• 现行
  • 正在执行有效
  • 2015-08-20 颁布
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【正版授权-英语版】 ISO 13083:2015 EN Surface chemical analysis - Scanning probe microscopy - Standards on the definition and calibration of spatial resolution of electrical scanning probe micr_第1页
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基本信息：

  • 标准号：ISO 13083:2015 EN
  • 标准名称：表面化学分析 扫描探针显微镜 用于二维掺杂成像和其他目的的电扫描探针显微镜（ESPM）（如 SSRM 和 SCM）空间分辨率的定义和校准标准
  • 英文名称：Surface chemical analysis — Scanning probe microscopy — Standards on the definition and calibration of spatial resolution of electrical scanning probe microscopes (ESPMs) such as SSRM and SCM for 2D-dopant imaging and other purposes
  • 标准状态：现行
  • 发布日期：2015-08-20

文档简介

*定义和空间分辨率测量的重要性：在这类扫描探针显微镜（ESPM）中，例如扫描二次电子显微镜（SSRM）和扫描电容显微镜（SCM）等，用于二维掺杂成像和其他目的的空间分辨率定义和校准的标准非常重要。

*分辨率测量方法的标准化：在许多不同的方法中，为了在所有ESPM中进行标准化，标准的空间分辨率测量方法已经定义。这些方法包括基于阈值分析的、基于边缘检测的、基于相位解调的等。

*仪器校准的指导原则：标准的制定为仪器制造商和用户提供了校准工具和方法。这有助于确保在所有设备中都有一致的空间分辨率。

*结果的可比性：标准的制定也旨在促进在所有ESPM上的结果的可比性。通过采用标准的校准方法，可以在相同的条件下比较不同的设备性能。

空间分辨率是表面化学分析中的关键参数，它决定了能够观察到的最小的表面结构。这对于理解材料的性质和性能至关重要。标准化的定义和校准方法有助于确保所有设备都能提供可靠和可重复的结果。

以上是ISO13083:2015ENSurfacechemicalanalysis—Scanningprobemicroscopy—Standardsonthedefinitionandcalibrationofspatialresolutionofelectricalscanningprobemicrosco

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