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文档简介
1皂膜流量计法标准漏孔校准规范本规范适用于漏率范围为1mL/min~10L/min,出口端为大气的标准漏孔(以下简称漏孔》的校准。进气端压力在1kPa~1.5MPa,2引用文件本规范引用了下列文件;JJG586—2006皂膜流量计GB/T3163—2007真空技术术语EN13192:2001无损检验泄漏试验气体基准泄漏的校准(NomDestruetiveTesting-LenkTesting—CalibrationofReferenceLeaksforGases)ASTME908—98(Reapproved2012)气体基准泄漏量校准标准规程(StandardPmeticeforCalibratingGaseo凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本规范;凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本规范。3术语和计量单位在压力或浓度差作用下,使气体从壁的一侧通到另一侧的孔洞、孔隙、渗透元件或一个封闭器壁上的其他结构。3.2标准漏referenceleak在规定条件下(入口压力、出口压力,温度为23℃±5℃),漏率是已知的一种校准用的漏孔。在规定条件下。一种特定气体通过漏孔的流量,计量单位为mL/min或L/min。3.4黏滞流viscousflow[GB气体分子平均自由程远小于导管最小截面尺寸时气体通过导管的流动,流动取决于气体的黏滞性。流动可以是层流或淄流。3.5皂膜流量计soapfilmflowmeter[JJG586—2006,定义3.1]测量微小气体流量的流量计。由一根带有刻度的皂膜管,通过计算皂膜经过皂膜管上下刻度的时间和皂膜管两刻度间的容积来计算流过流量计的瞬时流量。3.6电子皂膜流量计electronicsoapfilmflowmeter[JJG586—2006,定义3.1]在皂膜管上安装一对电子传感器,并能够由显示仪表直接显示出瞬间流量的皂膜流量计。6校准记录格式实测漏率值()123456环境温度:校准地点:校准结果;实测漏率值:气源压力值:气源:标称漏率:大气压力:本次测量相对扩展不确定度;Um=环境湿度:8n,(k)=√a;(k₁)+u;(kr)+a;(kp)+a;(kg)+a;(kp)(C.5)C.2.2.1m,(k₁)皂膜流量计引入的相对标准不确定度依据电子皂膜流量计校准证书直接引入,此处按6.2.1.2引入,则此C.2.2.2m,(kr)温度波动引入的相对标准不确定度C.2.2.3m,(kpn)前级气源压力波动引入式进行计算[详情请参阅达道安主编的《真空设计手册》(第三版)],计算复杂,故在此通过实验数据进行简化,在满足第6.2.1.3规定条件下,由此项引入的相对标准不确标准不确定度。在同一量程下,压力值越小,引入的相对标准不确定度越大,以0.05级量程(0~16)kPa的数字压力计测量1kPa气源
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