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文档简介

（）（）答案:ABC结构的分辨率决定于某种光刻方法的分辨率。()5.间接加工技术就是光刻加图形转移技术。()（）（）4.分辨率就是能够清晰分辨出间隔很近的特征图形的能力。()5.正胶在感光时，使聚合物发生交联。()1.先进的电子束曝光机主要适用于（）以下的超微细加工。（）3.电子枪包括发射电子的阴极和对发射电子聚束的电子透镜。()()（）2.聚焦离子束系统的聚焦系统与电子束系统大致相同。()()4.LMIS稳定发射的关键是液态金属与钨丝的良好浸润。()5.垂直入射的离子可以获得最大的离子溅射产额。()（）（）4.当AFM以STM方式工作时，也可以用AFM实现对抗蚀剂的曝光。()（）（）3.纳米压印包括阳模压印和阴模压印，阴模压印相对容易。()（）（）答案:ABC3.溶脱剥离是薄膜沉积方法的目的之一。()（）2.反应离子刻蚀是离子轰击辅助的()。4.与等离子体刻蚀不同，离子溅射刻蚀方法中等离子分开的。()5.飞秒激光加工是热加工。()1.侧壁沉积法获得侧壁时用到了()答案:ABC艺。()4.横向添加法用来获得窄间隙结构，横向抽减法用来获得窄线条结构。()向异性刻蚀。()1.传统的平面集成电路加工技术是（）技术，分子自组装是（）技术。（）4.硫醇

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