ESD静电管理手册

XXXXX有限公司文件编号ESD管理手册版本/版序A01页次10/28编写日期生效日期XXXXXX有限公司管理手册文件名称：《文件名称：《ESD管理手册》版本版序：A01体系标准化：发放日期：X文件编号：XXX-QM-ESD-01编写：XXXX批准：生效日期：X页码修订内容日期修订人批准变更内容目录0.1手册的管理30.2管理者代表任命书40.3发布实施令5目的62 适用范围63 定义64 职责...84.1 ESD组织架构图84.2 ESD人员职责85 工作人员安全106 静电放电控制程序106.1 静电放电控制程序要求116.2 静电控制程序经理或协调员106.3 修正107 静电放电控制程序管理要求117.1 静电放电控制方案117.2 培训方案117.3 产品认可方案127.4 符合性验证方案138 静电放电控制程序技术要求148.1 接地/等电位接地系统148.2 人员接地158.3 静电放电保护区158.4 包装268.5 标记269 持续改进2610 相关文件2711 参考出版物2712 附件28手册的管理手册的管理本手册由质量管理部负责组织编写，经管理者代表批准后正式发布实施。手册的管理由质量管理部归口，包括统一编号、登记、分发、回收及销毁等。电子版本手册的管理按照相关文件规定执行。本手册按使用目的和持有对象分为“受控版本”和“非受控版本”。公司内只允许使用“受控版本”。当顾客或其他相关方需要时，提供“非受控版本”手册。手册的更改、修订、回收及作废只对“受控版本”执行。手册更改应办理更改申请，经总经理批准后由质量管理部执行更改。修改通过整份更新进行，更换所有的“受控版本”并做好修改状态标识及记录。对发出的“非受控版本”的手册不做修改，需要时可重新提供修改后的“非受控版本”手册。手册的持有者应妥善保管，不得损坏、外借或涂改。相关人员若离职或调离相应岗位，应收回该人员所持有的受控手册。本手册的各项规定通过公司内部管理体系审核、管理评审和自我评价等来验证其适宜性、充分性、有效性。管理者代表任命书ESD管理者代表任命书兹任命XXX同志为XXXXXX有限公司ANSI/ESD-S20.20-2014静电防护管理体系的管理者代表，其职责为：1.确保公司ESD管理体系的建立、实施、保持和持续改进；2.向总经理和经营层汇报静电防护体系运行情况和任何改进的需求；3.确保整个公司的静电防护活动满足有关法律法规和顾客要求；4.代表公司处理与ESD管理有关的外部事务，并按外部要求提供适宜的证据与外界沟通；5.处理公司内部ESD管理等问题，向总经理报告公司改进措施的实施、检查、评价和考核。总经理：XXX日期：XXX年XX月XX日发布实施令XXXX有限公司《ESD管理手册》（第1.0版）具体规定了公司ESD管理体系及其实施的总体要求和基本准则，是公司开展ESD管理工作的纲领性文件，符合ANSI/ESDS20.20-2014《美国国家标准学会/静电放电协会标准》标准的要求及本公司ESD管理工作的实际情况。现批准发布本《ESD管理手册》（简称手册）。本手册的规定无条件地适用于公司所属各部门，为满足相关方的需求提供了保证。要求公司全体员工必须认真遵循，严格贯彻执行，并采取必要的改进措施，确保公司ESD防护的实现。本公司其他文件要与之保持相容，不能相抵触。本手册可作为对外提供ESD防护保证声明和第三方审核使用。 管理者代表：XXXXXX年XX月XX日目的：公司按照ANSI/ESDS20.20标准实施静电防护管理，其目的在于：减少静电对产品的损害，提高产品品质，提高客户满意度。明确静电防护措施和实施要求，为公司各部门和生产环节的防静电建立统一规则。建立规范要求供应商和其他协作/服务公司提供满足期望的产品或服务。通过二方、三方稽核，获得客户/机构认可，持续改进提高静电防护水平。适用范围：本ESD管理手册适用于公司所有静电放电敏感元器件的生产过程。本ESD管理手册适用于静电放电敏感度大于等于人体模型(HBM)100伏和带电器件模型(CDM)200伏以及孤立导体35伏的电气或电子零件、装置和设备等的制造、维修、组装、安装、包装、标签，服务、测试、检验或其它处理活动。若今后处理的静电放电敏感元器件的敏感电压值低于三种模型中任何一种，应立即重新评估控制，修正控制措施和要求限值，变更本ESD管理手册后继续实施。定义：本ESD管理手册中使用的名词参考ANSI/ESDADV1.0-2014，为了使用人员更加容易理解和实施，结合公司惯用语，对手册中常用的名词作出解释。静电：物体所带过剩或不足的相对静止不动的电荷。静电场：一个因存在电荷而有引力或斥力的空间。抗静电的：通常指一种材料抑制摩擦充电的特性。静电放电（ESD）：静电荷在高静电场的作用下快速自发的转移，也指防静电。静电放电敏感性：静电放电导致器件失效。静电感应：当带静电的物体靠近某一介质时，在该介质表面因感应而带电荷，形成感应电场。静电敏感器件：对静电放电敏感的器件（易被静电击穿的器件）。中和：利用异性电荷使静电消失泄放：将静电荷安全泄放到大地。抗静电剂：一种用于涂抹绝缘材料(例如普通塑料）表面的化学制剂，能在一段时间内降低绝缘材表面产生和积累静电电荷的能力。导电清洁剂：用来清洁ESD消散工作表面的一种温和的清洁溶液，可去除会不利影响桌面消散特性的尘垢、油污、助焊剂和其它污染物质。导电清洁剂不会改善非导体的静电消散特性。导电材料（电阻）：表面电阻或体积电阻小于1104Ω的材料，即指导静电材料。消散材料：表面电阻或体积电阻大于等于1104Ω且小于11011Ω的材料，即指消散性静电材料。静电屏蔽材料：表面电阻或体积电阻小于1109Ω的材料。绝缘材料：表面电阻或体积电阻大于等于11011Ω的材料。摩擦充电：当两种材料接触、摩擦、分离，静电电荷的产生。带电器件模型（CDM）：ESD应力模型近似带电元件通过一个信号的引脚或端子快速放电到另一个低电位的对象而所发生的放电事件。机器模型（MM）：ESD应力模型近似放电器件的引脚是在生产线发现的能够接触的设备与工具，它假定有一个引脚与设备工具接触存在静电荷而另一端的引脚是要接地的。孤立导体：一个没有接地或等电位连接的且与敏感器件接触的导体。产品认证：一般在初始选择产品时管理，可以使用产品规范检查、独立实验室评估或内部实验室评估的一种方法。符合性验证：测试表明性能没有超过初始选择的限值，即指监测、稽查、点检。静电放电防护区（EPA）：定义的一个区域，为控制静电级别配备必要的防护材料、工具和设备来最大限度地减少损害ESD敏感器件。即指静电保护区，防静电区域。非防护区(UPA)：EPA的外面的区域。即指非EPA，非防静电区，非静电保护区。点对点电阻：表面两电极之间的电阻。点对地电阻：表面一个电极和地之间的电阻。袖对袖电阻：一件展开的工作服两个袖口之间的电阻。表面电阻：使用规定结构的两个电极接触一个材料的表面，直流电压与电流的比值。体积电阻：使用规定结构的两个电极分别接触一个材料的两对面，直流电压与电流的比值。接地电阻：指接地体与大地之间的接触电阻。接地：电气连接到能提供或接受大量电荷物体上（如大地、般舰或动载工具外壳）可接地点：指定或假设防静电物品或设备上适当的接地位置。硬接地，防静电地桩接地。直接与大地电极作导电性连接的一种接地方式（R＜1Ω）参考国标《电气装置安装工程施工及验收规范》GB50169，《建筑物防雷设计规范》GB5057规定，接地电阻<1Ω软接地：通过一足以限制流过人体的电流达到安全值的电阻连接到大地电极的一种接地方式（0.8MΩ＜R＜1.2MΩ）交流设备接地：交流设备电源线中地线的接地。辅助接地：单独使用交流设备接地以外的接地，包括专设的弱电接地，静电接地。接地故障断路器（GFCI）：一种为保护人员在确定时间内起到断电或部分断电的装置。当火线与中线之间的电流差超过某个预先确定的值时，该装置动作。预先确定的值小于电源电路操作该过流保护装置所要求的差值。人体模型，简称HBM（HumanBodyModel），是根据带电的操作者与器件的外引脚接触，通过器件对地放电，致使器件失效而建立的模型。职责：ESD组织架构图：ESD人员职责：管理者代表：负责整个公司ESD的推进及运行的管理工作。负责提供ESD推行所需的资源（包括人力、物力、财力等）。负责ESD推行计划或方案的批准以及指导与督促各部门落实执行。负责ESD体系手册及程序文件的批准。负责主持ESD管理评审会议。负责ESD重大事故处理的决策。体系专员负责ESD体系文件的建立与维护。负责组织ESD内审及协助管理者代表组织管理评审。负责编制ESD推行计划或方案。负责各部门ESD实施的监督检查工作。负责各部门ESD的协调工作。ESD专员：协助管理责任者代表推动整个体系有效的运行及监控。建立EPA区域，并制订相关的管理规范。推动各部门完善各类静电防护操作指导书。监督及跟踪各部门静电防护措施的实施。ESD异常问题分析和改善指导。负责制订ESD的操作指导书。负责ESD相关标准的监测。ESD推行委员：参与对ESD推行计划或方案的评估。负责制定各部门运作的标准及规范，推动本部门ESD系统有效的运行。负责统筹对本部门ESD异常或事故的分析、处理与改善。负责定期检查本部门ESD工作的执行效果，发现ESD问题需及时处理。指定本部门各区域ESD的负责人。统筹对本部门所有人员（特别是EPA区域）进行ESD的培训，确保了解ESD的各项作业要求与标准。负责部门内ESD标准及规范的执行。负责本部门ESD事务的具体实施。生产部负责本部门区域ESD防护措施的执行。负责生产过程中产品的ESD防护。负责ESD生产材料的请购。不合格相关物料隔离处理。工程部负责生产过程中产品的ESD防护。负责ESD相关设备设施的请购。质量部负责本部门区域ESD防护措施的执行。负责检验过程中产品的ESD防护。负责制订ESD相关产品的检验指导书。防静电物品来料ESD性能抽检等。采购部：防静电物品生产厂商认证，防静电物品材料引入。建立防静电物品编码库，方便使用部门查找请购。负责防静电设备、材料的采购，样品可靠性测试报告提交，送样测试。管理部：ESD培训的策划与实施。组织新员工入职ESD基础知识培训。组织在职员工年度ESD知识普及培训。各项培训记录保存归档。研发部：负责公司防静电包装、周转材料的设计。静电敏感器件敏感度试验评价。梳理静电敏感器件清单，并定期更新。其他涉及人员均严格遵守ESD防护措施执行，包括但不限于供应商、客户、维修人员等。工作人员安全在本手册或公司其它文件中描述的工作流程或许会导致操作人员暴露于有害的电气环境。公司工作人员负责选择遵守相关法律法规和内外部政策的设备，被认可的ESD设备在制造环境中使用应是安全的。公司工作人员要注意到该文件不能替换或代替任何其它关于操作人员安全的要求。操作设备时只要操作人员可能与电源接触的地方，应该采用接地故障断路器（GFCI）和其它安全保护措施。减少电气伤害的操作应进行实践演练，并且应遵循设备说明适当地接地。公司操作人员及稽查人员负责：立即将观察到的安全危害报告到主管或区域维护工程师。遵守作业指导书中描述的适于特定工作区域的额外安全要求。使用到电阻测试方法不得用于确定人员暴露在高压交直流环境的安全性。静电放电控制程序：静电放电控制程序要求公司依照ANSI/ESDS20.20-2014标准要求建立ESD体系，包括了管理要求和技术要求，并依照实施，维护和验证遵守情况。公司使用的微电子线路，分立半导体，触摸IC，感应IC等等都是静电敏感件，敏感特性由供应商根据IQC/SQE要求提供（需提供HBM、CDM、MM(Isolatedconductor)三类模型的敏感电压值），IQC/SQE负责根据公司生产的产品动态更新《ESD敏感元器件清单》，当发现敏感度小于适用范围（人体模型(HBM)100伏和带电器件模型(CDM)200伏以及孤立导体35伏）电压时，应立即通知ESD小组负责人，由ESD小组组织评估采取额外的控制要素及调整要求限值。敏感器件的敏感参数详见附件四《ESD敏感元器件清单》。静电控制程序经理或协调员公司任命生产片区副总经理为ESD管理者代表，依据ESD标准要求来验证程序的符合性。详见0.2.《ESD管理者代表任命书》。修正当标准或部分条款不适用于所有应用时，可以通过评估每个要求对特别应用的适用性来完成修正。当完成评估需要删除或修改标准的限值时，修正决定、基本原理和技术理由都应形成文件化信息。目前公司尚无修正条款。本公司认可产品的检测湿度为50±5%RH,因本公司所有EPA区域适用温度均控制在30%-70%RH，故不采用12%±3%RH湿度环境进行检测。静电放电控制程序管理要求静电放电控制方案公司制订一个静电放电控制方案（本手册）规范程序的所有要求，包括：培训、产品认可、符合性验证、接地/等电位接地系统、人员接地、静电放电保护区要求、包装系统、标记等。静电放电控制方案是实施和验证程序实施的主要文档，目标是充分实施并与内部质量体系要求整合，静电放电控制计划应适用于组织工作的各个方便。培训方案有可能进入静电敏感区域的人员或有可能接触静电敏感器件的人员都应接受防静电知识培训，这既是对每位员工的基本要求，也是减少静电危害的根本方法和途径之一。ESD培训工作依据公司《人力资源控制程序》执行。培训内容基础知识：讲解静电危害和公司静电防护要求。防护用品：讲解人体防护用品防静电服、帽、鞋、脚筋带、手腕带、手套、指套的正确使用。操作规范：讲解EPA内防护设施设备及工具的使用和注意事项，EPA内行为规范，处理ESD敏感件的操作规范。检验要求和方法：讲解静电防护用品的检测要求，检验方法，仪器使用要求等。培训计划初级培训：新员工在入职时必须接受人力资源部统一组织的培训，培训内容包括ESD基础知识、防护用品、操作规范的培训，培训后进行考试，合格者（笔试90分以上或口试合格者）方允许到EPA区域上岗。中级培训：所有接触敏感件的在职人员每两年必须接受至少1次各部门组织的ESD培训，培训内容包括基础知识、防护用品、操作规范以及ESD新技术，新规范等的介绍，培训后进行ESD考试，合格者（笔试90分以上或口试合格者）方允许继续到EPA区域上岗。所有培训和考核记录、评价记录依照《记录控制程序》归档保存，记录保存在ESD管理部，保存期限2年。产品认可方案EPA区域内所有ESD用品，用表面电压测试仪进行抽测确认，电压标准要求为静电放电敏感度大于等于人体模型的100伏和带电模型200伏以及孤立35伏。供应商提供产品承认时需明确产品ESD控制要求及包装要求。产品认可方案的建立是为了确保公司选定的防静电产品满足方案要求，测试方法和要求限值详见下表1。产品认可一般在初始选择防静电产品时管理，可以使用产品规范复查、独立实验室评估或内部实验室评估任一方法，组织在采用本标准之前已使用的防静电产品，符合性验证记录可以作为产品认可的证据。产品认可方法由供应商提供资质认可的第三方测试报告，测试报告需符合产品认可测试要求，经IQC进料检验合格后保存测试报告及相关检验记录并由仓管人员接收产品。由供应商提供自测报告，IQC负责按产品认可测试要求进行来料抽样检验，合格则接收产品，IQC保存供应商自测报告和来料检验记录。供应商不能提供符合要求的测试报告，应按公司要求提供适量样品由ESD测试人员按温湿度环境控制的湿度环境（50%RH），按产品认可测试要求对样品进行测试并保存测试记录及来料检验记录，合格则接收产品。本手册实施前已安装或使用的防静电物品按符合性验证方法进行产品认可复评，合格则接收产品，不合格者不得继续使用，按《不合格品控制程序》处理。产品认可测试要求表1产品认可测试方法和要求限值项目测试方法要求限值时间检验数量检测记录表防静电服/帽ANSI/ESDSTM2.1Rs-s<1x109ΩRp-p<1x109Ω送样时3~5PCS实验室样品ESD认证报告防静电鞋ANSI/ESDSTM9.1Rp-g<1.0x109Ω送样时3~5PCS实验室样品ESD认证报告脚筋带ESDSP9.2Rp-g<1x109Ω送样时3~5PCS实验室样品ESD认证报告防静电手套/手指套ANSI-ESDSP15.1Rp-p<1x109Ω送样时3~5PCS实验室样品ESD认证报告防静电地面ANSI/ESDSTM7.1Rp-p<1x109ΩRp-g<1x109Ω送样时3~5PCS实验室样品ESD认证报告防静电工作台防静电货架包括直接接触产品的表面ANSI/ESDS4.1&STMS4.2Rp-p<1x109ΩRp-g<1x109ΩU<200V送样时3~5PCS实验室样品ESD认证报告防静电工作椅ANSI/ESDSTM12.1Rp-g<1x109Ω送样时3~5PCS实验室样品ESD认证报告手腕带接地连接件（非监测）ANSI/ESDS6.1R<2Ω送样时3~5PCS实验室样品ESD认证报告监测报警器产品说明书是否正常送样时3~5PCS实验室样品ESD认证报告烙铁ANSI/ESDS13.1Rt-g<2Ω尖端电压<20mV尖端泄漏电流<10mA送样时3~5PCS实验室样品ESD认证报告离子风扇ANSI/ESDSTM3.1-35V<Voffset<35V衰减时间<6S送样时3~5PCS实验室样品ESD认证报告静电毛刷等工具ESD测试SOPRp-p<1x109Ω送样时3~5PCS实验室样品ESD认证报告包装材料周转用品移动设备(推车)ESDS541Rp-p<1x109ΩRp-g<1x109Ω送样时3~5PCS实验室样品ESD认证报告防静电手腕带ANSI/ESDS1.1R内<1x105ΩR外>1x107Ω0.8×106Ω<R腕带线<1.2×106Ω送样时3~5PCS实验室样品ESD认证报告备注：1.防静电器材由供应商提供符合ANSI/ESDS20.20-2014标准要求的符合性报告或产品规格书，首次来料时由IQC或ESD负责人进行检测确认；2.本公司认可产品的检测湿度为55±5%RH,因本公司所有EPA区域适用温度均控制在30%-60%RH，故不采用12%±3%RH环境进行检测。符合性验证方案公司建立符合性验证方案以确保静电放电控制程序技术要求的执行，符合性验证方案中测量应确定技术要求，测量限值和检验频次，符合性验证方案应规定测试方法和要求限定值详见表2。符合性验证方法符合性验证按符合性验证测试要求定期进行测试并记录，由测试人员所在部门保存测试记录。测试仪器根据ESDTR53-01-15测试设备结合产品认可测试相关标准要求采购，并应按《监视和测量仪器设备管理程序》校准检定，以保证测试数据的准确性。符合性验证不符合者按《不合格品控制程序》处理。所有测试记录依据《记录控制程序》归档保存。符合性验证测试要求表2符合性验证测试方法和要求限值项目测试方法要求限定频率检验比例检测人员记录表防静电鞋ESDTR53鞋章节Rp-g<3.5x107Ω每日100%每个人综合测试仪点检防静电手腕带ESDTR53腕带章节Rp-g<3.5×107Ω每日100%每个人综合测试仪点检监视报警器产品说明书是否正常3个月100%ESD专员点检记录表手腕带接地连接件（非监测）ESDTR53接地系统章节R<2Ω1个月100%ESD专员点检记录表烙铁ESDTR53焊接烙铁章节Rt-g<10Ω1个月100%ESD专员点检记录表包装材料ESDTR53包装章节Rp-g<1x109Ω3个月5%ESD专员点检记录表静电毛刷等工具ESD测试作业指导书Rp-g<1x109Ω6个月5%ESD专员点检记录表离子风风扇ESDTR53离子化设备章节-35V<Voffset<35V衰减时间<6S1个月100%ESD专员点检记录表防静电服/帽ESDTR53服装章节Rp-p<1x109Ω6个月5%ESD专员点检记录表防静电地面ESDTR53地面章节Rp-g<1x109Ω3个月100%ESD专员点检记录表防静电工作台防静电货架防静电台垫ESDTR53工作表面章节Rp-g<1x106Ω~1x109Ω3个月100%ESD专员点检记录表移动设备(推车、货架)ESDTR53移动设备章节Rp-g<1x109Ω1个月100%ESD专员点检记录表防静电工作椅ESDTR53座椅章节Rp-g<1x109Ω3个月100%ESD专员点检记录表静电放电控制程序技术要求：主要规定了静电放电控制程序发展中的关键技术要求。要求限定基于表格列出的测试方法或标准，符合性验证方案应规定检验这些限定的方法。接地/等电位接地系统公司采用接地/等电位接地系统确保静电放电敏感件、人员和所有其它接触静电放电敏感件的导体（如移动设备）都处于同电位。接地方法公司采用设备接地导体方式将所有导体连接到静电接地。接地系统采用并连接地方式将设备接地和静电接地在近地端等电位联结。静电接地采用树状连接结构，避免串联，杜绝在远地端与设备接地短接。接地系统测试要求项目测试方法要求限定频率检验比例检测人员记录表地桩用接地电阻测试仪EPC极测试<1Ω半年100%ESD组员点检记录表接地主干线连接接地主干线与公共接地点之间的阻值<1Ω新安装3月100%ESD组员点检记录表设备接地电阻连接设备与公共接地点之间的阻值<25Ω新安装1月100%ESD组员点检记录表人员接地所有处理静电放电敏感件的人员都要联结或电气连接到接地/等电位接地系统，人员接地的方法见下。人员接地方法所有操作的员工采用防静电手腕带通过接地线、手腕带接地连接件或手腕带监视报警器接地。静电放电保护区EPA区域划分所有处理没有防静电保护覆盖或包装的ESDS器件的区域均应设置为EPA。处理包含所有静电放电敏感元器件的生产过程。区域划分详见附件二EPA区域划分及责任人。EPA必须具有如下的基本环境要求：明确的区域界限和防静电警示标志。对区域内的所有导体包括人员可靠接地。消除一切不必要的静电产生源。静电敏感器件必须远离静电源至少30厘米（12英寸）处。根据产品器件的静电敏感度等级，将本公司EPA静电敏感度等级防范要求定义为小于100V（HBM模式）。防护要求为：静电敏感度等级防范要求为100V，应尽量避免产生100V以上的静电电荷源，如不能避免，应通过有效方式消除。采用防静电标识与其它区域分隔开，未采取有效防静电措施的人员、设备、物料、工具等皆不得入内。进入本区域应作好人员防静电要求，包括防静电工衣、工帽、工鞋（鞋套）、腕带或手套并经过人体综合电阻/对应静电测试，测试合格后才能进入。EPA标识防静电工作区、防静电包装材料和转运工具、设备仪器的接地等都应该具有防静电标识。防静电标识的作用是警示任何靠近防静电工作区的人员，区域内存在静电敏感器件的操作；警示任何接触静电敏感器件的人员，对该器件的操作必须进行静电防护。任何防静电工作区都必须有区域标识，除非此工作区位于静电安全工作区内。标识上应注意说明，如“注意：静电安全工作区”或其同意语。“放电”，“注意”，“危险”等标示对静电控制是不合适的。EPA标识所在的位置及大小应该至少保证在距离工作区1米时清晰可见。EPA车间入口悬挂、张贴或放置警告标识牌，位置及大小应该保证在距离5米时清晰可见。车间内EPA使用地胶标识，标识中字的正方向前方为EPA，反方向为UPA，边界应连续，与墙体、栏杆、设备阻隔等组合为封闭区域，任何人员可出入的位置都能识别出EPA内或外。所有EPA区域的静电扣都按图一标识进行张粘，并编号按每月点检一次。静电敏感物料都必须具有明显的防静电标识（如图二）。半成品或成品根据生产流程需要送出EPA区域时，应按要求包装，并在最外层包装材料上使用图二标识。防静电器材（元件架和运输车等）、工具和防静电容器（防静电周转箱，防静电元件盒等）应有防静电标志，其标志应置于明显且不易受到磨损的地方（如图二）。生产设备防静电标识（如图三）防静电接地系统应有明显的接地标识说明。经过防静电液处理的物品和场所也应有防静电标志（如图四）。EPA区域所有检验台面进行标识，提醒作业人员进行ESD防护（如图五）。EPA区域标示EPA区域标示公共接地口标示防静电工程环境的要求：公共接地口标示环境的温度和湿度要求温度应15℃至30℃之间，湿度应在30%--70%（区域管控环境只能加严不可超出），环境内应配备温度计和湿度计，并按要求做好点检记录。如果环境内的空气过于干燥，应使用加湿器或其它办法来满足湿度要求，但应以不对产品造成有害影响为前提。如果湿度高了应该开空调或抽湿机来使其满足要求。温度计和湿度计使用要求：所有需要防范的环境内应配备温湿度计，温度计应定期进行校准。每日开工前必须由专人如实查看并记录，发现不符合要求时，应报告相关责任人立即处理，使其满足温度和湿度要求。每月的温度和湿度仪记录应归类保存，保存期按《记录控制程序》执行。地面的技术要求地板的防静电要求：为有效地使人体静电能通过地板尽快泄漏到大地，除操作人员穿用防静电服、防静电鞋外，其先决条件是地板必须具有一定的导电性能，即是防静电的。这种防静电地板能泄漏设备、工装上的静电，也能泄漏移动操作时不易使用腕带的人体静电。防静电地板的定期检查见附件三《日常ESD符合性检测项目一览表》静电敏感区域的防静电保护接地技术要求：防静电系统必须有可靠的接地装置，主要技术要求如下：接地线：也称为地线母线，接地主干线的截面积应不小于100mm²，支干线的截面积应不小于6mm²，设备和工作台的接地线采用截面积应不小于1.25mm²的敷塑导线，并以黄绿色为宜（黄绿色为接地线、绿色为静电线）。防静电设备连接端子应确保接触可靠易装拆，必须使用插头座等。接地电阻：指接地体与大地之间的接触电阻，静电保护接地电阻应小于1Ω。地线的埋设：埋设地线的原则是埋设地点的土壤电阻系数愈小愈好接地体与土壤的接触面积要大，接触密度要高，接触要紧。埋设地线的注意事项：接地线与接地线接头必须焊接牢固，要有足够的机械强度，引线不要过长。要采用耐腐蚀的接地体金属。要保持接地体附近土质的质量，并不断采取措施防止接地电阻变大。防静电地线必须是永久性的。接地线的定期检查见附件三《日常ESD符合性检测项目一览表》静电敏感区域的人员防静电规范完成ESD培训的人员方允许进入EPA工作。未完成培训的人员及外来人员（包括参观人员、非本车间联系工作人员、临时施工人员等）需要进入EPA时，按公司访客制度由完成培训的人员全程陪同，陪同人员负责监督和指导访客或未完成培训人员的行为。所有要进入EPA的人员应正确穿戴防静电鞋、防静电服和帽，通过入口综合测试仪测试PASS后才允许进入。人体静电防护系统：防静电工作服：防静电工作服是指为防止静电荷积累，用防静电织物作为面料而制成的工作服，样式有连体式、分体式等。防静电工作服主要用来泄放人体高绝缘性能的服装所产生的静电或减少人体静电产生。防静电工作服的主要技术指标如下表所示：技术指标A级实验方法带电量＜0.6μC/件按TR53服装章节耐洗涤时间≥33.0h按TR53服装章节防静电服使用要求：应根据所制造或操作的ESD的静电敏感度的不同，选用不同等级的防静电布料和防静电工作服。进入防静电区域的人员必须按规定穿防静电服，严禁穿一般合成纤维工作服直接进入车间。防静电衣必须在更衣室更换，不允许在ESD区域穿或脱防静电衣。禁止在防静电衣上附加或佩带与工作无关的金属物品或装饰品。不能把非防静电衣的衣领翻出盖住防静电衣的衣领，防静电衣如是夹克衣须将拉链拉好，两颗扣子扣好，如是大褂衣须将扣子扣满扣好，非防静电衣的长度不能长过静电衣，不准将防静电衣的袖子挽起，不准将手表、手饰等与工作无关的装饰物品露出防静电衣外。防静电大褂衣应保持清洁，工作服的洗涤应尽量采用简易方法进行，采用中性洗涤剂，要避免受到较强的机械和化学操作的洗涤。防静电工作服应在首次穿用前作防静电性能抽测，只有抽测合格方可投入使用，穿用一定时期后应对其防静电性能进行再抽测，防静电服每季度应做一次防静电特性抽测，对于检测不过关的防静电服应停止使用，更换新的。仓库在收到新的防静电服时，通知ESD工程师对防静电服的静电电压进行抽测。检测数量为抽样来料的5％若抽样数低于2件，则抽取2件。检测方法如后面所示，如果该批防静电衣有一件测试不合格，则拒收。除上述方法外，被抽测的静电衣还应被洗33小时后再做以上测试。如果静电衣的表面电阻仍在104-109Ω之间且经工作静电电压仍小于等于0.1kv，则为合格，否则为不合格。防静电服的检测见附件三《日常ESD符合性检测项目一览表》防静电帽：本公司防静电帽与防静电服配套，故相关规定请参照防静电服。防静电帽应正确佩戴，帽沿朝前头发不能露出防静电帽外后脑部分的短细的头发不能超过防静电衣领外。防静电工作鞋：作业人员必须穿防静电鞋，经过人体综合电阻测试合格后，方可进入静电敏感区域工作。防静电工作鞋静电特性检测见附件三《日常ESD符合性检测项目一览表》防静电鞋的使用要求：为使人体有效接地、防止人体和鞋本身带电，并保证操作者因意外接触高电压时不致受到伤害，除应将车间地面做成防静电地面以外，操作者还应穿用防静电鞋，而且防静电鞋必须与防静电衣配套使用，同时防静电鞋底应具有使人体与大地构成回路的材料和结构。EPA区域内的工作人员必须穿防静电工鞋，人体通过工鞋到EPA地面的电阻（人体综合电阻）应该满足小于1×109Ω。人体综合电阻要求员工每日测试记录，穿防静电鞋时可以穿棉质的袜子或不穿袜子，不得另加鞋垫，特别是绝缘性鞋垫。不得在鞋底粘贴绝缘胶片或其它涂料，保持鞋底的清洁。坐式操作的员工应保证工鞋接触地面，不得把脚抬离地面放置。需要进入EPA工作的临时或外来人员也应穿着防静电工鞋并经过测试记录。防静电手套或指套：在EPA内，操作员工应戴上防静电手套或指套，防静电手套或指套兼具防腐蚀功能。在不便使用有绳防静电腕带的岗位，如流动操作岗位，须使用防静电手套，坐式操作，必须佩戴腕带。防静电手套和指套较脏时应及时清洗干净，手套使用期限为一月，到有效期后，生产、品质到仓库统一以旧换新，有破损统一到仓库更换。防静电手套或指套的防静电特性检查请参照防静电服的部分检查方法。防静电腕带检测见附件三《日常ESD符合性检测项目一览表》临时或外来人员的防静电管理：临时(外来)人员，包括参观人员、非本车间联系工作人员、临时施工人员(包括电工、修理工、装饰工等)，进入防静电区域时，必须遵守防静电区域和生产过程的各项防静电要求。临时(外来)人员在参观或作业过程中，不得靠近操作静电敏感器件的工作人员，也不得靠近或徒手接触含有静电敏感器件的在制品或成品。临时施工作业在正常生产时间内要避免瞬时高压、瞬时放电的操作(如电焊、启动电机、开关高压电源等)或事前采取防范措施，或安排在非生产时间内施工作业。防静电区域内需要进行某种维护、修理作业时，维护人员应携带并使用防静电维修包，并遵守防静电区域的有关规定。绝缘体管控员工不得携带私人物品进入EPA内，必要的私人物品应登记并且存放在公司规定的位置。根据生产情况，由班组长每日稽查EPA内绝缘体，ESD小组每月稽查EPA内绝缘体，识别为非必要的绝缘体应立即从EPA内移走。识别为必要的绝缘体时，应按ESDTR53绝缘材料测试章节测量出其静电场强后，根据距离和静电场强进行管控。当必要的绝缘体静电场强超过2000伏/英寸时，优先采用距离控制法，即通过划分区域和定位让绝缘体离操作ESDS器件的区域超过30厘米，如果不能采用距离控制法则增加离子风扇采用离子中和方式。当必要的绝缘体静电场强超过100伏/英寸时，优先采用距离控制法，即通过划分区域和定位让绝缘体离操作ESDS器件的区域超过2.5厘米，如果不能采用距离控制法则增加离子风扇采用离子中和方式。孤立导体管控EPA内所有导体都应尽可能采取接地措施，避免孤立的导体出现。如ICT测试针、刀片、金属镊子、点胶金属针等等孤立导体要进行静电管控。ESD小组每月稽查EPA内孤立导体，新投入使用的工具、设备需通过ESD小组识别是否为孤立导体。识别为孤立导体但生产过程中不可能接触ESSD器件的风险允许使用。识别为生产过程中可能会接触ESDS器件的风险的孤立导体，应使用静电电压测试仪（TREK520）测量ESSD器件和孤立导体两者的静电压，若两者之间电势差小于35伏允许使用。若ESDS器件和孤立导体两者之间电势差大于等于35V时，优先采用改造接地的方法，若不可接地，则应增加离子风扇采用离子中和方式。静电敏感区域的防静电操作规范所有的ESSD(静电敏感器件)及其部件的操作必须在静电安全工作台上进行。进入静电敏感区域的所有电子元器件都应视为ESD来对待。贮存和运输ESSD及其部件时，应妥善进行防静电包装。拒绝接受未包装在防静电容器里的ESSD。所有用非防静电材料包装的电子元器件都应在指定的静电泄放区域，经过拆包和静电泄放处理后，方可用防静电中转工具将其转到敏感区域。不允许在静电敏感区域内存放和处理非防静电的材料，不允许在非静电敏感区域内存放和处理未包装的ESSD，不允许非防静电材料与ESSD混放。进入静电敏感区域的人员，都要必须穿好防静电工作服，必须戴上防静电环，腕带必须与皮肤有良好接触并将腕带接入可靠的防静电接地系统中，防静电鞋和脚必须与防静电地板或ESD地垫保持良好接触，防静电帽也必须按规定戴好。重要工位上应配备腕带监控器，以随时监控腕带是否处于正常状态。不得随意拆除和改变ESSD的封装，运送全过程应在防静电容器中进行，清点也尽可能在原包装内完成。测试ESSD时必须遵守加电和去电顺序，严禁带电插拔ESSD。持拿ESSD，应持其外壳两端，严禁人手触及其引脚或接线片，特别是空悬的输入端。ESD器件的引脚或接线片，特别是空悬的输入端不可放在金属桌面上，容易引起导通，短路等ESD事件，从损坏ESSD器件。装配ESSD时尤其是MOS管等静电敏感器件，应戴上防静电手套或指套。清洗ESSD及其部件时，不得使用塑料刷。不具备防静电功能的必备工具和用具，应放在防静电桌垫上，并应置于离子风机的作用范围内。操作时应尽量减少对ESSD及其部件的接触次数。组装电子产品和设备时，如果需要使用电动批，应使用有接地线的低压直流电动批。在手工焊接时，应采用防静电低压恒温烙铁。对GJB1649规定的I类ESSD焊接，还应在拔掉烙铁电源插头后进行。禁止重复使用ESSD器件包装管来包装ESD器件。原包装标识为静电敏感的元件其散料必须使用防静电材料盛包装。ESD器件初始包装应在静电敏感区域内完成，并要用防静电材料包装。完成了初始包装的ESD器件进行二次包装时可以在非ESD区域内完成，也需要防静电材料。禁止使用超过有效期的防静电材料来接触或包装ESD器件。在任何场合均不允许未采取防静电措施的人员接触ESD及其部件。生产过程中使用的设备必须采取接地等防静电措施。运输ESSD及其部件时，应将其放入防静电包装内进行，必要时，应用离子风机来消除在运输过程中产生的静电。新布置的生产线或工位等都应进行ESD认可，只有认可合格后，方可给生产线使用。新投入防静电敏感区域的防静电材料，包括主料，辅料和包装材料都应进行ESD认可，只有认可合格后，方可给生产线使用。新投入防静电敏感区域的防静电工具等都应进行ESD认可，只有认可合格后，方可给生产线使用。静电敏感区域的工作台、工装、设备以及防静电器材的防静电规范基本防静电要求：防静电工作区内的各种设备、工具、工装仪器都应实施静电防护措施，如接触元器件的部分应使用防静电材料(体积电阻<109Ω)，对非防静电材料(表面电阻>1011Ω)应采用静电中和或涂抹防静电涂液、涂层等其他防护措施进行有效的接地。防静电工作台的技术要求：防静电托盘/盒等防静电工作台是防静电工作区的主要组成部分，下面所示为标准的防静电工作台构成图：防静电托盘/盒等防静电腕带电离器防静电腕带电离器1M欧1M欧1M欧1M欧1M欧台式工具/仪器1M欧台式工具/仪器大地公共接地点建筑地面防静电椅防静电台垫防静电地垫大地公共接地点建筑地面防静电椅防静电台垫防静电地垫其中各组成部分的主要技术要求如下：工作台垫和地垫均应采用防静电材料。静电台垫和地垫上任意一点的系统电阻和表面电阻均为：<1×109Ω。防静电腕带的泄漏电阻为1×1MΩ±20％。防静电工作椅：防静电工作椅上任意一点和人体接触的地方（椅垫，靠背或扶手）到工作椅的任意一个导体脚轮的电阻应该满足≤1×109Ω（不依赖于相对湿度），工作椅系统接地电阻应满足≤1×109Ω；工作椅表面的静电压必须小于100V。电离器：在不能有效泄放静电的场合，可采用电离器通过电离空气产生的正负离子，来防止和中和在元器件上及其它物体上的电荷积累。要求电离器对静电电压的消除能力大于100V/S。电离器的平衡度要求小于±35V，静电消散时间要求从1000伏下降到100伏的时间要求小于6秒（中档风量、作用距离1ft）。增湿器：当相对湿度较低时，可恰当的使用增湿器，通过恒定的潮湿气流，防止静电荷积。但此方法不适于非密封电子元器件。操作时要注意因湿度增加而导致的有害影响。接地系统：包括限流电阻和连接端子，应连接可靠，并具有一定的载流能力。限流电阻阻值的选择应保证漏泄电流不超过5mA，下限阻值应为1MΩ。防静电工作区必须有安全可靠的防静电接地装置，接地电阻小于1Ω。防静电地线不得与电源零线相接，不得与防雷地线共用。另外，工作台面、地垫、其它ESD保护设施均应通过限流电阻接至公共地线，腕带应通过工作台顶面接地点与地线连接。工作台静电线不能相互串联连接，而应分别并联连接。工作台的电气要求：静电防护操作系统的电阻上限为109Ω，防静电操作系统的泄放电流不得超过5mA，为此防静电操作系统的电阻下限为1011Ω绝缘体上的静电采用电离器中和加以消除。工作台的安装(配置)要求：按照工作台面的大小选择所需的防静电台垫的尺寸。使用异丙基酒精彻底清洗台垫下表面(即黑色的一面)。从防静电台垫正面压下旋钮接头(可用不锈钢螺钉、螺母、垫片组成的连接点代替)，使其穿过台垫和箔带(多层箔带时应保证全部穿过)，以保证电接触良好。使用异丙基酒精清洗防静电台垫上表面和各组成构件。将经过以上准备好的防静电台垫平整的铺于工作台面上。按操作人员的作业范围、确定铺放台垫的面积。将工作台置于防静电地垫上。防静电工作台的接地，使用横截面不小于1.25mm²的绞合铜芯软线或电缆把防静电台垫和地垫分别串联1MΩ电阻后连接到地线配置系统上。全部安装完毕后，对各参数指标进行检验合格后，方可开始使用。防静电工作台接地要求：防静电工作台的台垫和地垫，分别串联1MΩ±20%的电阻接地(即软接地)。防静电工作台垫和地垫上任意一点与地线配置系统间的电阻为1×106~1×109Ω。接地电缆应采用中间无接头、且具有足够的机械强度。多台防静电工作台的接地线不能相互串接。防静电工作台上的测试仪器、稳压电源、电动工具、和电离器等所有外部零件表面、屏蔽面均应接地,对地线配置系统电阻值不大于1Ω，所有接地点应集中接于一点，就近牢固搭接至地线系统上，稳压电源尽可能远离工作台。对载流接地线，应使用同轴电缆来接地和屏蔽。为带有金属外壳的便携工具及仪器、设备提供的电源插头座，应选用安全型，使其配接时工具和设备的金属外壳能够自动接地且接地脚要首先接地，断电时接地脚最后断开。防静电工作区内的各种设备、仪器、工装（装备）、工具都应实施静电防护措施，例如接触或靠近静电敏感器件（ESD）的部分应尽可能使用防静电材料（静电耗散材料），对特殊情况下不可避免须使用非防静电材料（表面电阻RS≥1.0×1011Ω）时应采用静电中和或定期涂抹抗静电剂、涂层等其他防护措施，使其电阻值为1×106~1×109Ω。有效地消除、抑制或泄放静电。防静电工作台使用与维护要求：防静电工作台在日常使用中，必须确保正常接地状态。防静电工作台上不允许存放塑料盒、橡皮、玻璃、白色塑料袋等易产生静电的物品，图纸、资料等应放入防静电文件袋中。测量工具使用电阻测试仪，测量台垫，地垫，腕带和接地电缆等的电阻值。使用防静电剂喷涂工作服、工作椅、工具的绝缘部分，及非导体或非防静电的塑料容器、椅子坐垫和椅子靠背等。使用中性清洗剂或防静电剂清洁防静电台垫和地垫。落地设备的防静电技术要求：落地设备如锡膏印刷机、贴片机、收板机、上板机、下板机、流水线等等应采用硬接地，即直接或通过一个低阻抗同防静电地线相连设备的接地线应采用截面积不小于1.25mm²的敷塑导线，接地线颜色自定（一般黄绿色，需区分）。具有自动传送带或滚筒式的流水线，线体应统一接入大地网，并使线体上任一点与大地的接地电阻均小于1Ω。流水线的自动传送带应使用防静电材料(表面电阻介于106~109Ω间)，并通过导线或导体与线体连接。流水线的自动传送带常常通过金属的传送轮接到线体，金属轮应定期清洁而保证皮带有效接地。流水线体上的工装板应通过静电导体与线体连接，达到与线体等电位。自动线体上按作业岗位需要，设置接地点，以便操作者能随时连接防静电腕带。台式设备的防静电技术要求：台式设备如元器件成型机、半自动或手工插件机等应通过台垫实施软接地，即在放置台式设备的工作台面上铺设防静电台垫，并将台垫有效接地。工具的防静电技术要求：带有金属外壳的便携工具及仪器、设备提供的电源插头座，应选用安全型。防静电烙铁的检查见附件三《日常ESD符合性检测项目一览表》。电动批检查见附件三《日常ESD符合性检测项目一览表》。工装的防静电技术要求：橡胶、塑料、化纤、有机玻璃等高分子材料都具有很高的电阻率，极易在使用过程中因接触、分离、摩擦、碰撞等作用而产生、积累起很强的静电，诸如此类在工程中常用的丁基橡胶、ABS塑料、PVC塑料、涤纶等材料都属工装慎用材料，对这些材料必须进行防静电处理或用防静电材料取代。如果接触静电敏感元器件的部分使用了金属材料，则注意一定要将工装进行软接地(例如放在防静电垫上接地)。如果由于特殊原因，工装上接触静电敏感元器件的部分使用了非防静电材料(表面电阻>1011Ω)，则应该采用静电中和或涂抹防静电涂液涂层等其他防护措施。防静液喷涂作业要求：在EPA区域内的个别夹具、工装、工具等制作材料为非ESD材料，暂时无法替代也无法拿出EPA区域外，要求进行喷防静电液处理从而达到防静电目的。喷防静电液前应对非ESD材料表面进行清理干净，并在其表面均匀地喷涂一层防静电液，30分钟左右，防静液干爽后，通知ESD工程师测试确认其工作静电压应小于100V。对EPA区域内的非ESD材料喷防静电液的频率为每月一次。喷完防静电液后，操作者与确认人应签名确认，此表格张贴在不应防碍正常使用位置，此表格有效日期为一年，一年后撕毁并贴上新的表格进行记录。对于采用表面处理（防静电液）来提高起防静电性能的效果要保证每周检查并纪录，并且要根据需要及时更新处理，一般处理周期不得少于每月一次。在每年相对湿度小于20%的时间里，要保证更新处理频率至少每周一次。防静电液原则上只允许对工装和装备上的非加电部位进行涂覆，不允许对产品和器件进行防静电剂涂覆。防静电液的使用必须进行试验测试，不能影响工装、装备、产品的电性能，避免漏电现象的发生。静电敏感区域的防静电器材规范：防静电器材的技术要求见附件三《日常ESD符合性检测项目一览表》防静电器材及其使用维护要求见附件三《日常ESD符合性检测项目一览表》EPA区内特殊情况处理原则上不允许高静电产生材料进入EPA区域，因实际需求必须进入EPA的高静电产生材料需要进行适当的控制，使静电风险减至最小。EPA内存在高于100V的静电源必须采取正确的防静电处理措施，如显示器、键盘、工具和装备上的静电源、特别是必须进入EPA的高静电生产物料（如不防静电的包装材料，产品上的塑料制品等）。防静电处理的主要措施有离子化、防静电剂、屏蔽、接地等。工装和装备中、操作测试过程中有静电难以消散的静电源应考虑使用静电消除装置（如离子风机）或防静电剂。对于客观情况造成的EPA区内的高静电情况，可以采取分区隔离的方法，保证EPA内任何充电的或可充电电压超过100V的物体应该保持距离静电敏感器件30厘米以上，并使EPA外部的高静电源远