钛酸锶钡铁电薄膜的溶胶-凝胶法制备及性能研究的开题报告_第1页
钛酸锶钡铁电薄膜的溶胶-凝胶法制备及性能研究的开题报告_第2页
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钛酸锶钡铁电薄膜的溶胶-凝胶法制备及性能研究的开题报告一、研究背景钛酸锶钡（SBT）是一种铁电材料，具有较高的介电常数和压电系数，在电子器件中具有广泛应用。而钛酸锶钡铁电薄膜具有较好的机械、电学和光学性能，在微电子器件中可用于储存器、传感器等方面的应用。常见的制备钛酸锶钡铁电薄膜的方法包括物理气相沉积（PVD）、化学气相沉积（CVD）和溶液法。溶胶-凝胶法是一种简单、低成本的制备方法，可以制备出具有优良性能的钛酸锶钡铁电薄膜。因此，本研究选用溶胶-凝胶法制备钛酸锶钡铁电薄膜，并研究其性能。二、研究目的本研究的目的是制备钛酸锶钡铁电薄膜，并研究其结构、电学和光学性能，探究溶胶-凝胶法制备钛酸锶钡铁电薄膜的可行性，为其在微电子器件中的应用提供理论依据。三、研究内容1.溶胶-凝胶法制备钛酸锶钡铁电薄膜2.利用X射线衍射（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）等对薄膜的结构进行表征3.测量钛酸锶钡铁电薄膜的介电常数和压电系数，探究其电学性能4.测量钛酸锶钡铁电薄膜的透光性和吸收辐射能力，探究其光学性能四、研究计划和进度安排1.研究计划阶段一：文献综述和实验准备（2周）1）文献综述，了解钛酸锶钡铁电薄膜的制备方法及应用情况；2）实验准备，制备实验所需的材料和设备。阶段二：制备钛酸锶钡铁电薄膜（4周）1）制备钛酸锶钡铁电溶胶和凝胶；2）采用自制的旋涂仪将钛酸锶钡铁电凝胶均匀涂在基片上；3）采用热退火处理，制备钛酸锶钡铁电薄膜。阶段三：薄膜结构和性能表征（6周）1）利用XRD对薄膜结构进行分析；2）利用SEM观察薄膜形貌；3）采用介电常数测试仪和压电系数测试仪测量薄膜性能；4）利用紫外可见分光光度计测量薄膜的透光性和吸收辐射能力。阶段四：数据处理和写作（4周）1）对实验结果进行数据分析处理；2）撰写开题报告，准备毕业论文。2.进度安排第1-2周：文献综述和材料准备；第3-6周：制备钛酸锶钡铁电薄膜；第7-12周：薄膜结构和性能表征；第13-16周：数据处理和写作。五、研究意义本研究利用溶胶-凝胶法制备钛酸锶钡铁电薄膜，并研究其性能，对于深入研究这种铁电材料在微电子器件中的应用具有重要意义。

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