- 废止
- 已被废除、停止使用，并不再更新
- 2004-05-03 颁布
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基本信息：
- 标准号：ISO 15470:2004 EN
- 标准名称：表面化学分析 X 射线光电子能谱 选定仪器性能参数说明
- 英文名称：Surface chemical analysis — X-ray photoelectron spectroscopy — Description of selected instrumental performance parameters
- 标准状态：废止
- 发布日期：2004-05-03
文档简介
ISO15470:2004ENSurfacechemicalanalysis—X-rayphotoelectronspectroscopy—Descriptionofselectedinstrumentalperformanceparameters是关于X射线光电子光谱仪性能参数描述的国际标准。
以下是对该标准的详细解释：
X射线光电子光谱仪是一种用于分析材料表面化学成分的仪器。它通过照射样品表面，然后检测从样品表面发射的光电子来进行分析。该标准描述了光谱仪的主要性能参数，包括但不限于：
1.分辨率：分辨率是光谱仪能够区分两个相邻谱线的程度。更高的分辨率意味着能够更精确地测量样品表面的化学成分。
2.扫描速度：扫描速度是指光谱仪在样品表面进行扫描的速度。适当的扫描速度对于获得准确的结果至关重要，因为它会影响光电子的数量和光谱的形状。
3.灵敏度：灵敏度是指光谱仪对微弱信号的响应能力。对于低浓度化学成分的分析，灵敏度至关重要。
4.能量分辨率：能量分辨率是指光谱仪能够区分不同元素的光电子的能力。它决定了能够检测的元素的范围和精确度。
5.样品放置和操作：该标准还涉及到如何正确地放置和操作样品，以确保获得准确的结果。这包括选择适当的样品尺寸、材料和表面状态。
6.校准和精度：该标准强调了校准的重要性，以及如何确保结果的准确性。这包括定期进行校准和验证仪器性能。
通过了解这些性能参数，用户可以更好地选择和使用X射线光电子光谱仪，并获得更准确的结果。此外，该
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