项目需求和技术方案要求

山东标新项目管理有限公司项目需求和技术方案要求一、技术要求一、能源器件制备系统（四工位）该系统由4个惰性箱体组成,该系统可用于钙钛矿太阳能电池实验及测试分析，锂电制备（需提供箱体的方案介绍）一、箱体要求：1、4个不锈钢箱体，设备长度>5800mm，通过多度舱和法兰对接，可以实现箱体之间的互传。箱体背部可对接真空镀膜机；▲2、可拆卸的安全玻璃视窗，钢化玻璃厚度8mm，视窗与箱体之间的密封使用双层封技术，达到无泄漏（提供详细的技术方案介绍）；3、4个过度舱；▲4、铝合金手套口，由实心棒材加工而成，经原色氧化防腐处理，手套与手套口之间采用微负压抽真空密封，达到无泄漏（提供证明文件，提供官网介绍图片并加盖供应商公章）；5、真空系统自动休眠；▲6、照明自动控制系统；7、非集成电池阀；8、箱体平衡模块；9、套快开视窗；10、泄露率﹤0.001vol%/h；11、一个空调：安装在箱体上，控制箱体内温度，18-25℃；12、需确保该系统与真空镀膜机设备连用。二、净化系统：（可对接已有的手套箱）▲1、净化系统，自动循环：循环风机无需连续运转，由水氧分析仪控制，通常每小时只需工作5分钟，使得气体纯化系统无需水冷却。（提供详细的方案介绍）2、水探头（2套）氧化铝薄膜探头（不接受五氧化二磷探头）检测范围0-1000ppm（可转化为ppm在触摸屏上显示)，精度0.2ppm；专为手套箱气氛设计，耐腐蚀，PLC集成控制，感测数据直接显示在主机屏幕上，设计寿命≥5年，提供相关国家权威部门出具的探头精准度检测报告；▲3、氧探头（2套）检测范围0-1000ppm，精度0.2ppm；专为手套箱气氛设计，耐腐蚀，PLC集成控制，感测数据直接显示在主机屏幕上，氧探头为化学燃料电池（不接受氧化锆探头）（提供厂家官网探头介绍图片），提供相关国家权威部门出具的探头精准度检测报告；4、可自动监测手套箱泄漏率：设定自动监测，PLC将根据用户的设定，每天自动在设定的时间对箱体的泄漏进行检测和报告泄漏率，如超过设定值，系统会弹出窗口，警告用户泄漏率超标（提供第三方证明文件）5、除尘模块≥1套6、箱体内部定制一套4mm的不锈钢钢管，用于手套口和箱体的抽真空。7、真空泵（2台）：流量12m3/h，极限真空2x10-3毫巴，配备油雾过滤器。8、H2O﹤1ppm，O2﹤1ppm二、能源器件制备系统（单工位*2）该系统由2个惰性箱体组成,该系统可用于钙钛矿太阳能电池、有机薄膜晶体管等实验及测试分析，锂电制备（需提供箱体的方案介绍）一、箱体要求：1、2个不锈钢箱体，设备长度>3000mm，通过多度舱和法兰对接，可以实现箱体之间的互传。箱体背部可对接真空镀膜机；▲2、可拆卸的安全玻璃视窗，倾斜设计的操作面，钢化玻璃厚度8mm，视窗与箱体之间的密封使用双层封技术，达到无泄漏（提供详细的技术方案介绍）；3、4个过度舱；▲4、铝合金手套口，由实心棒材加工而成，经原色氧化防腐处理，手套与手套口之间采用微负压抽真空密封，达到无泄漏（提供证明文件，提供官网介绍图片并加盖供应商公章）；5、真空系统自动休眠；▲6、照明自动控制系统；7、非集成电池阀；8、箱体平衡模块；9、套快开视窗；10、泄露率﹤0.001vol%/h；11、一个加热过渡仓，最高温度≥200℃二、净化系统：（可对接已有的手套箱）▲1、净化系统，自动循环：循环风机无需连续运转，由水氧分析仪控制，通常每小时只需工作5分钟，使得气体纯化系统无需水冷却；（提供详细的方案介绍）2、水探头（2套）氧化铝薄膜探头（不接受五氧化二磷探头）检测范围0-1000ppm（可转化为ppm在触摸屏上显示)，精度0.2ppm；专为手套箱气氛设计，耐腐蚀，PLC集成控制，感测数据直接显示在主机屏幕上，设计寿命≥5年，提供相关国家权威部门出具的探头精准度检测报告；▲3、氧探头（2套）检测范围0-1000ppm，精度0.2ppm；专为手套箱气氛设计，耐腐蚀，PLC集成控制，感测数据直接显示在主机屏幕上，氧探头为化学燃料电池（不接受氧化锆探头）（提供厂家官网探头介绍图片），提供相关国家权威部门出具的探头精准度检测报告；4、可自动监测手套箱泄漏率：设定自动监测，PLC将根据用户的设定，每天自动在设定的时间对箱体的泄漏进行检测和报告泄漏率，如超过设定值，系统会弹出窗口，警告用户泄漏率超标（提供第三方证明文件）；5、除尘模块1套；6、箱体顶内定制一套4mm的不锈钢钢管，用于手套口和箱体的抽真空；7、真空泵（2台）：流量12m3/h，极限真空2x10-3毫巴，配备油雾过滤器；8、H2O﹤1ppm，O2﹤1ppm。三、真空镀膜机1﹑实现功能：金属热蒸发沉积镀膜设备，是在高真空条件下，通过加热材料的方法，在衬底上沉积各种金属单层或多层膜，主要用于有机太阳能电池，有机半导体材料的物理化学性能研究实验及金属材料的原理研究实验。可以蒸发Au,Ag,Al,等金属。其中金属源采用300A水冷电极，丝舟兼容方式。除前开门位置为胶圈密封外，其他位置全部采用金属密封或磁偶合密封技术，所用电极采用陶封技术，运动采用金属焊接波纹管结构。2、主要技术参数：1）极限真空：优于5×10-5Pa（新设备）2）漏率：6.7×10-8Pa·L/S3）工作真空：7×10-4Pa，从大气到工作真空时间＜40分钟（新设备冷态下）4）系统保压：系统抽到极限后，停泵关机12小时后，系统真空度保持状态≤2Pa。5）样品尺寸：100×100mm.6）样品托尺寸：100×100mm.7）样品架与源表面距离：260~300mm连续可调8）蒸发源：金属源×3套。9）样品台升降距离：单级升降±20mm，电动升降10）样品台加热：室温~400℃11）样品台控温精度：±1℃12）真空室开腔形式：手动前大开门结构13）膜厚探头：水冷2只，安装在样品架下方。3﹑需求概述蒸发室，工作台两大部分。工作台内安装各种电器部件。1）蒸发室：由单真空腔体构成，腔体材质为不锈钢SUS304，前后开门结构。真空室尺寸为400×400×550mm。前开门嵌套在手套箱内，侧滑门结构。后开门是折页开门结构。真空室底板安装三套金属蒸发源和两个备用口，底板安装带防污分子泵抽气口，真空室顶板安装样品架和总挡板。真空室底部安装金属蒸发源电动挡板，侧壁上方安装膜厚探头法兰，规管法兰，备用法兰等。前开门为合金铝材料，氟胶圈密封方式。安装上下两套观察窗。分别观察样品架和蒸发台。真空室内壁及前门，安装有不锈钢屏蔽板。2）蒸发屏蔽板：真空室侧壁，底板，上板。3）前门观察窗：分为上下观察窗，上观察窗为DN195×90mm，胶圈密封，用于样品架运动观察。下观察窗为DN90.胶圈密封，用于蒸发台观察。下观察窗上安装一个转动的遮片挡板。4）真空获得系统：腔室配有独立真空抽气系统，由机械泵和涡轮分子泵组成。配置分子泵1台，抽速速率（L/s）：N2：1200He：750H2：480Ar：1160；配置机械泵1台，极限分压力-关闭气镇：4*10⁻²Pa，极限全压力-关闭气镇4*10⁻¹Pa，极限全压强-开启气镇8*10⁻¹Pa，抽速：30（8.3）m³/h（L/s）；配置CF200气动插板阀≥一套；配置CF35全金属气动角阀≥1只；配置Ф32波纹管管路1.5m，≥3只；配置放气阀≥1支；配置KF40电磁压差阀≥1支；配置KF40气动角阀≥1支。烘烤灯组件：烘烤与照明灯分开。两只烘烤灯，一只照明灯。6）样品架：单级电动升降±20，用于调整蒸发间距。蒸发源和样品距离为260mm至300mm连续可调。在升降架侧安装有指示标尺。样品架可旋转，转速手动可调整。室温～400℃，电动旋转0～30转/分。每次可安装100mm*100mm样品1片。采用铠装丝加热器。7）样品架挡板：气动/磁力耦合原理，与样品架同时升降，在真空室外有位置限制。8）金属源及挡板：三套，金属源直接安装在真空室底板上。水冷结构，可以用舟蒸发金属类材料。两只电极间距为70mm。配有三套电动旋转磁力耦合挡板，安装于真空室侧壁或者底板。加热电极有预留的加长功能。9）膜厚探头：两套，国产膜厚探头，配有气动小挡板。CF35，水冷结构，用于测量蒸发速率。安装在真空室侧壁上，标配两只，并且安装有挡板。用于测量膜厚和蒸发速率，一只专用于减反膜的测试，另一只测量其他金属的膜厚，测量精度0.01Å。10）工作台：工作台是该设备的骨架，安装着支撑部件，方管焊成结构，台面铺有不锈钢装饰板，表面静电喷涂处理，四周有方便拆卸的围板，工作台内部安装设备真空控制单元，样品架加热电源，室烘烤照明电源,分子泵电源,有机源电源，金属蒸发电源、频率计、真空计5227等。11）真空控制单元：PLC+触摸屏控制：机械泵运行，前级阀运行，样品架的升降，旋转和掩膜板的升降。12）样品架加热电源：样品台旋转控制，最高温度400℃。控温精度±1℃。导电控温仪,控温精度±1℃，0.8KW,13）室烘烤照明电源：控制真空室内一只照明灯，两只烘烤灯的供电。14）金属蒸发电源：开关电源原理，总功率1.5KW，5V/300A，一带二输出方式，二台。15）复合真空计：一低一高；一路连接电阻规，一路连接金属电离规，复合模式，量程自动切换。16）膜厚仪：配置一台进口品牌膜厚仪实时显示膜厚以及沉积速率（明确品牌型号）16.1）高亮度，VGA活性点阵彩色LCD显示器–可显示英文或中文。16.2）标准RS-232和USB（有以太网选件）。16.3）易设置和操作，有“快速设置”菜单，6个上下文-敏感的按钮，和参数设定旋钮。16.4）Window程序用于开发，测试，和下载工艺过程，和将仪器数据记录至PC上，用于过程分析与质量控制。16.5）精确的过程控制，尤其用于低淀积率，在10读值／秒时的分辨率为±0.03Hz，在0至50°C温度范围内的频率稳定性为±2ppm。16.6）贮存容量高至100个工艺过程，1000个膜层，50个膜系