硅片过程检验培训

硅片过程检验培训

目录：

1.引言2.电池片过程检验标准

3.过程检验作业指导书硅片检验主要分为三类：1.硅片来料检验2.电池片生产过程检验3.电池片出货检验引言硅片来料检验设备：引言硅片来料检验设备：引言硅片来料检验目的：

保证进货的原材料满足规定的要求，防止不合格品流入生产流程造成不必要的损失。(确保合格的产品提供给生产部门)引言硅片来料检验主要工程：1.电学局部：厚度/电阻率测试

少子寿命测试引言2.光学局部：几何尺寸垂直性硅片破裂〔包括崩边、裂痕、V型缺口〕外表脏污空洞和隐裂引言相关硅片实例：引言电池片生产过程检验目的：

防止过程中出现批次性问题，防止不合格品流入下道工序。保证电池片生产工艺过程、操作过程均满足标准要求，保证生产的稳定性及标准性，保证产品效率及成品率。引言电池片生产主要过程介绍：

引言电池片生产过程检验主要相关设备：引言主要分为以下几个控制点：1.前期准备工作检查2.制绒清洗后；3.扩散后；4.等离子刻蚀后；5.去磷硅玻璃清洗后；6.PECVD后；7.丝网烧结后；8.电池片性能测试分档后。电池片过程检验标准前期准备工作检查：设备开机检查，填写?巡检记录单?；工艺参数监控：设备各参数到达工艺要求后进行生产。电池片过程检验标准各工序关键工艺参数：制绒清洗：NaOH、Na2O3、HF、HCL溶液浓度，溶液温度等。扩散：扩散温度，气体流量等。等离子刻蚀：射频功率，气体流量等。电池片过程检验标准去磷硅玻璃：HF溶液浓度等。PECVD：气体流量，微波源功率，沉积压力，工艺温度等。丝网烧结：印刷压力，印刷速度，印刷网板间距，印刷方式，烧结各加热区温度等。电池片过程检验标准制绒清洗后：制绒后硅片外观：硅片外表制绒均匀，无点状亮点硅片称重：清洗前后重量差在0.6～0.7g电池片过程检验标准扩散后：方块电阻：测量范围在40±5Ω/□方阻均匀性：均匀性误差不大于±5%电池片过程检验标准等离子刻蚀后：边缘电阻测量：测量范围在30±10kΩ刻蚀痕迹〔目测〕电池片过程检验标准去磷硅玻璃清洗后：电池片外观：扩散面无明显发暗扩散面疏水性〔目测〕电池片过程检验标准PECVD后：工艺后外观检测：硅片镀膜面呈均匀蓝色〔目测〕氮化硅膜的厚度、反射率、折射率片内均匀性、片间均匀性、批间均匀性：不大于±5%电池片过程检验标准丝网烧结后：印刷重量：正银为0.10g±0.02g；背银为0.12g±0.02g；背铝为0.8g±0.2g；电池片外观：满足?成品电池片外观分选标准?要求。电池片过程检验标准电池片性能测试分档后：标准片校准碎片记录电池片过程检验标准一、目的：防止制程中出现批次性问题，防止不合格品流入下道工序。二、范围：适用于产品生产过程有关的工序。过程检验作业指导书三、职责：品控员负责对生产过程的监控，对生产工序的巡查，将遇到的问题反响给PQC工程师。PQC工程师负责品控员监督、巡检统计表的汇总报告，以及协调生产部，工艺部和设备部解决相关问题。过程检验作业指导书四、工作内容:品控员在每班开始生产前完成对各种测试设备的校准工作，并填写?测试设备校准记录单?。品控员每隔一小时检查各工序使用?作业指导书?是否正确，操作员是否按照要求进行操作，并填写?巡检记录单?。如发现问题需立即告知带班班长及PQC工程师，不允许擅自处理。过程检验作业指导书品控员每隔一小时检查产品流转情况，并填写?巡检记录单?。如发现问题需立即告知带班班长及PQC工程师，不允许擅自处理。品控员每隔一小时检查各工序使用的设备和工装是否符合?作业指导书?和?设备操作规程?，并填写?巡检记录单?。如发现问题需立即告知带班班长及PQC工程师，不允许擅自处理。过程检验作业指导书过程检验作业指导书过程检验作业指导书过程检验作业指导书品控员每隔一小时需对各生产工序的成品监控点进行抽检，并填写相关?巡检记录单?。过程检验作业指导书生产各工序员工负责对制绒、扩散、刻蚀、