JBT 7401-2024《平面平晶》规范

ICS17.180.30CCSN34JB代替JB/T7401-1994IJB/T7401—XXXX前言 2规范性引用文件 3术语和定义 4分类、规格和尺寸 4.1圆平晶 4.2长平晶 4.3单面平晶 24.4双面平晶 35材料 36分级和技术要求 36.1分级 36.2工作面平面度 36.3长平晶的自重变形量 46.4非工作面平面度 56.5两抛光面的夹角 56.6表面疵病 56.7两抛光面的表面粗糙度 56.8材料缺陷 56.9外观 66.10运输、贮存基本环境试验 67试验方法 错误！未定义书签。7.1试验条件 67.2工作面平面度 77.3长平晶工作面宽度截面内的平面度 7.4非工作面平面度 7.5两抛光面的夹角 7.6两抛光面的表面疵病 7.7两抛光面的表面粗糙度 7.8材料缺陷 7.9外观 7.10运输、贮存基本环境条件试验 8检验规则 8.1检验分类 8.2出厂检验（即交货检验） 8.3型式检验 JB/T7401—XXXX9标志、包装、运输及贮存 9.1标志 9.2包装 9.3运输 9.4贮存 附录A（资料性）长平晶自重变形量 19附录B（资料性）长平晶材料弹性模量的测量方法 20JB/T7401—XXXX本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。本标准代替JB/T7401-1994《平面平晶》。与JB/T7401-1994相比，除结构调整和编辑性改动外，主要技术变化如下：——更改了标准的适用范围（见第1章）；——增加了“术语和定义”一章（见第3章——增加了对平晶规格的命名（见第4章——增加了长平晶的规格、技术要求和试验方法（见4.2、6.22、6.3、6.4、6.5、6.6、6.8、6.9、第7章、附录A和附录B——增加了在平晶圆柱面上制作商标和产品序号的补充规定（见4.3.2——更改了对表面疵病的技术要求，并将原附录A的内容纳入正文（见6.6，1994年版的4.2.2——更改了对材料气泡度和应力双折射的技术要求（见6.8，1994年版的4.1——废弃了JB/T7401-1994的工作面平面度试验方法；重新制订了用平面相移干涉仪、平面等厚干涉仪、平面等倾干涉仪和采用多面互检法检验工作面平面度的方法（见第7章）。请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。本文件由中国机械工业联合会提出。本文件由全国光学和光子学标准化技术委员会（SAC/TC103）归口。本文件起草单位：贵阳新天光电科技有限公司、上海理工大学、苏州慧利仪器有限责任公司、贵州省光学测量工程技术研究中心、河南省计量科学研究院、南京东利来光电实业有限责任公司、宁波永新光学股份有限公司、宁波湛京光学仪器有限公司、广州粤显光学仪器有限责任公司、南京江南永新光学有限公司、宁波舜宇仪器有限公司、宁波市教学仪器有限公司、梧州奥卡光学仪器有限公司、麦克奥迪实业集团公司、宁波华光精密仪器有限公司、重庆奥特光学仪器有限责任公司。本文件主要起草人：胡清、冯琼辉、韩森、罗武勇、张卫东、洪宜萍、毛磊、鲍金权、徐涛、李晞、胡森虎、张琪、张景华、章光伟、徐利明、吴国民。本文件及其所代替文件的历次版本发布情况为：——1985年首次发布为ZBN304-85；——1994年第一次修订，发布为JB/T7401—1994；——本次为第二次修订。JB/T7401—XXXX平面平晶用于测量精密零部件平面度，广泛应用于光学仪器、精密机械和量具制造业，是保证产品质量不可缺少的测量器具。本文件规定了平面平晶的分类、规格和尺寸、材料、分级和技术要求，描述了相应的试验方法，规定了检验规则、标志、包装、运输及贮存。为平面平晶的设计、制造、检验提供了依据，其目的是促使平面平晶产品实现标准化、规范化，同时为平面平晶量值准确和产品质量提供可靠保证。JB/T7401-1994《平面平晶》发布实施已近三十年，由于技术的发展、产品市场的变化和相关标准的更新，已不能适应产业现状，有必要修订完善，以不断适应产业发展新需求。本次对JB/T7401的修订，纳入了产品新类型——长平晶，并规范了各类型的命名，修改了与相关标准不协调之处；更新了试验方法，引入了市场上最新的相移干涉仪作为平面度的检验器具，并完善了试验方法。修订后，对规范市场、指导产品生产、提高产品技术性能和质量水平，促进产业高质量发展提供可靠的技术支撑。1JB/T7401—XXXX平面平晶本文件规定了平面平晶的分类、规格、尺寸、材料、分级和技术要求，描述了相应的试验方法，规定了检验规则、标志、包装、运输及贮存。本文件适用于以光波干涉法检验平面的平面度、直线度和量块研合性的圆平面平晶和长平面平晶的制造。2规范性引用文件下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T191包装储运图示标志GB903-1987无色光学玻璃GB/T1185-2006光学零件表面疵病GB/T2828.1计数抽样试验程序第1部分：按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划GB/T2831-2009光学零件的面形偏差GB/T6388运输包装收发标志GB/T7661-2009光学零件气泡度GB/T7962.5-2010无色光学玻璃测试方法第5部分：应力双折射GB7962.7-1987无色光学玻璃测试方法条纹度检测方法GB/T9969工业产品使用说明书总则GB/T13323-2009光学制图GB/T14436工业产品保证文件总则GB/T15464仪器仪表包装通用技术条件GB/T25480-2010仪器仪表运输、贮存基本环境条件及试验方法3术语和定义本文件没有需要界定的术语和定义。4分类、规格和尺寸4.1圆平晶圆平面平晶（以下简称圆平晶）的规格以其外形直径数值前加“Ф”表示，其外形简图和外形尺寸4.2长平晶长平面平晶（以下简称长平晶，并把圆平晶和长平晶统一简称为平晶）的规格以其外形长度数值前加“L”表示，其外形简图和外形尺寸如表2所示。2JB/T7401—XXXX表1单位为毫米00000表2单位为毫米LHBC7标引序号说明:4.3单面平晶3JB/T7401—XXXX4.3.1圆平晶和长平晶上具有两个抛光面，其余为毛面，用于测量的抛光面称为工作面。一个抛光面为工作面，另一个抛光面为非工作面的平晶，称为单面平晶。4.3.2圆单面平晶的商标和产品序号制作在非工作面的指定区域，其位置如表1简图所示的K区域；也可以制作在圆柱面上，但在圆柱面上应标记箭头，其尖端指向工作面。4.3.3长平晶均为单面平晶。其非工作面的纵轴线上刻有一列十字线，其位置尺寸和数量见表2；长平晶的产品序号和商标制作在长平晶的侧面上。4.4双面平晶两个抛光面均为工作面的圆平晶，称为双面平晶，双面平晶的商标和产品序号制作在圆柱面上。5材料平晶可以选取GB903-1987中的K9、K4、QK2等牌号的光学玻璃制造，也可以选择石英等耐磨玻璃制造。6分级和技术要求6.1分级依据制造精度，圆平晶可划分为1级、2级；长平晶不分级。6.2工作面平面度6.2.11级、2级圆平晶工作面的有效直径d和有效直径范围内的平面度公差，应符合表3的规定。dd范围外—6.2.2长晶工作面的平面度在长度截面内和宽度截面内分别评定，其有效工作区和区内的平面度公差，应符合表4规定。4JB/T7401—XXXX平面度公差(μm）L2106.3长平晶的自重变形量出厂的长平晶，应给出当采用两端支承，且工作面处于水平并朝下时，长平晶工作面上每组十字线投影处，因自重所引起的变形量（参见图1）。自重变形量可按公式（1）计算并给出。符合表2规定尺寸，材料为K9的L210和L310长平晶，按公式（1）计算得到的自重变形量，参见附录A。................................................................式中：i——变形量所在点序号。以长平晶最左端十字线为序号0，向右十字线各点依次序号为1、2、3（对于L210长平晶，见图1）和1、2、3、4、5（对于L310长平晶）；zi——第i点的自重变形量，单位为微米(μm）；xi——第i点到支承端的距离，单位为厘米（cmLzh——两支承端的距离，单位为厘米（cmH——长平晶的厚度，单位为厘米（cmρ——长平晶材料的比重，单位为kg/cm3；本文件第4章所推荐材料的比重，如表5所示；E——长平晶的弹性模量，单位为N/mm2；按本文件第4章所推荐材料制造的长平晶的弹性模量，如表5所示。由于长平晶形体对称，长平晶右半部分的自重变形量与左半部分相同。在按公式(1)计算长平晶的自重变形时，如对长平晶的实际弹性模量持有疑义，可参照附录B对长平晶的弹性模量进行测量，按测量得到的弹性模量计算自重变形。5JB/T7401—XXXX6.4非工作面平面度6.4.1圆平晶非工作面的平面度公差为3μm。6.4.2长平晶非工作面在任意100mm范围内的平面度公差为1μm。6.5两抛光面的夹角平晶两抛光面应具有微小夹角，其允许值如下：a)对于规格Ф30~Ф100的圆平晶，其夹角应在(10~20)ˊ范围内；b)对于规格Ф150和Ф200的圆平晶，其夹角应在(7~15)ˊ范围内；c)对于长平晶，其宽度截面两侧厚度差应在（0.1~0.2）mm范围内；其长度截面两端厚度差应不大于0.1mm。6.6表面疵病6.6.1圆平晶工作面和非工作面的表面疵病公差如表6所示。6.6.2规格L210和L310长平晶工作面和非工作面的表面疵病公差与表5中的规格Ф100和Ф150圆平晶相同。34579345796.6.3对于宽度小于表6规定最大宽度的擦痕允许值，和直径小于表5规定麻点最大级数的麻点允许值，可按GB/T1185-2006附录A的规定进行换算。6.6.4表面疵病不允许密集；在任意5%面积内，基本级数的疵病数量应不超过允许值的20%。6.7两抛光面的表面粗糙度平晶两抛光面的表面粗糙度公差为Rz0.063μm。6.8材料缺陷6.8.1应力双折射平晶材料的应力双折射应符合GB/T13323-2009附录B.1的规定。平晶材料的应力双折射公差为OPD=20(nm/cm)。6.8.2条纹度平晶材料的条纹度应符合GB903-1987中第2类B级的规定。6.8.3气泡度6JB/T7401—XXXX6.8.3.1圆平晶材料的气泡度公差如表所示。345796.8.3.2规格L210和L310长平晶的气泡度公差分别与表6中的规格Ф100和Ф150圆平晶相同。6.8.3.3对于直径小于表6规定的气泡最大级数的气泡允许数量，按GB/T7661-2009中的4.4进行换6.8.3.4气泡的密集度应符合GB/T7661-2009中的4.5的规定。6.9外观6.9.1圆平晶圆柱面与工作面、长平晶侧面与工作面应无明显不垂直现象。6.9.2平晶圆柱面磨砂应均匀；倒角无破损，倒角宽度应均匀。6.9.3平晶上的刻字、刻线以及标记应清晰、明显。6.10运输、贮存基本环境试验平晶在运输包装条件下的环境模拟试验应符合GB/T25480-2010表1中的所有要求。其中选用高温+55℃,低温-40℃,交变湿热试验相对湿度95%，自由跌落4次，跌落高度250mm。7试验方法7.1试验条件7.1.1平晶检验应在洁净、无扰动气流并远离震动的室内进行。检验工作面平面度时，如有必要，应将测量仪器放在防震台上和采取防扰动气流措施。7.1.2检验室室温应为20±5℃,相对湿度在80%以下；检验前，标准平晶和被检平晶置于检验室内应不少于表8规定的时间。7.1.3检验工作面平面度时，对平晶等温时间和室温变化的要求如表9所示。7JB/T7401—XXXX7.2工作面平面度7.2.1测量器具和适用范围平晶工作面平面度的试验方法，可分为直接比较法和多面互检法两大类。所使用的测量仪器有平面相移干涉仪、平面等厚干涉仪和平面等倾干涉仪。表10给出了检验平晶工作面平面度的各种方法、所用测量器具和适用范围。对于不同类型、规格和级别的平晶，可选择其中所适用的方法进行检验。7.2.2用平面相移干涉仪检验工作面平面度7.2.2.1对测量器具的要求本项检验，对所用测量器具的要求如下：a)平面相移干涉仪（以下简称仪器）的直径测量范围应大于或等于被检平晶直径；b)仪器光源的波长误差和波长稳定性应不超过0.01nm；c)仪器所采集的相邻相位干涉图相位差的误差应不超过±2º;d)仪器标准平面的面形偏差应已知，偏差值测量的扩展不确定度U（k=3）应不超过±0.01μm。7.2.2.2直接比较法试验程序将被检平晶工作面向上，放置在仪器工作台中央（如图2所示）。调整标准平面与被检平晶工作面的夹角，使该两面反射光的波面产生干涉，在电脑显示屏上出现具有干涉条纹的干涉图（干涉条纹数不超过3条）。用软件菜单的光栏设置功能，按表3设置检验范围。8JB/T7401—XXXX按表9的要求进行等温后，通过电脑，用仪器的CCD摄像器件采集干涉图上若干点的光强。图上坐标为（x,y）点的光强可表达为公式（2）。Ik(x,y)=Ia(x,y)+Ib(x,y)cos[φ(x,y)+δk]..................................................(2)式中：k——干涉图序号；Ik(x,y)——第k幅干涉图上(x,y)点的光强；Ia(x,y)——(x,y)点光强的直流分量；Ib(x,y)——(x,y)点光强的交流分量；φ(x,y)——(x,y)点处干涉条纹的相位；δk——相移量。通过驱动装置，使标准平面沿光轴方向产生微量位移，从而使干涉图上各采样点的干涉条纹获得不同的相移量δk。以4步相移算法为例，当所采集4幅干涉图（例如图3）的相移量分别为以下值时：则4幅干涉图上x,y）点的光强，可表达为方程组（3）。I1(x,y)=Ia(x,y)+Ib(x,y)cos[φ(x,y)-)]I2(x,y)=Ia(x,y)+Ib(x,y)cos[φ(x,y)](3)I3(x,y)=Ia(x,y)+Ib(x,y)cos[φ(x,y)+]I4(x,y)=Ia(x,y)+Ib(x,y)cos[φ(x,y)+π)]按公式（4）求解方程组（3），可以得到干涉图上各采样点干涉条纹的相位。再按公式（5）计算，得到被检平晶工作面各采样点到标准平面对应点的距离。=tan-1.........................................................................................................................式中：9JB/T7401—XXXXφ(x,y)——干涉图上各采样点干涉条纹的相位；d(x,y)——被检平晶工作面各采样点到标准平面对应点的距离（忽略常数项后λ——照明光的波长。在去掉标准平面上各采样点的平面度偏差、被检平晶工作面相对于理想平面的倾斜和常数项后，可以得到被检平晶工作面上各采样点相对于理想平面的高度z(x,y)。则被检平面的平面度按公式（6）计算。PV=max[z(x,y)]-min[z(x,y)]..............................................................(6)式中：PV——被检平晶工作面的平面度；max[z(x,y)]——被检平晶工作面上，相对于理想平面的最高点的高度；min[z(x,y)]——被检平晶工作面上，相对于理想平面的最低点的高度。按公式（7）计算平面度偏差的RMS值。RMS=..........................................................式中：RMS——平面度偏差的RMS值；z(x,y)——(x,y)点的面形偏差；N——采样点个数；zm——所有z(x,y)的平均值。当PV值是RMS值的6~8倍时，测得的PV值有效；若否，则说明z(x,y)数据中可能存在异常，应检查原因并重新检验。7.2.2.3三面互检法试验程序将参加互检的三块平晶分别命名为A、B、C。互检前，应在A、B、C的圆柱面上，做好x、y方位标记。进行互检时，将A、B、C中的一块，被测面朝下，安装在仪器标准平面位置上（以下简称上方再将与之配对的另一块，被测面向上，安装在仪器载物台中央（以下简称下方）。互检的顺序如下。每一个组合，两块平晶的x,y摆放方位，如图4所示。a)B在上方，A在下方。对B+A组合进行互检。b)B在上方，A在下方并且逆时针转90°。对B+A90组合进行互检。c)C在上方，A在下方。对C+A组合进行互检。d)C在上方，B在下方。对C+B组合进行互检。按6.2.2.2程序，对B+A组合、B+A90组合、C+A组合、C+B组合进行互检，得到各组合两工作面上各采样点的面形偏差之和d2(x,y)，d3(x,y)，d4(x,y)。JB/T7401—XXXX用仪器软件求解A、B、C工作面上各采样点的平面度偏差zA(x,y),zB(x,y),zC(x,y)，并搜索PV值，以其作为A、B、C平晶工作面平面度的检验结果。7.2.3用平面等厚干涉仪检验工作面平面度7.2.3.1直接比较法试验程序当采用具有标准平面的一级平面等厚干涉仪进行检验时，将被检平晶工作面朝上，放置在平面等厚干涉仪的工作台中央（见图5），调整工作台调平装置，使视场中呈现3~5条干涉条纹，然后按表9的要求进行等温。当采用不具有标准平面的平面等厚干涉仪进行检验时，先将2等标准平晶工作面朝上，放置在平面等厚干涉仪的工作台中央；再将被检平晶工作面朝下，放置在标准平晶上，二者之间应垫入三块等厚纸垫（见图6），调整工作台调平装置，使视场中的干涉条纹成像清晰，调整两平晶接触状态，使视场中呈现3~5条干涉条纹，然后按表9的要求进行等温。等温结束后，使用以上两种平面等厚干涉仪（以下均简称为仪器）的以下试验程序相同。转动仪器测微目镜，使其视场中十字线其中一条刻线平行于条纹走向，如图7a所示，用仪器的测微目镜测量视场当中两条干涉条纹的间距a和干涉条纹在有效直径d范围内的弯曲量b，按公式（8）计算被检平晶在x截面内的平面度偏差Fx。JB/T7401—XXXX.FS........................................................................(8)式中：Fx——被检平晶在x截面内的平面度偏差，单位为微米(μm)；b——干涉条纹弯曲量，单位为测微目镜鼓轮格数；a——干涉条纹间距，单位为测微目镜鼓轮格数；λ——仪器照明光源的波长，单位为微米(μm)；d——被检平晶有效直径，单位为毫米(mm)；dS——标准平晶有效直径，单位为毫米(mm)；FS——检定证书给定的标准平晶的平面度偏差，单位为微米(μm)；公式（8）中b的正负号，应依据GB/T2381-2009中的7.1.3进行判别。对于(2/3)d直径范围内的平面度偏差，h的取值范围应在(2/3)d直径的界限内，如图7b所示。在不旋转平晶的前提下，微调工作台调平装置的旋钮，或调整两平晶接触状态，使干涉条纹走向平行于视场中的另一条刻线（在图7c中为y），并使视场中的条纹数与先前相同，按上述程序测量被检平晶在y截面内的平面度偏差Fy。如果x、y两个截面内测得平面度偏差符号相同，则取Fx、Fy中绝对值较大者作为测量结果；如果x、y两个截面内测得平面度偏差的符号相反，则取Fx、Fy二者绝对值之和作为检验结果。对于双面平晶，两个工作面均应按以上程序进行检验。7.2.3.2多面互检法试验程序互检前，应为每块平晶命名为A、B、C、D等，并在每一块圆平晶的圆柱面上标出被测x和y截面标记线（两截面应相互垂直）。互检时，上下两块平晶的标记线应对齐，截面符号应一致，并将干涉条纹走向调整到与截面方向一致。参与互检的平晶之中，必须有一块平面度已知的1级平晶；该平晶此次检验结果与其已知平面度之差应不大于0.015μm，否则应重新检验。多面互检法可分为三面互检法和四面互检法。三面互检法是将A、B、C平晶按A与B、A与C、B与C进行组合，按7.2.3.1所述程序分别检验x、y截面内，每一对平晶工作面的平面度偏差之和，按方程组（9）分别求解A、B、C平晶工作面在x、y截面内的平面度偏差。式中：A,B,C,D——A,B,C,D平晶工作面在x或y截面内的平面度偏差，单位为微米(μm)；ab,ac,bc,——A与B，A与C，B与C平晶组合时，所测得两工作面在x或y截面内的平面度偏差之和，单位为微米(μm)；JB/T7401—XXXX四面互检法是将A、B、C、D平晶按A与B、A与C、A与D、B与C、B与D、C与D进行组合，按7.2.3.1所述程序分别检验x、y截面内，每一对平晶工作面的平面度偏差之和，按方程组（10）分别求解A、B、C、D平晶工作面在x、y截面内的平面度偏差。（10）式中符号含义，同公式（9）。最后，按6.2.3.1对各平晶工作面在x、y两截面内的平面度偏差进行统一处理，得到平面度检验结果。7.2.4用平面等倾干涉仪检验工作面平面度7.2.4.1直接比较法试验程序检验前，应在平晶的圆柱面上，标出被测x和y截面标记线（两截面应相互垂直）。将标准平晶工作面朝上放置在平面等倾干涉仪（以下简称仪器）的工作台中央。将仪器具有三个钢球的支承架（钢球直径为3.18mm，3个钢球的直径差应小于0.1μm）放置在标准平晶工作面上，并使其3个钢球位置与工作台支承点对齐，再把被检平晶工作面朝下放在支承架上（见图8）,使其x截面与仪器工作台运动方向平行。这时，在干涉仪目镜里可以观察到一组等倾干涉环。调整工作台的三个支承，并移动工作台，使平晶有效直径两端在视场内的干涉环中心通过平晶直径，且两端的干涉环级数变化不超过一环，保持该状态，并按表9的要求进行等温。标引序号说明：对于规格Ф150平晶，检验时以工作面中心为原点，在直径上的检测点为-70mm、-48mm、0mm、48mm、70mm（见图9），以-70mm点为检测起点；移动工作台，使检测点位于仪器光轴下方，选定视场中最内的干涉环为被测环，用仪器的测微目镜测量该干涉环的直径D0。然后参照仪器工作台的刻度，依次地使工作台移动到其他各检测点位置，测量先前选定那个干涉环的当前直径D1、D2、D3、D4。JB/T7401—XXXX按公式（11）计算所测得各干涉环的级数。2+Ni.........................................................................式中：Ki——各干涉环的级数；Ni——各干涉环级数的整数部分；Di——各干涉环的直径，单位为毫米(mm)；Dst——仪器的标准干涉环直径，单位为毫米（mm该直径由仪器制造商提供，或经实测视场内相邻两干涉环的直径（参见图10），按公式（12）计算得到。Dst=........................................................................式中：Dj、Dj+1——视场内相邻两干涉环的直径，单位为毫米(mm)；在确定公式（11）中的Ni取值时，令检测起点的干涉环为0级，即N0=0。在工作台移动过程中，应注视干涉环的变化；如果干涉环扩张，致使中心又产生一个新环时，则下一被测环向内移动一环，同时级数的整数Ni加1；如果干涉环收缩，致使一个干涉环在中心消失，则下一被测环向外移动一环，同时级数的整数Ni减1；按公式（13）计算工作面在x截面内各检测点的平面度偏差：Fx,0、Fx,1、Fx,2、……、Fx,i、……、Fx,n。...................................................式中：Fx,i——x截面内各检测点的平面度偏差，单位为微米(μm)；Li——各检测点到检测起点的距离，单位为毫米(mm)；Ln——检测终点到检测起点的距离，单位为毫米(mm)；JB/T7401—XXXXK0——检测起点干涉环的级数；Kn——检测终点干涉环的级数；Kn/2——检测中点干涉环的级数Ki——各干涉环的级数；λ——仪器照明光源的波长，单位为微米(μm)。在按上述程序检验后，需将被检平晶转动90。，重复以上程序，检验平晶y截面内各检测点的平面度偏差。在计算时，将公式（13）中各项带入y截面内的测得值，得到y截面内各检测点的平面度偏差Fy,0、Fy,1、Fy,2、……、Fy,i、……、Fy,n。由于按公式（13）计算得到的Fx,i和Fy,i两组数据中的公共点Fx,n/2=Fy,n/2=0，因此，可将两组数据统一成一组。在减去标准平晶各点的平面度偏差后，取其中的最大与最小值的代数差作为平晶有效直径d范围内的平面度检验结果。以剔除Fx,0,Fx,n,Fy,0,Fy,n后的最大与最小值的代数差作为平晶(2/3)d范围内的平面度检验结果。7.2.4.2圆平晶多面互检法试验程序互检前，应为每块平晶命名为A、B、C、D等。并在每一块平晶的圆柱面上，标出被测x和y截面标记（两截面应相互垂直）。并规定各截面检测点序号递增方向。互检时，上下两块平晶的截面标记应对齐，检测点序号递增方向应相同，并使被测截面方向与仪器工作台运动方向平行。参与互检的平晶之中，必须有一块平面度已知的1级平晶；该平晶此次检验结果与其已知平面度之差应不大于0.015μm，否则应重新检验。多面互检法可分为三面互检法和四面互检法。对Ф150圆平晶的三面互检法是将A、B、C平晶按A与B、A与C、B与C进行组合，按6.2.4.1所述程序，分别对x、y截面内每一对平晶工作面的各检测点的平面度偏差之和进行检验，按方程组（14）分别求解A、B、C平晶工作面在x、y截面内各检测点的平面度偏差。式中：Ai,Bi,Ci,Di——A,B,C,D平晶工作面在x或y截面内各检测点的平面度偏差，单位为微米(μm)；(ab)i,(ac)i,(bc)i——A与B，A与C，B与C平晶组合时，所测得两工作面在x或y截面内各检测点的平面度偏差之和，单位为微米(μm)；对Ф150圆平晶的四面互检法是将A、B、C、D平C与D进行组合，按7.2.4.1所述程序，分别对x、y截面内，每一对平晶工作面各检测点的平面度偏差之和进行检验，按方程组（15）分别求解A、B、C、D平晶工作面在x、y截面内各检测点的平面度偏差。JB/T7401—XXXX式中符号含义，同公式（14）。最后，按7.2.4.1对平晶工作面在x、y两截面内各检测点的平面度偏差进行统一处理，得到平面度检验结果。对Ф200圆平晶进行互检时，以工作面中心为原点，x和y截面的检测点为-94mm、-62mm、-31mm、0mm、31mm、62mm、94mm（见图11），试验程序和计算公式与Ф150圆平晶相同。对于双面平晶，两个工作面均应按以上程序进行检验。7.2.4.3长平晶多面互检法程序互检前，应为每块平晶命名为A、B、C、D等，并在检测起始点一方的端面上作标记。互检时，上下两块平晶的标记应在同一端。将一块长平晶工作面朝上放在工作台支承点上。在其工作面上安放长平晶专用支承架（也可用两块尺寸互差小于0.1μm的3.5mm量块代替，使用时，两量块需研合在长平晶工作面的两端将另一块长平晶工作面朝下安放在专用支承架上。调整专用支承架的3个支承点与工作台支承点对齐。利用测微目镜和接长管观察长平晶上的十字线，同时调整长平晶，使上、下长平晶十字刻线重合，并使首尾十字刻线交点连线与工作台运动方向平行，且通过光斑中心；然后取下接长管，恢复测微目镜至原位，检查干涉环变化，直到两端干涉环的变化小于一环为止。关闭仪器保温门，按表9要求进行等温。长平晶的检测点为其非工作面上的十字线交点在工作面上的投影点。检测各点干涉环直径的程序与圆平晶相同，按公式（16以平晶A、B组合为例）计算各检测点的两长平晶工作面平面度偏差之和。..................................................式中：(ab)i——A、B两块平晶工作面第i点的平面度偏差之和，单位为微米(μm)；其余符号说明同公式（13）。如果两块互检的长平晶规格和材料完全相同，且在检验时上下两组支承点对齐，则两块平晶工作面自重变形量的绝对值相等，符号相反，两块长平晶各检测点之间的空气层厚度与无自重变形状态下的空气层厚度相等，因此可以不考虑自重变形对检验结果的影响，将公式（15）计算结果直接作为各检测点在无自重条件下的两块平晶工作面平面度偏差之和。按方程组（14）或（15）求解各平晶工作面上各检测点的平面度偏差，取每一块平晶工作面上各检测点平面度偏差中的最大值与最小值之差，作为该块平晶工作面平面度的检验结果。7.3长平晶工作面宽度截面内的平面度JB/T7401—XXXX7.3.1测量器具规格Ф60的1级平晶。7.3.2试验程序将Ф60的1级平晶的工作面贴在被检长平晶工作面上，使之出现3~5条干涉条纹，并使干涉条纹方向平行于长平晶宽度方向（如图11所示）。按GB/T2831-2009的附录B的方法检验长平晶工作面宽度截面内的平面度。本程序应在长平晶工作区两端和中部三个位置上分别进行。7.4非工作面平面度圆平晶非工作面的平面度采用大于或等于被检平晶直径的1级平晶，按GB/T2831-2009的附录B的方法进行检验长平晶非工作面的平面度采用同规格的长平晶或规格Ф100的2级平晶，按GB/T2831-2009的附录B的方法进行检验。7.5两抛光面的夹角7.5.1测量器具所用测量器具如下：a)圆平晶，使用光学测角比较仪进行检验；b)长平晶，使用分度值为0.02mm的游标卡尺进行检验。7.5.2试验程序对于圆平晶，将被检平晶的非工作面朝下放在光学测角比较仪工作台上，调整光学测角比较仪的自准直光管，使被检平晶两抛光面的两个自准像出现在视场内。转动被检平晶，使两个自准像的标尺靠近，读取两个反射标尺的示值之差，即为被检平晶两平面的夹角。对于长平晶，用游标卡尺测量长平晶两抛光面上四个角的厚度差。7.6两抛光面的表面疵病按GB/T1185-2006的规定，对两抛光面的表面疵病进行检验。7.7两抛光面的表面粗糙度用接触式或非接触式轮廓仪，对两抛光面的表面粗糙度进行检验。7.8材料缺陷7.8.1材料的应力双折射按GB/T7962.5-2010的规定，对同批材料样品的应力双折射进行测试。7.8.2材料的条纹度按GB7962.7-1987的规定，对同批材料样品的条纹进度行测试。7.8.3材料的气泡度按GB/T7661-2009的规定，对平晶材料的气泡度进行测试。JB/T7401—XXXX7.9外观通过目测进行检验。7.10运输、贮存基本环境条件试验平晶的运输、贮存基本环境条件试验，按JB/T25480-2010第4章的规定进行。8检验规则8.1检验分类产品的检验分为出厂检验和型式检验。8.2出厂检验（即交货检验）8.2.1出厂检验的样品数根据GB/T2828.1中的一般检查水平Ⅰ、正常检验一次抽样方案，或根据供需双方协商确定。通常从正常检验开始，根据检验结果，随时执行GB/T2828.1规定的转移规则。8.2.2出厂检验不包括6.8.1、6.8.2和6.10。8.3型式检验8.3.1产品的型式检验为可选项目，但产品在下列情况之一时，必须进行型式检验：a)新产品或老产品转厂生产的试制定型鉴定；b)正式生产后，如结构、材料、工艺有较大改进，可能影响产品性能时；c)正常生产时，定期或积累一定产量后，应周期性进行一次检验；d)产品长期停产后，恢复生产时；e)出厂检验结果与上次型式检验有较大差异时；f)国家质量监督机构提出进行型式检验的要求时。8.3.2型式检验应对标准中的技术要求全部进行检验，检验样品从已检验合格的产品批中随机抽取。8.3.3型式检验的抽样采用GB/T2829中的一次抽样方案，各类不合格数以项目计，各类不合格项目类别、判断水平DL、不合格质量水平RQL和抽样方案见表11。AⅠBC8.3.4型式检验的受试样品在按GB/T