- 现行
- 正在执行有效
- 2018-11-15 颁布
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基本信息:
- 标准号:ISO 13084:2018 EN
- 标准名称:表面化学分析 二次离子质谱法 飞行时间二次离子质谱仪质量标尺的校准
- 英文名称:Surface chemical analysis — Secondary ion mass spectrometry — Calibration of the mass scale for a time-of-flight secondary ion mass spectrometer
- 标准状态:现行
- 发布日期:2018-11-15
文档简介
ISO13084:2018标准主要涉及到表面化学分析中的二次离子质谱法(SIMS),以及为时序二次离子质谱法(ToF-SIMS)质谱仪的质量标定提供指导。这个标准对于正确使用ToF-SIMS设备进行精确分析至关重要。
主要涵盖了以下几个方面的内容:
1.**仪器校准**:对ToF-SIMS仪器质量标定的过程进行了详细描述,包括对质谱仪器的校准,以确保其准确性和可靠性。
2.**质荷比校准**:对于ToF-SIMS仪器中质荷比(m/z)的校准过程进行了详细说明,包括如何选择合适的离子源、如何进行离子束的收集和测量等。
3.**测量方法**:详细介绍了如何进行ToF-SIMS的测量,包括如何选择样品、如何进行样品处理、如何进行测量等。
4.**数据分析和解读**:对于如何解读和分析ToF-SIMS的数据进行了说明,包括如何对获得的离子谱图进行解释、如何分析物质的化学组成等。
使用此标准可以确保在准确测量物质表面的化学成分时使用正确的方法和校准方式,同时也有助于避免仪器设备的误差和潜在的问题。为了成功实施这个标准,使用者需要熟悉并掌握相关技术知识,同时也需要对实际操作过程中的实际情况有足够的了解和认识。
ISO13084:2018ENSurfacechemicalanalysis—Secondaryionmassspectrometry—Calibrationofthemassscaleforatime-of-flightsecondaryionmassspectrometer
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