- 现行
- 正在执行有效
- 2023-12-06 颁布
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基本信息：
- 标准号：ISO 21360-6:2023 EN
- 标准名称：真空技术——真空泵性能测量标准方法——第6部分：低温真空泵
- 英文名称：Vacuum technology — Standard methods for measuring vacuum-pump performance — Part 6: Cryogenic vacuum pumps
- 标准状态：现行
- 发布日期：2023-12-06
文档简介
ISO21360-6是关于真空技术的标准方法，主要关注真空泵的性能测量。这部分主要涉及到低温真空泵的性能测试。
以下是ISO21360-6:2023EN中关于cryogenicvacuumpumps（低温真空泵）的详细内容：
1.泵的类型和原理：低温泵通常包括各种类型的泵，如机械泵、热传导泵、磁力泵等。每种泵都有其特定的工作原理，适用于不同的真空环境和应用。
2.性能指标：泵的性能通常由几个关键指标来衡量，如极限压力、抽气速率、极限温度等。这些指标反映了泵在特定工作条件下的性能表现。
3.测试方法和程序：为了准确测量泵的性能，需要遵循一系列特定的测试方法和程序。这些程序包括但不限于选择适当的测试设备、设置测试条件、记录数据、分析结果等步骤。
4.测试环境：为了确保测试结果的准确性，通常需要一个特定的测试环境，如低温、低湿、无尘等。此外，还应考虑其他可能影响测试结果的因素，如泵的运行时间、测试对象的初始压力等。
5.结果解释和评估：通过测试得到的数据需要进行解释和评估，以确定泵的实际性能。这可能涉及到与预期性能的比较、评估性能变化的原因等。
6.误差分析和可靠性：测试过程中可能存在各种误差，如设备误差、环境误差等。为了确保结果的可靠性，需要对这些误差进行分析，并采取相应的措施来减小误差。
7.维护和修理：为了保持泵的良好性能，需要对泵进行适当的维护和修理。这可能涉及到定期更换部件、清洁和维护泵的内部结构等。
ISO21360-6:2023EN提供了关于低温真空泵性能测量的详细
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