(高清版)GBT 35307-2023 流化床法颗粒硅

2023-08-06发布国家市场监督管理总局国家标准化管理委员会I本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。本文件代替GB/T35307—2017《流化床法颗粒硅》,与GB/T35307—2017相比，除结构调整和编辑性改动外，主要技术变化如下：a)更改了范围(见第1章，2017年版的第1章);b)更改了颗粒硅的牌号表示方法(见第4章，2017年版的4.1);c)更改了颗粒硅的技术指标要求(见5.1,2017年版的4.2);d)更改了特级品颗粒硅的粒径要求(见5.2.1,2017年版的4.3.1);e)更改了颗粒硅的表面质量要求(见5.3,2017年版的4.4);f)更改了颗粒硅碳含量的测试方法(见6.3,2017年版的5.3);g)更改了颗粒硅氢含量的测试方法(见6.4,2017年版的5.4);h)更改了颗粒硅粒径的测试方法(见6.6,2017年版的5.6);i)更改了取样方法(见7.4.1,2017年版的6.4.1)。请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口。本文件起草单位：江苏中能硅业科技发展有限公司、陕西有色天宏瑞科硅材料有限责任公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司、上海赛夫特半导体材料有限公司、亚洲硅业(青海)股份有限公司、乐山协鑫新能源科技有限公司、宜昌南玻硅材料有限公司。本文件于2017年首次发布，本次为第一次修订。11范围行文件及订货单内容。本文件适用于以氯硅烷、硅烷气为原料，采用流化床法生产的颗粒状多晶硅(以下简称颗粒硅)。2规范性引用文件下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。GB/T14264半导体材料术语GB/T14844半导体材料牌号表示方法GB/T21649.2粒度分析图像分析法第2部分：动态图像分析法GB/T24581硅单晶中Ⅲ、V族杂质含量的测定低温傅立叶变换红外光谱法GB/T31854光伏电池用硅材料中金属杂质含量的电感耦合等离子体质谱测量方法GB/T35306硅单晶中碳、氧含量的测定低温傅立叶变换红外光谱法GB/T35309用区熔法和光谱分析法评价颗粒状多晶硅的规程GB/T40566流化床法颗粒硅氢含量的测定脉冲加热惰性气体熔融红外吸收法3术语和定义GB/T14264界定的术语和定义适用于本文件。4牌号颗粒硅的牌号表示应符合GB/T14844的规定。5技术要求5.1技术指标颗粒硅的等级及相关的技术指标应符合表1的规定。2表1技术指标技术指标特级品施主杂质含量(P、As、Sb,以原子数计)≤1.5×10l³≤3.5×10¹≤5.0×10³≤7.0×10¹³受主杂质含量(B、Al,以原子数计)≤9.0×1012≤1.2×10¹³≤2.5×10l:≤6.6×103碳含量(以原子数计)≤1.5×1016≤2.5×10¹t≤4.0×10¹t≤5.0×10lt氢含量总金属杂质含量(Fe、Cr、Ni、Cu、Na、K、Zn、Ti、Mo、W、Co)ng/g5.2粒径5.2.1特级品颗粒硅中粒径小于300μm的颗粒硅重量占比应小于0.5%,粒径大于4000μm的颗粒硅重量占比应小于5%。5.2.21级品、2级品、3级品颗粒硅的粒径分布应符合下列要求：a)小于150μm的颗粒硅重量占比应小于5%;b)150μm～4000μm的颗粒硅重量占比应大于90%;c)大于4000μm的颗粒硅重量占比应小于5%。5.3表面质量颗粒硅的外观应无色斑、变色，无肉眼可见的污染物和氧化的外表面。6试验方法6.1颗粒硅进行施主杂质含量、受主杂质含量、碳含量测试前应按照GB/T35309的方法制成单晶6.2颗粒硅施主杂质含量、受主杂质含量的测试按GB/T24581的规定进行。6.3颗粒硅碳含量的测试按GB/T35306的规定进行。6.4颗粒硅氢含量的测试按GB/T40566的规定进行。6.5颗粒硅总金属杂质含量的测试按GB/T31854的规定进行。6.6颗粒硅粒径的测试按GB/T21649.2的规定进行。6.7颗粒硅的表面质量用目视检查。6.8颗粒硅中施主杂质含量、受主杂质含量、碳含量、氢含量、总金属杂质含量的测试方法，也可由供需双方协商确定，并在订货单中注明。37检验规则7.1检查和验收7.1.1产品由供方或第三方进行检验，保证产品质量符合本文件规定或订货单的要求。7.1.2需方可对收到的产品进行检验。若检验结果与本文件规定或订货单的要求不符时，应在收到产品之日起3个月内向供方提出，由供需双方协商确定。产品应成批提交验收，每批应由同一等级，以相同工艺条件生产并可追溯的颗粒硅或同一流化床生产的颗粒硅组成。7.3检验项目每批产品应对施主杂质含量、受主杂质含量、碳含量、氢含量、总金属杂质含量、粒径和表面质量进行检验。7.4取样7.4.1随机选取数量不少于1%的同批次颗粒硅产品包装件，于洁净区内分装两份，根据检验需求确定7.4.2仲裁抽样方案由供需双方协商确定。7.5检验结果的判定7.5.1施主杂质含量、受主杂质含量、碳含量、氢含量、总金属杂质含量的检验结果中有任意一项不合格时，则重新取样对不合格的项目进行重复检验，重复检验结果仍不合格，判该批产品不合格。7.5.2粒径、表面质量的检验结果不合格时，由供需双方协商确定。8.1标志a)供方名称；产品应装入洁净的树脂包装袋或由供需双方协商确定的包装袋内，密封，然后再将包装袋装入包装箱或包装桶内。包装时应防止包装袋破损，以避免外来沾污。产品在运输过程中应轻装轻卸，勿压勿挤，并采取防震措施。8.4贮存产品应贮存在清洁、干燥的环境中。4a