高端光芯片晶圆和光器件研发及产业化项目环评可研资料环境影响

12306-320214-89-01-7367 改建扩建技术改造不予批准后再次申报项目超五年重新审核项目重大变动重新报批项目否2）2.环境空气保护目标指自然保护区、风景名胜区、居住区、文化区和农村地区中人本项目有毒有害和易燃易爆危险物质存储量超过临界量，设置环境231.规划及规划环境影响评价符合性分析（1）与无锡市新吴区梅村工业集中区规划相符性水域：近期规划用地面积0.062km2，占规划总面积的1.174规划形成“一心、两廊、两脉”的空间结构和“3+3+4”的功能片区。一心为梅里5位及方向也保持了较好的一致性。本项目与《无锡市新吴区梅村街道总体规划锡市新区规划建设环保局的批复（锡新管建发[2007]43号建设项目与梅村镇工业集表1-2本项目与规划环境影响评价和环境保护规划报告书审查意见的对照表见以科学发展观指导工业集中区建设和环境管理，实区域经济和环境的可持续发展。工业集中区建设须坚持环高标准建设、高水平管理。推行循环经济理念和清洁生产环境管理体系，努力将工业集中区建成生态型工业园区。鼓励与扶持企业内部和企业之间副产品与能源梯级利用，本项目从事高端光芯片晶圆入区。工业集中区引进项目须严格对照《关于进一步加强产业政策和信贷政策协调配合控制信贷风险有关问题的通关政策和规定的要求。入区项目须采用国内外先进水平的生产工艺、设备并配套技术可靠、经济合理的污染防治措清洁生产国内甚至国外先进水平，并严格执行建设项目环境影响评价和“三同时”制度。禁止引进有持久性有机污染、排放恶臭及其他有毒气体的项目，杜绝高污染、高风险和高投入、低产出的项目入区。入区企业应严格执行环本项目从事高端光芯片晶圆落实环境影响评价和“三同时”制6针对区域存在的环境问题，加强环境综合整治，落实重点污染源综合整治方案，对现有废气、废水不能稳定达配套废气处理设施处理后达标污水管网建设进度。区内各企业产生的污水须经预处理达接管标准后方能接入污水处理厂集中处理。污水处理厂尾一级B标准。规划并落实中水回用的基础设下水、污水处理厂尾水须尽可能用作绿化用水、地面冲洗电等清洁能源。入区企业生产废气须经有效处理后达标排锅炉烟气执行《锅炉大气污染物排放标准》中相应标准，工业窑炉废气执行《工业窑炉大气污染物排废处置系统，鼓励工业固体废物在区内综合利用。区内危险废物的收集、贮存、处置须符合国家《危险废物贮存污本项目各类废水分类分质化粪池预处理后和纯水制备废本项目危险废物均委托有企业生产运营管理中须制定并落实严格的环境风险防范措施和事故应急预案，区内各使用危险化学品的生产装置周并储备事故应急设备物资，定期组织实战演练，确保工业园区环境安全。排放工业废水的企业须设置足够容量的事本项目建成后将建立突发设置建设容积不小于150m3的园区污染物总量指标纳入无锡新区总量指标内，其中水污染物总量指标纳入梅村污水处理厂指标计划内，大气污染物排放总量指标在无锡市友联热电有限公司指标计划内平衡。非常规污染物排放总量可根据环境要求和入区企业实7表1-3建设项目与无锡市新吴区梅村工业集中区跟踪评价审核意见对照表见集中区重点发展机械、轻纺、电子、服装等轻湖水污染防治条例》等产业政策、法律法规和集中区产业发展负面清单的要求；集中区在后续发展过对于区内现有的不符合产业定位及相关产业政业符合国家、江苏省、无锡市的环境保护要求，并本项目属于鼓励类，符合国家和地方的产业政策。本项目位于太湖流域三新型战略行业，排放含氮、磷的研发废水按《江苏省太湖流域建设项目重点水污染物排放总量指标减量替代管理暂行用地布局及产业结构，提高单位土地利用率。对于调整后拟开发的用地，在今后开发过程中，应严格本项目位于无锡市新吴区梅村新华政复[2022]4号，建设项目地块属于生产梅村水处理厂的扩建，加快污水处理厂再生水回用范围内的自备锅炉及工业炉窑应使用天然气等清洁/确保工艺废气均通过有效处理后达标排放；对新入须规划设置暂存场所，并委托有相应处置资质的单本项目危险废物均委托有资质单险防范措施，设置的事故池须满足事故废水收集处本项目建成后将建立突发环境时防止事故排水对区域水环境造成不良加强集中区的环境监督管理，建立环境监测计划，对地表水、环境空气、环境噪声、地下水、土/总量控制指标在接管的污水处理厂指标内平衡，大气污染物排放总量控制指标在供热的电厂指标内平本项目新增水污染物在梅村水处理厂平衡，新增的废气在梅村街道范由上表可知，本项目建设与梅村工业集中区的规划和跟踪审查意见相符。82.其他符合性分析2.1产业政策的相符性分析），2.2“三线一单”相符性分析①生态保护红线规划相符性线9业集中区规划内容以及《无锡市新吴区梅村表1-5本项目与梅村工业集中区产业发展负面清单的相符性分析类型梅村工业集中区“三线一单”生态准环境准入清单本项目相符性分析园区制革、酿造、染料、印染、电镀以及其他排放含磷、氮等污染物的企业和项目，城镇污水集中处理等环境基础设施项目和《江苏省太湖水污染防治条例》第四十六条规定的情测点和提升安全、环保、节能水平及油品质化工企业只允许在原有生产产品种类、产能规模、排放总量不增加的前提下进行安全隐患改造、节能环保设施改造和智能化提升改造，现有化工企业严格按照《省政府办公厅关于开展全省化工企业“四个一批”专项行工业和信息产业结构调整指导目录(2012年《无锡市内资禁止投资项目目录（2015年控类型梅村工业集中区“三线一单”生态准环境准入清单本项目相符性分析要求书省太湖流域建设项目重点水污染物排放总量指标减量替代管目类型梅村工业集中区“三线一单”生态准环境准入清单本项目相符性分析禁止引进VOCs收集及去除效率达梅村工业集中区环境管控单元的生态环境准入清单要求以及梅村工业集中区规划环评2.3太湖水污染防治条例有关规定（1）本项目与太湖流域保护区的区位关系（2）《太湖流域管理条例》相关要求（3）《江苏省太湖水污染防治条例》物的企业和项目，城镇污水集中处理等环境基础设施项目和第四十六条规定的情形除得的指标中取得，且按照不低于该项目新增年排“前款规定中新建、改建、扩建以及技术改造项目的环境影响报告书，除由国务院机关。”本条所指排放含磷、氮等污染物的战略性新兴产业具体类别根据《江苏省太湖流域建设项目重点水污染物排放总量染物排放总量应当从减量替代指标中取得，且按照不低于该项目新增年排放总量的1.1倍实施减量替代。战略性新兴产业改建项目应当实现项目重点水污染物年排2.4本项目与上述条例的符合性分析端光芯片晶圆和光器件研发及产业化项目属于江苏省太湖流域战略性新兴产业类别的2.5选址合理性分析15500m2，项目所在园区周边均为梅村工业集中区的研发和生产用地。本项目厂房东侧（2)、外环境对本项目影响边无振动类及高污染类等可能对本项目产生影响的企业及设施，不会对本项目形成制2.6与《江苏省挥发性有机物污染防治管理办法》符合性“管理办法”中规定：“产生挥发性有机物废气的生产经营活动应当在密闭空间或者间，废气通过密闭设备配套管道及车间负压系统收集，采表1-6本项目挥发性有机物清洁原料相符性量NDNDNDNMP///NDNDNDND/ND/////////////本项目使用的银胶、UV胶、密封胶均符合《胶粘剂挥发性有机化合物限量GB通过密闭设备配套的管道及车间负压系统收集，捕集率能达到100%，采用二级活性炭2.8与《关于印发<2020年挥发性有机物治理攻坚方案>的通知》相符性和重点企业为重点管控对象，全面加强对光化学反应活性强的VOCs物质控制；坚持达VOCs原辅材料生产和替代，全面加强无组织排放管控，强化精细化管理，提高企业综相符性分析：本项目研发生产时建立原辅材料台账及VOCs设备运气情况，有机废本项目与《2020年挥发性有机物治理攻坚方案表1-7与《2020年挥发性有机物治理攻坚方案》的相符性分析12进一步明确无组织排放控制要求。3提高VOCs治理效率。组织专家对重导致排放浓度与去除效率不达标的完成改造并通过属地生态环境部门表1-8建设项目长江经济带发展负面清单管理表1建设不符合《长江干线过江通道布局规划》的过长234挖沙、采矿，以及任何不符合主体功能定位的投资建56禁止未经许可在长江干支流及湖泊新设、改设或扩78江干支流一公里按照长江千支流岸线边界(即水利部门河道管9行,2022年版)〉江苏省实施细则合规禁止在化工企业周边建设不符合安全距离规定的劳动密集型的非化表1-9<长江经济带发展负面清单指南>江苏省实施细则管理表1234明令禁止的落后产能项目，以及明令淘汰的安全生产落后工艺及装备项目。52.11与《关于在环评审批阶段开展“源头管控行动”表1-10本项目与《关于在环评审批阶段开展“源头管控性代空调冷凝水回用，可减少自来水使用性有条件的挥发性有机物排放企业(如印等技术实现物料回用强化固体废物源头减量和综合利用，配套的回收利用设施必须达到主生产装置同样的设计水平和处置固体废物和危险废物的，在本市应率产过程有机废气均为密闭设备配套管2.12与《关于印发大运河江苏段核心监控区国土空间管控暂行办法的通知》(苏政发：（（二）由政府组织实施的能源、交通、水利、通信、邮政等基础设施建设需要用地的；：（；（；（2.13本项目与《无锡市新吴区生态文明建设规划》的相符性含氟废水收集处理体系建设，新建企业含氟废水不得接入城镇污水处理厂，已接管的企业开原则上不得设置入河入海排污口，应进入具备产业定位的工业园区。存在国省考断面氟化物超标的区域，要针对性提出相应的氟化物区域产不增污”原则。有限选择涉氟重点区域开展村工业集中区产业定位。本项目含氟废水经预处理达标后接管梅村水处理厂集中处理，不涉及入河入海排污口。根据个断面氟化物均能满足《地表水环境质建成后将完善建设单位清洁生产审核制超标排放、设施不正常运行，雨污（清污）不活污水分类收集、分质处理。新建企业含氟废管城镇污水集中收集处理设施的须组织排查评后接管梅村水处理厂。待配套的工业污水处理厂建成后，本项目生产废水将同极推进涉氟污水处理厂及涉氟企业雨水污水排放口、部分重点国省考断面安装氟化物自动监实时监控。强化对重点时期、重点区域、重点断面的加密监测，一旦发现异常，及时调查处国省考断面试点安装氟化物在线监控装置并联由上表可知，本项目符合《关于印发<江苏省地表水氟化物污染治理工作方案表1-12《关于进一步加强重金属污染防控的意见》相符性1镉、铬、砷、铊和锑，并对铅、汞、镉、铬和砷铬盐制造、以工业固体废物为原料的锌无机鼓励地方根据本地生态环境质量改善目标和重2推行企业重金属污染物排放总量控制制度。成后将依法申请排污放浓度、许可排放量3规划环评和行业环境4《限期淘汰产生严重污染环境的工业固体废产工艺设备名录》等要求，推动依法淘汰涉产能和化解过剩产能。严格执行生态环境保规标准，推动经整改仍达不到要求的产能依优化重点行业企业布局。推动涉重金属产业集扩建的重有色金属冶炼、电镀、制革企业优先力争到2025年底专业电镀企业入园率片晶圆和光器件的制造、集成电路制造项5物特别排放限值。根据排放标准相关规定和2.16本项目与《关于印发<江苏省工业废水与生活污水分质处理工作推进方表1-13《江苏省工业废水与生活污水分质处理工作推进方案》相符性评价中参照评估指南评估纳管的可行性。企业环境部门申请领取排污许可证的同时，应向城2.17项目与《关于在全国开展“三区三线”划定工作的函》的相符性表1-14《关于在全国开展“三区三线”划定工作的函》相符性分析2.落实耕地保护目标任务和生态保护红线划定方案，避让连3.避让地质灾害极高和高风险区、蓄滞洪区、地震4.加强历史文化遗产保护，避让大遗址保护区和地下文物埋5.贯彻“以水定城、以水定地、以水定人、6.基于资源环境承载能力和国土空间开发适宜量在梅村街道范围内平包括FMCW激光器雷达可调光源及时间飞行激光雷达（To运营丰富经验。核心创始人在行业工作20年，在工发-验证-量产-再研发-再验证-量产”核心技术闭环升级，从而保证光芯片晶圆处于国际目环境保护管理条例》，该项目应开展环境影响评价工作。按照《国民经济行业分类》中“三十六、计算机、通信和其他电子设备制造业”中“80、电子器件制造——集成电路线间·高码率、高通道数的掺·相干技术以广泛应用于缘接入网(<100km)。另外相干技术也已经成为数据4英寸GaAs胶配套新增一套18MΩ.cm超纯水系统统///25米（FQ-01）排放WS-002排放1.4.1原辅材料及产品的储运方式（1）.原辅材料运输本工程全程使用的原辅材料对运输条件要求较高，市区内运输由专业运输公司承（2）.原辅材料储存①化学品储存间（化学品库、甲类化学品暂存柜、一般化学品库、中间库）化学品库、甲类化学品暂存柜的温度控制为20±10℃,相对湿度为30%~70%，保剧毒腐蚀气体房、氯气房、易燃易爆库、砷烷磷烷间的温度控制为24±4℃,保持（3）.原辅材料供应①化学品储存间（化学品库、甲类化学品暂存柜、一般化学品库、中间库）1.4.2公用工程及配套设施（1）.给水系统——原水预处理——二级反渗透预脱盐■————抛光混床终端脱盐W——废水纯水系统工艺说明：原水预处理：为保证反渗透系统稳定安全运行，在进入反渗透系统前需进行预处理＜2mg/1(Mn法)；原水预处理的目的是解决如下问题：1）、防止胶体物质及悬浮固体微粒对反渗透膜的污堵；4）、防止氧化物质对反渗透膜的氧化破坏；基于上述反渗透设计导则的考虑，设定了该安全可靠的处理系统，预处理部分主要由原水箱、原水泵、叠片过滤器、超滤装置、超滤产水箱、超滤反洗泵等设备组成。超滤反冲洗过程产生反冲洗废水W1（纯水制备废水接管WS-001排放口排放。二级反渗透预脱盐：反渗透又称逆渗透，一种以压力差为推动力，从溶液中分离出溶剂的膜分离操作。对膜一侧的料液施加压力到浓缩的溶液，即RO浓水W2，回用于冷却塔补水。EDI深度除盐：EDI利用混和离子交换树脂吸附水中的阴阳离子，同时这些被吸附的离子又在直流电压的作用下，分别透过阴阳离子交换膜而被去除。本系统采用的模块，无需加盐和浓水循环，操作方便，结构简单，特别是由于膜块采用了最新技术的结构与影响的可能性，也极大提高了电能效率，降低能耗。抛光混床终端脱盐系统：抛光混床及超纯水供给系统主要包括氮封水箱、超纯水泵、TOC消解仪、抛光混床、UV杀菌器、终端UF等。EDI产水可自行进入该水箱暂存，并为外网供水提供充足的超纯水。由于通过混合离子交换后进入水中的氢离子与氢氧离子，立即生成电离度很低的水分子（H2O很少可能形成阳离子或阴离子交换时的反床，出水含盐率在1ppm/L以下，电导率小于0.1-0.2μS/cm二氧化硅泄露量在20ppb/L左右，出水pH值显中性。对水源设置0.1μm精滤，目的是防止小的颗粒、胶体、细菌等进入后续设备中，产水经过过滤精度为0.2um的电子级微滤膜，截留纯水中微米及亚微米级的细小悬浮物、微生物、微粒、细菌和胶体物质等杂质。保证产水出水指标要求。当水中有机物含量高，可能引起滤膜受到有机物污染。并且当条件有利于生物生存时，一些细菌和藻类也将在膜组件中产生，由此引起生物污染。因此UF膜、RO膜、离子交换装置膜需定期更换，产生废膜组件。1m3623%4℃ppbppb硅ppbpcs/mlpcs/mlppbppbppbppbppbppbCa,Cd,Co,Cr,Cu,Fe,Ga,Ge,K,Li,Mg,Na,Ni,Nb,Pb,Sb,Ta,Sn,Sr,Ti,Tl.V,Zn,Zrppb5/m26/支个67/支6个38EDI装置/个239床台1L床台1L支3（2）.排水系统排水系统组成：生活污水系统，不含氮、磷生产废水，含氮、磷生产废水系统，雨水①生活污水系统及不含氮、磷生产废水：生活污水经生活污水化粪池预处理后和冷却（3）.供电系统（4）.供气系统本项目不涉及燃气的使用，新增3台空压机用于生产。（5）.净化空调系统更洁净服排水排气处理去离子水、织气等更洁净服缓冲区（6）.工艺真空工艺真空系统为满足工艺生产过程中生产设备、吸附硅片等对真空的需求而设置的系其它原辅材料储存原料库、冷却系统、环保系统、冷冻站、纯水系统、供气系统、净化空类别主要组分、规格、指标单位材料片片2kg11458431282Au靶材8131282813131Ni靶材21Al2O32O5类别类别主要组分、规格、指标单位Au05AlN0pcs0pcs0pcs/0pcs/0pcs/0pcs/0pcs/0pcs/0pcs/0pcs/0pcs/0pcs/0pcs/0pcs/0pcs/0pcs气体0m3m3氨气(NH3)4类别类别主要组分、规格、指标单位硅烷(SiH4)/氢气4428m399.999%磷烷(PH3)5化学药品LLL柜无水乙醇（C2H6O）L柜异丙醇(C3H8O)L柜L硫酸（H2SO4）LNMP磷酸（H3PO4）LL柠檬酸（C6H8O7）L双氧水（H2O2）L氨水（NH3H2O）LL类别类别主要组分、规格、指标单位LL48%HBrL1199%亚硫酸金钠Na3Au(SO3)21111LAl2O3002,2’-[1,4-丁二基二（氧亚甲基）]二-060L0L表2-7本项目涉及的原辅材料理化性质和危险性情况表LD50（mg/kg）LC50（mg/m3）无色、有强烈的刺激气味，分子式：NH3，熔点-77.75℃,沸点-33.5℃,密4，熔点185℃,沸点-112℃,密度0.68g/cm3下无色气体。熔点(℃)：-87℃,沸点(℃)：-67℃,密度3.307kg/m³（气LD50（mg/kg）LC50（mg/m3）8000ppm（-186℃),微溶于水。无色无臭的惰性气体，分子式：He，熔点-272.1℃,沸点-268.9℃,密度3体，液态氯呈金黄色。密度3.214kg/5Pa氯可从溴或碘的盐中将它们置换出来。能与有机物和无成反应。干的氯稍不活泼，湿氯能直接与大多数634NMP(2H6O，熔点-114.1℃,沸点78.3℃,密度0.79g/cm3，LD50（mg/kg）LC50（mg/m3）无色透明的液体，有强烈的刺鼻气味，具有较高的腐蚀性。分数约为37%）具有极强的挥发性，熔点-27.32℃,沸点48℃。3124ppm3PO4，熔点42.4℃,沸点260℃,饱和蒸汽压0.67(25℃)，密度1.87g/cm3，氟化铵。3碘溴表2-8废气、废水处理装置药剂使用量1923456678表2-9高端光芯片晶圆生产线主要设备一览表162/23/14X射线衍射仪/25/16/271819/62/4/3/2/32/2/13/2Bruker5/1/1/1/1//1/1/2/1/2/3/2/2/1/3/2/1/1/2/2/1/1/2/2/2/2/1/2/2/1/1/2/1/2/5/5/2/1/1/1/1/1/1/1//1/1/1/1室/2/21/22/43/44/15/16/17/18/19/1/1/1/12体房、甲类库、特气站、污水处理站等公辅工程均位于一层北侧；二层主要为一条光器件生序号建筑面积（m2）1/40/2/13/14/15/16/17/18/19/1/1/1/1/1本项目所在园区东侧隔新华路为菲沃泰纳米科技园区，南侧为江苏鸣腾科技有限公司厂限公司、无锡市惠连海机械制造有限公司、无锡和睿宏精密机械有限公司等工业企业，北侧2.1工艺流程简述学品使用比例等，研发制备可靠性更高、功耗更低、良率更高的激光器芯片，实现“研发-验证-量产-再研发-再验证-量产”核心技术闭环升级。芯片精度或物料配方等途径，实现对产品的迭代更新，制备出可靠性更高、功耗更低、良品率更体技术路线作具体的阐述，实际研发过程涉及的调整细节以及生产过程中涉及到的反复、迭G1-2烟尘2L1-2废光刻胶G1-2烟尘2L1-2废光刻胶砷化氢、氢气、C2H6砷化氢、氢气、C2H6 L1-3废显影液2W1-3含氮有机清洗废水2W1-3含氮有机清洗废水L1-4废碱液W1-2含氮清洗废水W1-2含氮清洗废水LL1-5废有机溶剂L1-6废酸L1-7废酸2222W1-4含砷清洗废水 W1-5酸性清洗废水W1-6含氟酸性清洗废水 L1-8含金废液L1-9减薄废液W1-7含砷清洗废水（砷化镓基底）L1-8含金废液L1-9减薄废液W1-7含砷清洗废水（砷化镓基底）N222W——废水 相外延，形成薄层单晶材料。通常MOCVD系统中的晶体生长都是在常压或低压物源，以鼓泡方式携带至管路，与气态Ⅴ族氢化物混合，共同抵达生长区，在晶圆表面（DEZn）和乙硅烷（Si2H6）作为掺PH3+In(CH3)3+Si2H6→InSiP↓+PH3+In(CH3)3+Ga(CH3)3+Al(CH四溴化碳作为每次外延片生长工序结束后清洁使用，清洁过程产生沾染砷的固体材料，接触面布置有密封圈用于隔离外部空气，运行过程外部空气漏入真空腔室的漏射频将气体电离形成高活性的O2/Ar等离檬酸、双氧水、氢溴酸、溴、硝酸，浸泡3-5min，80~120℃),工艺腐蚀材料为介质膜热力型氮氧化物形成温度1500℃,因此该工序无废气产生。Na3Au(SO3)2→3Na++Au(SO3)23-Au(SO3)23-→Au+2(SO3)22-2Au+I2→2AuI；AuI+KI减薄后利用纯水进行冲洗，最后由N2吹除表面残留水分，根据外延片砷化镓击金属靶材（Ti、Pt、Au靶材），金属粒子与氩离子发生非弹性碰撞，获得动能离开 项目在这个理论基础上，在一定温度（高于363℃,电加热）和一定压力下将激光器芯两个固相形成一个液相；冷却后，当温度低于金硅共熔点（363℃)时，由液相形成的晶粒形式互相结合成机械混合物金-硅共融晶体，从而使硅芯片牢固地焊接在底座上，加压力来实现焊接的一种压焊方法。其原理是通过超声波设备把超声波能力传送到焊熔点为1064.43℃)较稳定，因此无焊接烟尘产生。最终利用超声波热压焊接利用自动光学检测设备检验光器件的性能，挑出尾纤耦合：利用UV胶将阵列波导光栅、尾纤耦合成一体，该工序产生有机废气），表进行各项测试（LIV，波长，噪声等筛选出不合格品S态的环氧树脂加热至180℃,并注入测试材料中，冷却形成固体后使用切割机、抛光机产生的主要污染物种类W1-4组W1-7W1-1W1-3W1-2W1-5W1-6W1-8/////////G1-2析G1-3G1-5G1-6G1-7G2-1G2-22-5G2-32-8G2-4G2-6G2-7G2-9///G1-1G1-4G1-8产生的主要污染物种类G1-9N机减S1-1S1-10/2-10S1-11///L1-1L1-5L1-2L1-3L1-4L1-8L1-6L1-9//////////①晶圆清洗后清洗用水②碱法刻蚀后清洗用水本项目使用氢氧化钾、氨水、双氧水刻蚀后需使用纯水进行清洗，每次冲洗水量④湿法腐蚀后清洗用水本项目新增2台冷却塔，循环冷却水系统循环流量均为1050t/h，年工作时间为③酸碱洗涤塔补水系统⑤氟离子树脂再生用水2.3元素及物料平衡分析称格品Au靶材Au000Au000钠蚀000000Au靶材 图2-7本项目金元素平衡图（kg/含铂物质主要有Pt靶材、Pt蒸发料。称格品70003330000007333图2-8本项目铂元素平衡图（kg/称品废气镍镍22000200022Ni靶材22图2-9本项目镍元素平衡图（kg/量副产品00000900500化铵＋70%水3000000格量量副产品0050000000SF6称序品六氟化硫六氟化硫蚀00蚀30000有关说明号废气捕集与处理据捕集方式/量织织算00/烘烤--G1-7算0000点胶--G2-7VOC含000耦合--G2-6VOC含000封胶--G2-9VOC含000////0称格0000000称量品0气10称量品气0000氯化氢气体，进入水洗装置处理。其余大部分进入称品50000称品003000称量品0000/氢气（H2）000000003.与项目有关的原有环境污染问题江苏鸣腾科技有限公司成立于2006年2月，位于无锡市新吴区梅村街道新华路1352022年10月8日-2023年11月33.各类工程富余能力分析4.本项目租用场地的遗留环境问题本项目租赁江苏鸣腾科技有限公司位于无锡市新吴区梅村街道新华路135号标准厂房15500m2。厂房自建成以来一直空置，在作为本项目生产车间前未使用过，因此无遗（1）项目所在区域环境质量达标情况8NO2PM10PM2.5（2）特征污染因子环评质量现状监测数据分析位于本项目相对位置XY南南（3）环境空气质量现状评价数ND0/ND~0.006/VOCs0ND~0.00080ND0/氨0ND0/（1）项目所在区域地表水达标情况夏“两个确保”目标。全市6个“十四五”地下水环境质量国考区域点位水质达标率（2）地表水环境质量现状监测（2）地表水环境质量现状评价sisiiiisisif=468/（31.6+T），对于盐pH,j7.0−pHsdSpH,j pHj−7.0SpH，j—第j个站位的pH值评价指数；pHj—第j个站位的pH监测值pHsd—pH标准值的下限值；pH—pH标准值的上限值。su间游547////////////游769////////////—//根据《无锡市区声环境功能区划分调整方案》(锡政办发【2018】157号文件)，本项目废水接管梅村水处理厂，尾水排入梅花港，最象系m高差mXYXY00XY/////地公园//号）湿地生态系统保护3.污染物排放控制标准3.1环境质量标准根据《无锡市环境空气质量功能区划的通知》（锡政办[2011]300号文），本项PM102.5二级标准，氯化氢、硫酸雾、氯、氨、TVOC执行《环境影响评价技术导则大气环PM10PM2.5200μg/m3氮氧化物(NOx)250μg/m3氯氨200μg/m32mg/m3//pH/5NH3-N113.2污染物排放标准本项目工艺废气中有组织排放的氟化物、氯化氢、氯气、氨、异丙醇////氨/////////无组织//氨//////非甲烷总烃厂区内无组织排放限值执行《挥发性有机物无组织排放控制标准》无组织排放监控位置NMHC6产品基准排水量限值要求(≤6英寸芯片生产）。具体指标见下表。pH311pH值2嗅/3化学需氧量（CODCrmg/L）/4悬浮物（SSmg/L）/5//6//7溶解性总固体（TDSmg/L）12345pH6BOD5473一般工业固废执行《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》4.本项目污染物总量控制指标表3-16全厂污染物排放量一览表（t废气氨9.5×10-59.5×10-6氨2.6×10-402.6×10-45×10-605×10-60氨废水/0000固废05511033115501.施工期环境保护措施2.运营期环境影响和保护措施2.1.1大气污染物产生及排放情况②光刻胶涂覆、烘烤废气④组装、贴装、点胶、烘烤废气⑤透镜耦合、尾纤耦合废气反应生成的非甲烷总烃主要为C2H6，由参与反应的磷烷、二乙基锌、二乙基锑反设备处理后再经二级碱液喷淋塔处理后由25米高排气筒FQ-02排放。风机风量为MVFP1111表4-2本项目污水处理构筑物单位面积恶臭污染物排放源强NH3（mg/s.m2）H2S（mg/s.m2）表4-3本项目污水处理主要构筑物恶臭气体产生源强汇总表NH3H2S3///0FQ-0100000FQ-020氨0FQ-020000000000氨0氨FQ-01///表4-5本项目废气污染源强核算结果及相关参数一览表（臭气浓度无量纲）)时间FQ-01置是氨-4-6////氨/FQ-02是氨是氨塔是///氨胶///////氨/2.6×10-4/////-4//5×10-6/////5×10-6/表4-6正常工况本项目大气污染物有组织排放情况一览表FQ-01口///氨4.94×10-4/9.5×10-6////FQ-02口//氨//////表4-7本项目大气污染物无组织产生及排放情况一览表08站氨03×10-545×10-605×10-66×10-7////密闭设备配套密闭设备配套FQ-02达标排放密闭设备配套密闭设备配套FQ-02达标排放密闭设备配套2.1.2大气污染物治理措施及有效性分析密闭设备配套氨气、氟化物、氯气、磷烷尾纤耦合、封胶 FQ-01量风量筒24FQ-014434542414141424242400*200量风量筒64FQ-02644414242434POU净化装置温燃烧，产生固体废物和可溶于水的气体，再由水水反应，生成沉积的物质，达到有毒腐蚀的气体完2）POU净化装置主要反应方程及项目合理性分析①干式吸附POU—工艺尾气（处理AsH3,PH3尾气活性炭表面主要附着金属氧化物层（如氧化铜等废200L双桶400L双桶示剂的指示情况，定期更换。根据《排污许可证申请与核发技术规范电子工业》（HJ1031-2019）表.1-集成电路制造，二级干式吸附装置属于可行技术中的“本地处理统使用安全性最高及可处理的气体已涵盖了大部份半导体界常用的气体。处理量为49513/h液位描述：洗涤塔循环水箱内设置液位计，检测洗涤塔水箱液位以保证能够满足洗涤塔的吸收效果并保护循环水泵。即：塔内液位计设置磁阀，向塔内自动补水至H点。当洗涤塔内液位检测达到LL点时，关套12泵台2锡新环竣（2015）字第（2015019）号在氧化处理工段产生的硫酸雾进口浓度为蚀工段产生的氯化氢进口浓度为32.93mg/m3，经二级碱液喷淋处理后出口浓度为处理工段产生的氨气进口浓度为0.84mg/m3，经二级酸喷淋进行处理后出口浓度为题在设计过滤层时将活性炭层设计成夹层过滤，主要阻隔VOCs在运动的速度，促使活性炭是一种多孔性的含炭物质,它具有高度发达的孔隙构造,活性炭的多孔结构123456789着火点(℃)2640（4.8m3）1本项目光刻、去胶、表面处理产生的有机废气经密闭设备配套管道及车间负2本项目活性炭均为颗粒活3本项目进入吸附设备的废4面积≥850m2/g，蜂窝活性炭横向抗压强度应不低于表面积≥750m2/g。本项目活性炭均为颗粒活5本项目活性炭均为颗粒活性炭，有机废气年产生量活性炭量。更换周期可以比同类型企业，根据《广州松达电机有限公司年产电动机1500保护验收监测报告表》的监测数据，该项目产生的有机废气号类FQ-01VOCs5、环境空气质量影响分析m度m度m径m流速烟气温度℃hXY氢氢物物醇氨FQ-01/////////FQ-020/////表4-18本项目大气面源参数调查清单（矩形面/m况XY00834氨3×10-56×10-7氮氧化物(NOx)250μg/m3氯氨200μg/m32mg/m3//本项目新增污染源对环境的影响采用《环境影响评价技术导则大气环境》//表4-21有组织废气正常排放时估算模式计算结果表（1）氨0000000000000000000000000000000000000表4-22有组织废气正常排放时估算模式计算结果表（2）氨度率度率度率度率度率度度浓度度000//0000//0000//0000//0000//0000//0000//0000//0000//000表4-23无组织废气正常排放时估算模式计算结果表氨000000000000000000000000000000000氨由上表可知，厂界浓度氨、非甲烷总烃达到江苏省《半导体行业污染物排放标准》2)0.50•LDr—有害气体无组织排放源所在生产单元的等效半径，m，根据该生产单元LCm(mg/m3)ABCD站氨3×10-56×10-7//