• 现行
  • 正在执行有效
  • 2016-07-18 颁布
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【正版授权】 ISO 16700:2016 EN Microbeam analysis - Scanning electron microscopy - Guidelines for calibrating image magnification_第1页
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基本信息：

  • 标准号：ISO 16700:2016 EN
  • 标准名称：显微光束分析 扫描电子显微镜 校准图像放大率的指南
  • 英文名称：Microbeam analysis — Scanning electron microscopy — Guidelines for calibrating image magnification
  • 标准状态：现行
  • 发布日期：2016-07-18

文档简介

ISO16700是一套关于微束分析（Microbeamanalysis）的指南，特别是在扫描电子显微镜（Scanningelectronmicroscope，SEM）中的应用。它提供了关于如何校准图像放大倍数的详细指导。

首先，校准图像放大倍数是非常重要的，因为它影响到你观察到的细节和准确度。在SEM中，放大倍数通常由仪器内部设置，并且通常在每次使用时都是固定的。然而，由于各种因素（如设备老化、环境变化等），这些设置可能已经发生变化，这可能导致观察到的图像不准确。

ISO16700提供了一系列步骤和指导方针，以帮助用户确定并校准他们的SEM设备的放大倍数。这通常包括使用已知尺寸的参考样品，例如微米尺或其他标准物体，来验证图像的放大倍数。此外，它还建议定期进行校准，以确保设备的性能始终保持在最佳状态。

具体步骤如下：

1.选择适当的参考样品，其尺寸可以被精确测量。

2.使用SEM观察样品，并记录你看到的图像。

3.使用已知的参考尺寸来验证图像的放大倍数。这可以通过比较观察到的特征与实际尺寸来实现。

4.如果发现放大倍数需要调整，可以使用ISO16700中提供的方法进行调整。这可能包括改变设备的设置或使用不同的观察模式。

5.重复步骤2-4，直到你得到满意的图像，并且放大倍数被校准。

ISO16700提供了一套详细的指南，用于校准SEM设备的图像放大倍数。这对于获得准确的观察结果和可靠的数据非常重要。使用这些指导方针，

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