- 现行
- 正在执行有效
- 2003-07-24 颁布
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基本信息:
- 标准号:ISO 20341:2003 EN
- 标准名称:表面化学分析 二次离子质谱法 利用多种三角层参考材料估算深度分辨率参数的方法
- 英文名称:Surface chemical analysis — Secondary-ion mass spectrometry — Method for estimating depth resolution parameters with multiple delta-layer reference materials
- 标准状态:现行
- 发布日期:2003-07-24
文档简介
ISO20341:2003是关于表面化学分析的国际标准,主要涉及二次离子质谱法(SIMS)。SIMS是一种用于表面分析的技术,可以提供关于材料表面化学成分的详细信息。该标准详细描述了一种方法,用于估算分辨率参数,通过使用多重delta-层参考材料。
具体来说,该标准提供了一种使用多重delta-层参考材料来估计SIMS分辨率参数的方法。分辨率参数是表征表面分析仪器在分析表面深度方向上的精度的参数。多重delta-层参考材料是一种特殊的材料,其表面具有精确的化学组成和厚度,可以用于校准和分析仪器,并估算其分辨率参数。
通过使用多重delta-层参考材料,该标准提供了估算SIMS分辨率参数的详细步骤和指导。这些步骤包括选择适当的参考材料、制备样品和参考材料的表面、进行SIMS分析、数据处理和结果解释等。这种方法可以提供更准确和可靠的分辨率参数,这对于确保表面分析结果的准确性和可靠性至关重要。
ISO20341:2003ENSurfacechemicalanalysis—Secondary-ionmassspectrometry—Methodforestimatingdepthresolutionparameterswithmultipledelta-layerreferencematerials提供了用于估算SIMS分辨率参数的详细方法,通过使用多重delta
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