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文档简介

PVD镀金根底知识内容大纲一、物体外表镀膜方法分类二、同湿式镀膜相比,干式镀膜的特点三、真空镀膜与PVD四、PVD镀金工艺流程五、PVD镀金产品外观检验标准一、物体外表镀膜方法分类1、电镀法原理:通电,使电解液电解,被电解的离子膜镀到作为电解液另一个电极的基体外表上。缺点:基体必须是电的良导体、膜层厚度难以控制,且生产过程会产生大量废液造成环境污染。2、化学镀膜法原理:采用化学复原法,必须把膜材配制成溶液并能迅速的参加复原反响。缺点:这种镀膜方法不但膜的牢固性差,而且膜厚既不均匀又不易控制,同时还产出大量化学废液造成了严重的环境污染。3、真空镀膜方法原理:在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发〔或溅射〕,使其在被涂覆的物体〔称为基板、基块或基体〕上凝固、沉积的方法就叫真空镀膜。缺点:同电镀法及化学镀膜法相比,真空镀膜暂无发现缺点。因其镀膜原理的特性不一样,人们也会把电镀及化学镀膜法称为湿式镀膜技术;而真空镀膜被人们称为干式镀膜技术。那么相比湿式镀膜,干式镀膜有哪些特点呢?二、同湿式镀膜相比

干式镀膜的特点1、基体和膜材选材广泛,膜厚可进行控制以制备有各种不同功能性的薄膜。2、真空条件下制备的薄膜环境清洁,镀膜不易受到污染,因此可获得致密性好、纯度高、膜层均匀的膜。3、真空条件下的镀膜与基体附着力〔结合力〕好、强度高,所以镀出来的膜层比湿式镀膜牢固性好。4、干式镀膜不会产生废液,所以也不会造成环境污染。也就是说干式镀膜是以真空为根底,利用物理或化学的方法,并且吸收了电子束、分子束、离子束、等离子束、射频、磁控等一系列新的技术,为科研及生产提供镀层涂覆的新工艺、新技术。说了半天,那么真空镀膜跟我们通常所说的PVD镀金有什么关系呢?三、真空镀膜与PVD真空镀膜技术,也称气相沉积技术。包括物理气相沉积〔PVD〕和化学气相沉积〔CVD〕两大类。1、PVD:是指在真空条件下,采用低电压、高电流的电弧放电技术,利用气体放电使镀料〔靶材〕发生电离,再使镀材气化成原子、分子直接沉积到基体外表的方法。2、PVD主要包括真空蒸发镀膜、真空溅射镀膜和真空离子镀膜。我们通常说所的PVD镀金,就是采用离子镀膜技术。大致分流的话,用副“架构图”会比较直接的看清楚。真空镀膜技术(也称气相沉积技术)物理气相沉积(PVD)化学气相沉积(CVD)真空蒸发镀膜真空溅射镀膜真空离子镀膜我们所说的PVD处理就用它了!3、离子镀原理:当真空室抽到10Pa左右的真空度以后,通过充气系统向室内通入氩气使其室内压强到达1~10Pa,这时当基体相对蒸发源加上负高压之后,基体与蒸发源之间形成一个等离子区,处于高压的基体被等离子包围,不断地受到等离子体中的离子冲击,与此同时靶材蒸气粒子受到等离子体中正离子的碰撞,其中一局部被电离成正离子,正离子在负高压的作用下,被吸附到基体上成膜。-4-1多弧靶靶材

离子镀膜设备4、CVD:化学气相沉积,·········〔此处省略400字,因为我们的产品主要是PVD处理,所以CVD就不多讲了,有兴趣的童鞋们,可以自己去找相关资料学习。〕小资料典型镀膜方法比较四、PVD镀金工艺流程《PVD作业指导书》《QC工程表》注:科勒产品

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