• 现行
  • 正在执行有效
  • 2017-03-02 颁布
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【正版授权-英语版】 ISO 15470:2017 EN Surface chemical analysis - X-ray photoelectron spectroscopy - Description of selected instrumental performance parameters_第1页
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基本信息：

  • 标准号：ISO 15470:2017 EN
  • 标准名称：表面化学分析 X 射线光电子能谱 选定仪器性能参数说明
  • 英文名称：Surface chemical analysis — X-ray photoelectron spectroscopy — Description of selected instrumental performance parameters
  • 标准状态：现行
  • 发布日期：2017-03-02

文档简介

X射线光电子光谱（XPS）是一种表面化学分析方法，用于研究材料表面的化学组成和化学态。该标准详细描述了特定仪器性能参数的描述，包括但不限于以下方面：

1.分辨率：分辨率是仪器能够区分相邻元素谱线的能力。它决定了能解析出的谱线的精细结构。

2.能量分辨率：能量分辨率是仪器对不同元素发射的特定能量光子的分离能力。它决定了能够检测到的元素范围和光谱的精细结构。

3.扫描速度：扫描速度是指仪器在样品表面进行扫描的速度。它影响分析的灵敏度和样品表面的暴露时间，进而影响分析结果。

4.扫描模式：扫描模式包括线性扫描、循环扫描等。不同的扫描模式会影响分析结果的细节和整体趋势。

5.样品处理：样品处理包括样品制备、放置和保护等步骤。它影响样品的表面暴露和保护，进而影响分析结果。

6.数据处理：数据处理包括对光谱数据的解析、分析和解释。它影响结果的准确性和可靠性。

此外，该标准还强调了操作者在操作仪器和分析数据时需要注意的事项，如仪器校准、样品选择、环境条件等，以确保分析结果的准确性和可靠性。

以上是对ISO15470:2017ENSurfacechemicalanalysis—X-rayphotoelectronspectroscopy—Descriptionofselectedinstrumental

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