中国晶圆的静电卡盘行业市场规模、供需现状及价格走势分析_第1页
中国晶圆的静电卡盘行业市场规模、供需现状及价格走势分析_第2页
中国晶圆的静电卡盘行业市场规模、供需现状及价格走势分析_第3页
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-1-中国晶圆的静电卡盘行业市场规模、供需现状及价格走势分析一、晶圆的静电卡盘行业概况在集成电路制造工艺，特别是刻蚀、物理气相沉积及化学气相沉积过程中，为了避免晶片出现移动或者错位现象而导致工艺过程无法正常进行,多采用一定的装置对晶片进行固定、支撑。晶片固定装置主要包括机械卡盘、真空吸盘和静电卡盘三类。静电卡盘顾名思义是利用静电吸附原理将待加工晶片吸附在其表面并且可以通过背吹气体来控制晶片表面温度的设备，静电卡盘的基本结构主要包括陶瓷基板、静电电极、机械顶针、外设电源、背吹系统、水冷基体等。与传统的机械卡盘和真空吸盘相比静电卡盘具有很多的优点：机械卡盘、真空吸盘与静电卡盘的特点和对比机械卡盘、真空吸盘与静电卡盘的特点和对比二、集成电路行业政策集成电路产业战略地位显著，为鼓励集成电路产业发展，推进自主可控，摆脱受制于人的情况，国家先后出台一系列集成电路投资税收减免、政府补贴相关政策，举国之力保障供应链安全，促进行业健康发展。近年来集成电路行业一系列支持政策的推出，对晶圆的静电卡盘行业的健康发展提供了良好的保障。三、晶圆的静电卡盘行业现状在下游需求的刺激下，我国晶圆的静电卡盘行业不断发展，市场规模不断扩张，2021年中国晶圆的静电卡盘市场规模达到2.6亿元，同比增速为48.82%。近年来我国晶圆的静电卡盘产品呈现出供不应求的趋势。2017至2021年期间，产量方面，我国晶圆的静电卡盘产量自11台增长至42台，CAGR为39.79%；需求量方面，晶圆的静电卡盘需求量自197台增长至407台，CAGR为19.89%。目前,国内晶圆的静电卡盘行业需求的地区主要分布在国内半导体产业集中的华北、华东地区。2021年两大地区的合计占比达到86%。据统计，2017年，我国国产晶圆的静电卡盘均价为18万元/台，进口晶圆的静电卡盘均价70万元/台。2021年，我国国产晶圆的静电卡盘均价增至28.5万元/台，进口晶圆的静电卡盘均价为68万元/台。四、晶圆的静电卡盘行业产业链1、产业链示意图晶圆的静电卡盘行业产业链上游主要包括氧化铝、钛、碳化硅、聚酰亚胺薄膜及环氧树脂等行业；下游主要集中在半导体设备领域。2、下游市场晶圆的静电卡盘行业主要应用于半导体设备行业。根据SEMI统计数据显示，2011至2021年，中国大陆半导体设备销售额从36.5亿美元增长至296.2亿美元，年复合增长率高达23.29%。五、晶圆的静电卡盘行业重点企业北京华卓精科科技股份有限公司（简称华卓精科）由清华大学IC装备团队创立，是一家肩负着专项重大科研成果产业化重任的高新技术企业。公司拥有由国内外一流高校毕业的博士、硕士组成的专业研发团队和超精密制造经验丰富的核心生产团队，主要面向芯片制造厂及芯片装备制造商，提供系列整机装备、核心子系统、关键零部件和定制服务。是目前国内唯一一家成功设计研制集成电路光刻机双工件台的企业。数据显

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