《真空技术 四极质谱检漏方法GBT 35049-2018》详细解读

《真空技术四极质谱检漏方法GB/T35049-2018》详细解读contents目录1范围2规范性引用文件3术语和定义4一般要求4.1环境要求4.2设备要求4.3示踪气体纯度4.4人员资格contents目录4.5示踪气体选择4.6质量数选择4.7仪器校准5检漏方法5.1喷吹法5.2真空室法5.3四极质谱非真空累积法contents目录5.4吸枪法6检漏文件6.1检漏记录6.2检漏报告附录A(规范性附录)四种检漏方法适用的检漏记录附录B(规范性附录)检漏报告011范围明确了检漏过程中的环境要求，包括温度、湿度等，以保证检测结果的稳定性。提供了针对不同类型真空系统的检漏方案，以满足各种应用场景的需求。规定了四极质谱检漏仪的校准和使用方法，确保其准确性和可靠性。本标准规定了四极质谱检漏方法的技术要求和操作步骤适用于科研、生产等领域中真空系统的泄漏检测，如实验室、工业生产线等。本标准适用于各种真空系统的泄漏检测可用于检测各种材料制成的真空系统，包括金属、玻璃、陶瓷等。适用于不同真空度的系统检测，从高真空到超高真空均可有效检测。本标准不涉及真空系统以外的泄漏检测本标准专注于真空系统的泄漏检测，不涉及其他类型系统的泄漏问题。对于非真空系统的泄漏检测，应参考其他相关标准或规范进行。022规范性引用文件真空技术基本术语详细阐述了真空技术中常用的术语及其定义，为理解和实施本标准提供了基础。四极质谱检漏相关术语针对四极质谱检漏方法，给出了特定的术语和定义，确保读者能够准确理解该方法的技术细节。GB/T术语和定义真空度测试方法提供了测量真空系统真空度的方法和步骤，确保测试结果的准确性和可靠性。检漏方法通则规定了检漏方法的基本原则和要求，为实施四极质谱检漏提供了指导。GB/T测试方法标准真空系统设计标准涉及真空系统的设计要求、材料选择、制造工艺等方面的标准，确保真空系统的性能和安全性。真空设备性能标准相关真空技术标准规定了真空设备的性能指标、测试方法和检验规则，为评价设备性能提供了依据。0102真空技术国家和行业标准汇总了与真空技术相关的国家和行业标准，为实施本标准提供了参考和支持。这些标准涵盖了真空技术的各个方面，包括真空获得、真空测量、真空检漏和真空应用等。国家和行业标准033术语和定义真空指的是某一空间内气体压力低于环境大气压的状态。真空的定义通常使用帕斯卡（Pa）或托（Torr）作为真空度的单位。真空度的表示3.1真空质谱检漏原理利用不同气体分子在电离后形成的离子在电磁场中具有不同的运动轨迹，从而分离和检测不同气体的存在。质谱检漏的应用主要用于高真空和超高真空系统的泄漏检测，可快速准确地确定漏孔位置和漏率大小。3.2质谱检漏四极质谱计的结构由离子源、四极质量分析器和离子检测器组成。四极质谱计的工作原理气体分子在离子源中被电离成离子，经过四极质量分析器的筛选，不同质量的离子被分离并到达离子检测器进行检测。3.3四极质谱计指质谱检漏仪能够检测到的最小泄漏率。检漏灵敏度的定义包括质谱计的性能、检漏气体的性质以及检漏环境等。影响检漏灵敏度的因素3.4检漏灵敏度044一般要求应满足相关国家或行业标准，具备高灵敏度、稳定性和可靠性。质谱检漏仪应能提供稳定的真空环境，以满足质谱检漏的需求。真空系统通常使用氦气作为示踪气体，因其具有较小的原子量和良好的扩散性。检漏气体4.1设备与材料010203应熟悉本标准的各项规定，并能正确执行检漏操作。应具备对检漏结果进行准确判断的能力。操作人员应具备真空技术、质谱检漏仪使用及维护保养的基本知识。4.2操作人员要求010203实验室温度应控制在适宜范围内，以保证质谱检漏仪的稳定性和准确性。实验室湿度应适中，避免对质谱检漏仪造成损害。实验室应无强电磁干扰，以保证质谱检漏仪的正常工作。4.3环境条件4.4安全要求在进行检漏操作时，应严格遵守操作规程，避免发生意外事故。实验室应配备相应的安全设施，如灭火器、通风设备等。操作人员应穿戴符合规定的防护用品，确保人身安全。010203054.1环境要求温度控制为确保质谱检漏仪的正常工作和测量精度，测试环境应保持在适宜的温度范围内，通常建议在20-25摄氏度之间。避免温度极端变化，以防止设备内部元件因热胀冷缩而损坏，或对测量结果产生影响。湿度管理相对湿度应控制在一定范围内，一般建议不超过60%，以避免设备内部出现凝结水，影响电路板和元件的正常工作。在高湿度环境下，应采取适当的除湿措施，如使用除湿机或干燥剂等。清洁度要求为保证质谱检漏仪的灵敏度和准确性，测试环境应保持清洁，避免灰尘、油污等污染物进入设备内部。定期对设备进行清洁和维护，以确保其长期稳定运行。““质谱检漏仪是一种精密的测量设备，对电磁干扰较为敏感。因此，测试环境应远离强电磁场干扰源，如大功率电机、高频设备等。必要时，可采取屏蔽措施，如使用金属屏蔽罩或电磁屏蔽室等，以降低电磁干扰对测量结果的影响。电磁干扰防护064.2设备要求应具有高灵敏度，能够检测到微小的泄漏。灵敏度设备应具有良好的稳定性，确保长时间检测过程中的准确性。稳定性应具备快速的响应时间，以便及时发现泄漏。响应时间4.2.1质谱检漏仪应具备足够的抽气速率，以便在短时间内建立所需的真空环境。抽气速率真空系统应保持稳定，避免因外界因素导致的真空度波动。稳定性应能达到所需的真空度，并确保系统的密封性。真空度4.2.2真空系统准确性校准装置应具有高度的准确性，以确保检测结果的可靠性。稳定性校准装置应具有良好的稳定性，避免因长期使用而导致的误差。溯源性校准装置应能追溯到国际或国家承认的计量标准。4.2.3校准装置应提供稳定、纯净的示踪气体，以确保检测的准确性。气体供应系统应具备高效的数据处理系统，以便对检测结果进行实时分析和记录。数据处理系统应配备必要的安全防护设备，确保操作人员的安全。安全防护设备4.2.4辅助设备074.3示踪气体纯度纯度的重要性示踪气体的纯度在四极质谱检漏方法中至关重要。高纯度的示踪气体能够提供更准确的检测结果，减少误差和干扰，从而提高检漏的精度和可靠性。4.3示踪气体纯度纯度要求根据GB/T35049-2018标准，示踪气体应具有高纯度，通常要求达到99.99%以上，以确保检测结果的准确性。此外，示踪气体中不应含有与待测气体相同的成分，以避免干扰检测结果。纯度检测方法为了确保示踪气体的纯度满足要求，需要采用专业的气体纯度检测方法。常用的方法包括分光光度法、气相色谱法以及质谱法等。这些方法能够对气体成分进行精确分析，从而确定气体的纯度。4.3示踪气体纯度纯度对检测结果的影响：如果示踪气体纯度不足，其中含有的杂质可能会干扰质谱仪的检测信号，导致检测结果出现偏差。因此，在使用四极质谱检漏方法时，必须严格控制示踪气体的纯度，以确保检测结果的准确性和可靠性。总的来说，示踪气体的纯度是四极质谱检漏方法中的关键因素之一。通过采用高纯度的示踪气体和专业的纯度检测方法，可以提高检漏的精度和可靠性，为真空技术以及其他相关行业的泄漏检测工作提供有力支持。““084.4人员资格具备一定的真空技术和质谱检漏理论基础，了解质谱检漏仪的工作原理和操作规范。熟悉被检设备和检漏过程，能够独立完成检漏任务。具备良好的职业道德和责任心，保证检漏结果的客观性和准确性。4.4.1检漏人员的基本要求010203123检漏人员应接受专业的质谱检漏培训，掌握检漏技能和安全操作规范。定期参加技能考核，确保具备从事检漏工作的能力。不断学习和更新知识，以适应新技术和新设备的发展。4.4.2培训和考核负责按照规定的程序和要求进行质谱检漏工作。对检漏结果进行记录和分析，提出改进意见。在检漏过程中发现异常情况，应及时报告并采取措施。有权拒绝不符合安全规定的检漏任务。4.4.3职责和权限094.5示踪气体选择VS由于氦气的分子尺寸小，穿透能力强，且在大气中的背景浓度极低，因此常被用作示踪气体。其优点包括检测灵敏度高，不易受环境干扰。氢气（H₂）氢气也具有较高的穿透能力，且在大气中的背景浓度较低。然而，由于其易燃易爆的特性，使用时需特别注意安全。氦气（He）4.5.1常用的示踪气体灵敏度示踪气体的检测灵敏度应满足检漏要求。一般来说，分子尺寸较小、质量较轻的气体具有较高的检测灵敏度。稳定性示踪气体在检漏过程中应保持稳定，不易与其他物质发生化学反应或吸附在材料表面。安全性在选择示踪气体时，应首先考虑其安全性。例如，避免选择有毒、有害或易燃易爆的气体。4.5.2示踪气体的选择原则在使用示踪气体前，应对其进行纯度检查，确保气体中不含有杂质或水分，以免影响检漏结果。检漏完成后，应及时关闭示踪气体阀门，并将剩余气体妥善处理，以免造成环境污染或资源浪费。使用过程中应严格控制示踪气体的流量和压力，避免浪费和安全隐患。4.5.3示踪气体的使用注意事项104.6质量数选择质量数是指原子核中质子和中子的总数，不同的气体分子具有不同的质量数。在四极质谱检漏中，通过选择特定的质量数，可以针对性地检测某种气体分子的存在。质量数的选择是通过调整四极质谱仪的参数来实现的，这些参数包括电场强度、磁场强度等。质量数选择的原理01020301提高检测灵敏度通过选择合适的质量数，可以使得检测器对目标气体分子更加敏感，从而提高检测灵敏度。质量数选择的重要性02减少干扰在复杂的气体环境中，通过选择特定的质量数，可以减少其他气体分子的干扰，使得检测结果更加准确。03多组分气体分析通过选择不同的质量数，可以实现对多组分气体的同时检测和分析。根据特征峰的位置和强度，调整四极质谱仪的参数，使得检测器对目标气体分子具有最佳的响应。质量数选择的方法根据气体的分子量和化学性质来确定所需检测的质量数范围。利用四极质谱仪的扫描功能，对不同的质量数进行扫描，找到目标气体分子的特征峰。010203注意事项0302在进行质量数选择时，需要确保四极质谱仪处于稳定的工作状态，以获得准确的检测结果。01在实际应用中，还需要考虑其他因素如温度、压力等对检测结果的影响。对于复杂的气体环境，可能需要进行多次扫描和参数调整，以获得最佳的检测效果。114.7仪器校准校准目的确保质谱检漏仪的准确性和可靠性01提高检测精度，减少误差02保证检测结果的一致性和可重复性03校准方法绝对校准法利用已知漏率的标准漏孔对仪器进行校准对比校准法与其他已校准的质谱检漏仪进行对比准备校准设备和工具，包括标准漏孔、真空系统、质谱检漏仪等按照校准程序进行操作，记录校准数据分析校准数据，判断质谱检漏仪的准确性根据校准结果进行调整和修正，确保仪器处于最佳工作状态校准步骤校准记录详细记录校准过程、数据和结果，以备后续参考和分析定期校准根据使用频率和工作环境，制定合理的校准周期校准环境确保校准环境干净、无干扰因素校准周期与注意事项125检漏方法利用不同气体分子在四极质谱仪中被电离后的质荷比差异进行气体成分分析。通过测量样品中泄漏出的气体分子，确定泄漏位置和泄漏率。四极质谱仪具有高灵敏度、高分辨率和高精度的特点，适用于微小泄漏的检测。5.1四极质谱检漏原理010203准备阶段确保被检测设备和四极质谱仪处于良好的工作状态，校准仪器。5.2检漏步骤01抽真空对被检测设备进行抽真空处理，以达到四极质谱仪的工作要求。02检漏操作将四极质谱仪的测试探头置于被检测设备的可疑泄漏处，进行气体成分分析。03数据处理与分析记录测试数据，分析气体成分，确定泄漏位置和泄漏率。045.3检漏结果判定根据测试数据，判断是否存在泄漏以及泄漏的严重程度。01结合设备的使用要求和泄漏标准，对检漏结果进行综合评价。02提供详细的检漏报告，包括泄漏位置、泄漏率和改进建议等信息。03在进行四极质谱检漏时，应确保测试环境的干净和整洁，避免外部干扰。5.4注意事项测试探头应尽可能接近被检测设备的表面，以提高测试的准确性和灵敏度。对于复杂的设备结构，应进行全面而细致的测试，以确保无遗漏的泄漏点。135.1喷吹法010203利用喷枪向可能存在泄漏的部位喷吹示踪气体（如氦气）如果有泄漏，示踪气体会通过泄漏点进入被检件内部通过质谱检漏仪检测被检件内部是否有示踪气体，从而确定泄漏点位置原理用于向被检件喷吹示踪气体喷枪用于标记泄漏点示踪气体（如氦气）01020304用于检测示踪气体的存在质谱检漏仪用于连接被检件和质谱检漏仪连接管路及阀门设备与材料1.将被检件与质谱检漏仪连接，并确保系统密封性良好。3.使用喷枪向被检件可能泄漏的部位喷吹示踪气体，同时观察质谱检漏仪的读数变化。5.重复步骤3和4，直至检查完所有可能泄漏的部位。2.打开质谱检漏仪，进行系统校准和背景气体测量。4.如果发现示踪气体浓度升高，说明该部位存在泄漏。记录泄漏点位置，并进行后续处理。6.检查完毕后，关闭质谱检漏仪，断开被检件连接，并进行系统维护。010203040506操作步骤注意事项如果发现多个泄漏点，应优先处理较大的泄漏点，以减小系统压力波动对检测结果的影响。在喷吹过程中，要保持喷枪移动速度均匀，以确保每个部位都能被均匀喷吹到。确保喷枪与被检件保持适当距离，避免损坏被检件表面。010203145.2真空室法原理010203利用真空室建立起待测件内部与外界的压差通过测量真空室内气体压力变化，推算出待测件的泄漏率适用于小型、密封性要求较高的产品检漏ABCD真空室用于放置待测件并抽真空的密封腔体设备组成压力传感器用于实时监测真空室内的气体压力变化真空泵用于对真空室抽真空，以达到检测所需的真空度控制与数据处理系统用于控制检测过程，并对检测数据进行采集、处理和分析将待测件放入真空室，并确保密封性良好启动真空泵，对真空室进行抽真空操作，直至达到检测所需的真空度关闭真空泵，开始监测真空室内的气体压力变化记录压力变化数据，并根据预设的算法计算出待测件的泄漏率根据泄漏率判断待测件是否合格，并进行相应的处理0304020105操作步骤在检测前需对待测件进行清洁处理，以避免杂质对检测结果的影响注意事项01确保真空室的密封性良好，以避免外界气体对检测结果造成干扰02根据待测件的特点和检测要求，选择合适的真空度和检测时间参数03在检测过程中需保持环境稳定，以避免环境因素对检测结果的影响04155.3四极质谱非真空累积法利用不同气体分子在电离后形成的离子在电磁场中具有不同的运动轨迹，从而实现对气体分子的分离和检测。四极质谱检漏仪工作原理在检漏过程中，不需要对被检件进行抽真空处理，而是通过累积方式，直接在大气压下进行气体采样和分析。非真空累积法特点原理介绍四极质谱仪主机包括离子源、四极质量分析器、离子检测器等主要部件，用于气体的电离、分离和检测。采样系统由采样泵、采样管、过滤器等组成，用于从被检件中抽取气体样品。数据处理系统对采集到的信号进行放大、滤波、数据转换等处理，最终得到检漏结果。设备组成检查设备是否完好无损，连接采样管，打开电源预热。准备阶段观察并记录四极质谱仪输出的信号，根据信号判断被检件是否存在泄漏以及泄漏气体的种类和浓度。分析阶段启动采样泵，通过采样管从被检件中抽取气体样品，送入四极质谱仪进行分析。采样阶段关闭采样泵和电源，拆卸采样管，清理设备。结束阶段操作步骤注意事项在操作过程中，应避免采样管弯曲或折叠，以免影响气体流动和检测结果。01定期对设备进行校准和维护，确保检测结果的准确性和可靠性。02在检测过程中，应注意安全，避免触电、中毒等危险情况的发生。03165.4吸枪法准备吸枪和必要的连接管路，确保吸枪和质谱仪之间的密封性。抽取的气体通过连接管路进入质谱仪，进行分析。将吸枪对准可能存在泄漏的部位，开启吸枪，抽取该部位的气体。观察质谱仪的检测结果，判断是否存在泄漏以及泄漏气体的种类。操作步骤注意事项吸枪应保持清洁，避免污染气体样本。在检测过程中，应保持吸枪的稳定，避免气体样本的波动影响检测结果。若发现泄漏，应及时记录并处理。在使用吸枪法前，应确保质谱仪已校准并处于正常工作状态。优点吸枪法可以快速定位泄漏部位，适用于对大型设备或系统进行快速检漏。局限性对于微小泄漏可能不够敏感，需要结合其他检漏方法进行确认。此外，吸枪法的检测结果可能受到环境气体、温度、湿度等因素的影响。优点与局限性176检漏文件010203检漏文件应详细记录检漏过程、方法、结果及相关数据。检漏文件应遵循相关标准和规范，确保数据的准确性和可靠性。检漏文件应具有可追溯性，方便后续复查和验证。6.1检漏文件的基本要求明确检漏目的和要求，确定检漏方法和步骤。记录检漏过程中的关键数据，如检漏时间、地点、环境温度等。详细描述检漏设备、工具及其使用方法，确保操作规范。对检漏结果进行客观分析和评价，提出改进意见和建议。6.2检漏文件的编制要点审核过程中如发现问题，应及时与编制人员沟通并进行修改。审核通过后，应由相关负责人批准并签字确认。检漏文件应经过相关部门审核，确保内容真实、准确、完整。6.3检漏文件的审核与批准123检漏文件应妥善保存，防止丢失、损坏或泄露。定期对检漏文件进行归档整理，方便后续查询和使用。如有需要，可对检漏文件进行电子化存储，提高管理效率。6.4检漏文件的保存与管理186.1检漏记录提供改进依据通过对检漏记录的统计和分析，可以发现检漏过程中的问题和不足，为后续改进提供依据。跟踪和记录检漏过程通过详细记录检漏过程中的各项参数和操作，有助于后续对检漏结果进行分析和评估。确保检漏质量检漏记录可以作为质量控制的依据，确保每个检漏环节都得到了有效执行。检漏记录的重要性检漏设备信息记录使用的检漏设备的型号、规格、生产厂家等信息。检漏环境参数记录检漏时的环境温度、湿度、气压等参数，以确保检漏条件的可重复性。检漏过程数据详细记录检漏过程中的数据，如泄漏率、检测时间等。检漏结果分析对检漏结果进行简要分析，判断是否存在泄漏以及泄漏的严重程度。检漏记录的内容建议采用电子化存储方式，方便数据的检索和整理。定期对检漏记录进行归档和备份，以防数据丢失。检漏记录应妥善保存，以备后续查询和分析。检漏记录的保存和管理010203在设备维护中，通过查看检漏记录可以了解设备的泄漏情况，为维修提供依据。在产品研发阶段，检漏记录可以作为产品性能评估的参考数据。在生产过程中，通过检漏记录可以监控生产线的质量情况，及时发现并解决问题。检漏记录的应用场景196.2检漏报告检漏对象的基本信息包括设备名称、型号、生产厂家等。检漏结果记录各检测点的泄漏率数据，以及是否满足相关标准或技术要求。结论与建议根据检漏结果给出结论，提出针对性的改进建议或维护措施。检漏条件和方法详细说明检漏时的环境条件（如温度、湿度等）、使用的检漏仪器及型号、检漏方法（如四极质谱法）等。报告内容要求01020304报告格式要求报告应采用规范的文件格式，如Word、PDF等，确保内容清晰易读。报告应包含封面、目录、正文、结论与建议等部分，结构清晰明了。报告中的数据应以表格或图表形式呈现，便于阅读和分析。报告中的术语和符号应符合相关标准和规范，避免产生歧义。检漏报告应由具有相关资质和经验的技术人员进行审核，确保内容的准确性和可靠性。审核通过的报告应由相关负责人签发，并加盖单位公章或检测专用章，以示负责和认可。签发的报告应及时送达客户或相关部门，以便及时采取后续措施。报告审核与签发01020320附录A(规范性附录)四种检漏方法适用的检漏记录氦质谱检漏法检漏记录检漏仪器型号及编号01记录使用的氦质谱检漏仪的型号及唯一编号，以确保可追溯性。被检件信息02详细记录被检件的名称、型号、生产厂家及出厂编号等信息。检漏过程记录03包括检漏前的准备工作，如被检件的清洁、抽空等；检漏时的操作过程，如喷氦位置、喷氦时间等；以及检漏结果，如是否发现泄漏、泄漏位置等。检漏结论04根据检漏结果给出明确的结论，如合格、不合格或需进一步处理等。真空计检漏法检漏记录记录使用的真空计的型号及唯一编号，以确保可追溯性。真空计型号及编号详细记录被检件的名称、型号、生产厂家及抽空过程，包括抽空时间、达到的真空度等。被检件信息及抽空记录根据检漏结果给出明确的结论，并提出相应的处理建议。检漏结论及建议记录检漏时的环境温度、湿度等参数，以及检漏结果，如是否发现泄漏、