• 现行
  • 正在执行有效
  • 2021-05-11 颁布
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【正版授权】 ISO 18114:2021 EN Surface chemical analysis - Secondary-ion mass spectrometry - Determination of relative sensitivity factors from ion-implanted reference materials_第1页
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基本信息：

  • 标准号：ISO 18114:2021 EN
  • 标准名称：表面化学分析 二次离子质谱法 根据离子注入参考材料确定相对灵敏度系数
  • 英文名称：Surface chemical analysis — Secondary-ion mass spectrometry — Determination of relative sensitivity factors from ion-implanted reference materials
  • 标准状态：现行
  • 发布日期：2021-05-11

文档简介

ISO18114标准规定了在使用二次离子质谱法进行表面化学分析时，如何通过离子植入参考材料来测定相对灵敏度因子。该标准主要涉及了实验室的实验过程和数据分析方法。

二次离子质谱法是一种高端的表面分析技术，它能够提供高精度的元素分析和化学信息。通过向样品喷射出高能的二次离子束，可以检测和分析这些离子的化学信息，从而揭示样品的表面化学组成。

在实验过程中，通常会使用离子植入技术，即将已知化学特性的参考材料离子植入到样品中。植入后的样品和参考材料一起进行分析，通过比较两者的响应，可以计算出样品的相对灵敏度因子。这些因子反映了样品对特定元素的检测灵敏度，对于定量分析具有重要意义。

在数据分析方面，ISO18114标准强调了准确性和可靠性的重要性。标准要求对实验条件、参考材料的制备和植入过程、样品的处理和分析结果进行详细记录和评估。任何可能导致结果偏差的因素都应被考虑，以确保数据的准确性和可靠性。

ISO18114标准为使用二次离子质谱法进行表面化学分析的实验室提供了一种标准化和规范化的方法，以确保实验结果的准确性和可靠性。该标准对于推动表面分析技术的发展和应用具有重要意义。

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