验证周期长、下游厂商缺乏动力、企业技术水平相对落后、规模较小、技术研发投入不足等因素制约，行业规模一直处于较小的状态。半导体设备大量依赖进口不仅严重影响我国集成电路的产业发展，也对我国电子信息产业安全造成重大威胁。2018年以来，随着国家对半导体领域的支持政策进一步强化，晶圆厂对设备供应链安全更为关注，行业进入高速发展期，国产化率迅速攀升，自2018年的5.03%上升至了2022年的14.08%，行业规模也随之快速增长。据资料显示，2022年我国半导体设备行业市场规模为1630.52亿元，同比下降8.8%。四、发展现状半导体产业具有技术含量高、研发投入大的特点，外资厂商布局较早，在各细分行业基本处于领导地位。我国半导体产业发展起步较晚，技术积累不足。目前我国半导体产业在制造、封测端具有良好行业竞争力，但在设计、材料、设备等方面依然与世界先进水平存在差距，在较大程度上仍然依赖进口，国产化率较低，近年来，在下游需求增长的推动下，我国晶圆的静电卡盘行业市场规模快速增长，但市场基本被国外品牌产品垄断，市场主要以进口产品为主。随着华卓精科生产技术的突破在一定程度上破除了海外厂商在静电卡盘领域的长期垄断局面，未来，在国家政策的大力支持下，国产晶圆的静电卡盘进口替代空间巨大。据资料显示，2022年我国晶圆的静电卡盘行业市场规模为28037.2万元，同比增长7.7%，其中进口产品规模占比为92.2%，较2017年下降6.3个百分点。区域分布方面，受国内集成电路等生产设备区域布局的影响，我国晶圆的静电卡盘产品消费具有明显区域性特征。2022年华北地区占比为49.74%；华东地区占比35.53%，其他区域占比为14.73%。从行业供需方面来看，虽然近年来我国晶圆的静电卡盘产量有所增长，但仍难以满足国内大量的需求市场，因此，长期以来我国晶圆的静电卡盘处于供不应求的状态。具体来看，2022年我国晶圆的静电卡盘产量为77台，同比增长83.3%；需求量为464台，同比增长14%。从行业均价方面来看，受技术水平的限制，虽然华卓精科已开发出12寸PVD氮化铝静电卡盘，在一定程度上破除了海外厂商在静电卡盘领域的长期垄断局面，目前该产品已实现小规模量产，但产品相较于国外高端产品仍有不小差距，进口产品价格也远高于国产价格。具体来看，2017年，我国国产晶圆的静电卡盘均价为18.0万元/台，进口晶圆的静电卡盘均价70.0万元/台。2022年，我国国产晶圆的静电卡盘均价增至28.9万元/台，进口晶圆的静电卡盘均价为66.8万元/台。五、竞争格局我国目前静电卡盘的研发制造仍处于起步阶段，虽部分产品已与业界先进水平持平，但在产品种类方面较行业头部企业仍有较大的差距，且在面向更高节IC制造需求的静电卡盘开发制造技术方面还落后于国际先进水平。国内企业开展静电卡盘研发，华卓精科已实现小规模量产。针对潜在的静电卡盘断供风险，目前已有多家国内制造商展开了静电卡盘的相关布局，并已取得了许多实质性的进展。目前已有包括华卓精科、海拓创新、中瓷电子、富创精密、珂玛科技等国家国内企业开始了静电卡盘相关的研发生产工作。其中华卓精科已开发出12寸PVD氮化铝静电卡盘，在一定程度上破除了海外厂商在静电卡盘领域的长期垄断局面，目前该产品已实现小规模量产。未来随着国家对关键半导体设备零部件研发的大力支持，美、日企业对我国静电卡盘产业链长期垄断的局面有望得到改变。六、发展趋势政策利好行业发展。作为关系国民经济和社会发展的基础性、先导性和战略性产业，集成电路及其相关行业得到了国家的持续关注，政府先后出台一系列针对集成电路及其相关行业的法律法规和产业政策，大力推动行业快速发展。一方面，国家陆续出台了《国务院关于印发进一步鼓励软件产业和集成电路产业发展若干政策的通知》和《国家集成电路产业发展推进纲要》等法律法规和行业政策，鼓励和推进集成电路产业快速发展；另一方面，国家陆续颁布了《关于退还集成电路企业采购设备增值税期末留抵税额的通知》、《关于集成电路企业增值税期末留抵退税有关城市维护建设税教育附加和地方教育附加政策的通知》和《关于集成电路生产企业有关企业所得税政策》等产业政策，为业内企业创造了有利的税收、研究支持、人才培养环境。发展前景向好。半导体作为国家战略新兴产业，将成为经济增长的新火车头。而晶圆的静电卡盘则为半导体产业的重要组成部分，以重大技术突破和发展需求为基础，对经济社会全局和长远发展具有重大的引领带动作用。经过近几年国家投入力度的加大和政策措施的扶持，战略性新兴产业已初步夯实了发展基础，将逐渐