珠海横琴方瑞联合半导体有限责任公司12英寸显示驱动高端定制晶圆生产线项目环境影响报告表

(建设项目名称珠海横琴方瑞联合半导体有限责任公司12英寸显示驱动高端定制晶圆生产线项目项目代码建设单位联系人联系方式建设地点广东省珠海市横琴岛横琴新区，项目地块位于横琴岛西部沿海区域，东至厚朴道，西至琴海西路，北至环岛北路。地理坐标（113度27分49.77秒，22度7分39.05秒）国民经济行业类别3973集成电路制造建设项目行业类别80电子器件制造建设性质■新建（迁建）□扩建□技术改造建设项目申报情形■首次申报项目□不予批准后再次申报项目□超五年重新审核项目□重大变动重新报批项目项目审批（核准/备案）部门（选填）项目审批（核准/备案）文号（选填）总投资（万元）2071900环保投资（万元）75000环保投资占比（%）3.6%施工工期是否开工建设是：233333专项评价设置情况大气专项评价：本项目涉及氯气，且500m范围内有环境敏感目标；环境风险专项评价：本项目风险物质超过临界量。规划情况无规划环境影响评价情况无规划及规划环境影响评价符合性分析无其他符合性分析一、产业政策符合性分析本项目所属行业为3973集成电路制造。1、根据《产业结构调整指导目录（2019年本）》，本项目不属于淘汰类和限制类，属于鼓励类第二十八项“信息产业”第19条“集成电路设计、线宽0.8微米以下的集成电路制造”。2、根据《市场准入负面清单（2022年版）》本项目不属于负面清单中禁止准入事项，亦不属于许可准入事项，属于市场准入负面清单以外的行业，且不涉及与市场准入相关的禁止性规定。3、根据《珠海市产业发展导向目录（2020年本）》，本项目属于“一、优先发展类1.集成电路（1）集成电路设计，线宽0.8微米以下集成电路制造，及球栅阵列封装（BGA）……等先进封装与测试”中的“线宽0.8微米以下集成电路制造”类别，不属于限制发展类和禁止发展类。因此，本项目符合国家和地方的产业政策。二、选址合理性分析本项目位于珠海市横琴新区项目地块位于横琴岛西部沿海区域，东至厚朴道，西至琴海西路，北至环岛北路，项目用地性质为建设用地，周边为科技研发、商务公寓及商业建筑。对产生的污染物进行综合治理后，污染物均能达标排放，项目对周围环境影响较小。在严格执行本评价要求的环保措施的条件下，项目选址可行。三、与环境功能区划的符合性分析本项目位于珠海市横琴新区项目地块位于横琴岛西部沿海区域，东至厚朴道，西至琴海西路，北至环岛北路。周边环境功能区规划见下表。表1与周边功能区划的符合性规划文件相关规划要求与本项目实际情况《广东省近岸海域环境功能区划》（粤府办[1999]68号）本项目所在区域的纳污水体为马骝洲水道，该水道属于第三类海水功能区，执行《海水水质标准》（GB3097-1997）第三类标准。《关于印发<珠海市声环境质量标准适用区划分>和<珠海市环境空气质量功能区划分>的通知》（珠环[2011]357号）本项目所在地环境空气质量功能区属于二类区，不属于环境空气质量功能区一类区，详见附图6。《关于印发<珠海市声环境质量标准适用区划分>和<珠海本项目所在地声环境质量功能区属于3类区，不属于声环境质量功市环境空气质量功能区划分>的通知》（珠环[2011]357号）能区1类区，详见附图7。相符性分析：本项目所在区域空气环境功能为二类区，声环境功能区划为3类区，项目纳污水体马骝洲水道执行第三类海水水质标准，不在水源保护区内。本项目在运营过程的废水、废气、固体废物和噪声影响经有效的治理措施治理后对周围环境产生的影响甚小。综上所述，本项目的选址符合环境功能区划的要求。四、“三线一单”符合性分析表1与《珠海市“三线一单”生态环境分区管控方案的通知》（珠府[2021]38号）相符性分析表相符性分析相符性生态保护红线全市陆域生态保护红线面积202.59平方公里，占全市陆域11.66%；一般生态空间面积131.57平方公里，占全市陆域国土面积的7.57%。全市海域生态保护红线3281.06平方公里。根据《珠海市人民政府办公室关于印发珠海市生态控制线划定工作方案的通知》珠府办函[2015]204号，本项目不在划定的生态控制线管制范围内，符合生态保护红线要求，详见附图6。相符环境质量底线全市环境质量持续改善，地表水国考、省考断面水质达到国家和省下达的水质目标要求；集中式饮用水水源地水质达到或优于Ⅲ类水体比例为100%；城市建成区黑臭水体全面消除。近岸海域水环境质量逐步改善。大气环境质量持续改善，各项考核指标达到省下达的目标要求。项目所在区域空气环境功能为二类区，声环境功能区划为3类区。本项目污水纳入纳污水体马骝洲水道执行《海水水质标准》（GB3097-1997）第三类标准，不在水源保护区内。本项目在运营过程的废水、废气、固体废物和噪声影响经有效的治理措施治理后对周围环境产生的影响甚小。符合环境质量底线要求。相符资源利用上线强化节约集约利用，持续提升资源能源利用效率，水资源、土地资源、岸线资源、能源消耗等达到或优于省下达的总本项目通过采用清洗水回用，冷却水循环使用等节水措施，单片排水量满足基准排水量限值要求，不会超出区域资源利用上线，符合相符量和强度控制目标。资源利用上线要求。全市生态环境准入共性清单区域布局管控要求......培育壮大集成电路设计制造、生物医药等战略性新兴产业，推进现代产业集群规模化、集约化发展，全面提升绿色发展水平。......禁止新建、扩建燃煤燃油火电机组和企业自备电站......不得新建专业电镀、化学制浆、纺织印染、制革、冶炼、发酵等重污染项目。禁止在磨刀门水道两岸及流域内湖泊、水库最高水位线水平外延五百米范围内新建、扩建废弃物堆放场和处理场。......自然保护地核心区原则上禁止人为活动，其他区域严格禁止开发性、生产性建设活动。本项目所属行业为集成电路制造，不属于专业电镀、化学制浆、纺织印染、制革、冶炼、发酵等重污染项目，也不属于废弃物堆放场和处理场；项目用能为市政电网供应的电能；项目所在地不属于自然保护地核心区，符合区域布局管控要求。相符能源资源利用要求按照“控煤、减油、增气、增非化石、输清洁电”原则，构建绿色低碳能源体系。项目用能为市政电网供应的电能，电能为绿色能源，符合能源资源利用要求。相符污染物排放管控要求加强危险废物和医疗废物收集处理。项目产生的危险废物经集中暂存后，定期交由有资质的单位处理，符合污染物排放管控要求。相符环境风险防加强危险化学品、重金属、危险废物、医疗废物、电子废弃物等监管体系建设，强化相关行业存储、运项目产生的危险废物经集中暂存后，定期交由有资质的单位处理。危险废物暂存、运输、处置过程严格按照相相符控要求输、使用、处置等全过程环境风险监控。关规定进行管理，符合环境风险防控要求。横琴新区重点管控单元区域布局管控......自然保护地核心区原则上禁止人为活动，其他区域严格禁止开发性、生产性建设活动。大气环境布局敏感重点管控区内严格落实国家产品VOCs含量限值标准要求，除现阶段确无法实施替代的工序外，禁止新建生产和使用高VOCs含量原辅材料项目。禁止在单元区域内建设畜禽养殖场、养殖小区。项目用地位于珠海市横琴新区项目地块位于横琴岛西部沿海区域，东至厚朴道，西至琴海西路，北至环岛北路，本项目用地为建设用地，本项目不属于自然保护地核心区。项目所属行业为集成电路制造。生产过程中产生的有机废气经收集处理后通过排气筒排放，对环境的影响较小；本项目不属于畜禽养殖场、养殖小区，符合区域布局管控的要求。相符能源资源利用新建高能耗项目单位产品（产值）能耗达到国际国内先进水平。本项目在建设过程中将采用节能新技术、新工艺，将低能耗作为建设方案选择的主要考虑因素，项目符合能源资源利用的要求。本项目通过采用清洗水回用，冷却水循环使用等节水措施，单片排水量满足基准排水量限值要求。相符表2与《广东省“三线一单”生态环境分区管控方案》（粤府[2020]71号）相符性分析表相符性分析相符性生态保护红线全省陆域生态保护红线面积36194.35平方公里，占全省陆域国土面积的20.13%；一27741.66平方公里，占全省陆域国土面积的15.44%。全省海洋生态保护红线面积16490.59平方根据《广东省环境保护规本项目所在区域不属于生态红线区域，符合生态保护红线要求。相符环境质量底线全省水环境质量持续改善，国考、省考断面优良水质比例稳步提升，全面消除劣V类水体。大气环境质PM2.5年均浓度率先达到世界卫生组织过渡期二阶段目标值（25微克/立方米），臭氧污染得到有效遏制。项目所在区域空气环境功能为二类区，声环境功能区划为3类区，项目纳污水体马骝洲水道执行（GB3097-1997）第三类标准，不在水源保护区内。本项目在运营过程的废水、废气、固体废物和噪声影响经有效的治理措施治理后对周围环境产生的影响甚小。符合环境质量底线要求。相符资源利用上线强化节约集约利用，持续提升资源能源利用效率，水资源、土地资源、岸线资源、能源消耗等达到或优于国家下达的总量和强度控制目标。本项目通过采用清洗水回用，冷却水循环使用等节水措施，单片排水量满足基准排水量限值要求，不会超出区域资源利用上线，符合资源利用上线要求。相符“核带区”总体管控要求珠三角核心区区域布局管控要求禁止新建、扩建燃煤燃油火电机组和企业自备电站，推进现有服役期满及落后老旧的燃煤火电机组有序退出；原则上不再新建燃煤锅炉，逐步淘汰生物质锅炉、集中供热管网覆盖区域内的分散供热锅炉，逐步推动高污染燃料禁燃区全覆盖；禁止新建、扩建水泥、平板玻璃、化学制浆、生皮制革以及国家规划外的钢铁、原油加工等项目。本项目所属行业为集成电路制造，用电、用气均由市政提供，符合区域布局管控要求。相符能源资源利用要求盘活存量建设用地，控制新增建设用地规模。项目位于横琴粤澳深度合作区厚朴道西侧、环岛北路南侧、琴海西路东侧建设用地，属于珠海市土地利用总体规划的允许建设区，符合能源资源利用要求。相符污染物大力推进固体废物源头减量化、资源化利用和无害化处置，稳项目产生的危险废物经集中暂存后，定期交由有资质的单位处理。符合污相符排放管控要求步推进“无废城市”试点建设。染物排放管控要求。环境风险防控要求建立完善突环境事件应急管理体系.……落实环境风险应急预案。提升危险废物监管能力，利用信息化手段，推进全过程跟踪管理；健全危险废物收集体系，推进危险废物利用处置能力结构优化。本项目有危险废物产生，项目建成后将依法编制事故应急预案，并严格落实应急预案及环评中提出各项措施和要求。项目产生的危险废物经集中暂存后，定期交由有资质的单位处理。危险废物暂存、运输、处置过程严格按照相关规定进行管理，符合环境风险防控要求。相符五、与挥发性有机物（VOCs）政策相符性分析1、《关于珠江三角洲地区严格控制工业企业挥发性有机物（VOCs）排放的意见》（粤环[2012]18号）相符性分析根据《关于珠江三角洲地区严格控制工业企业挥发性有机物（VOCs）排放的意见》（粤环[2012]18号）提出：“加强其它行业VOCs排放的控制，采取切实有效方法保障工业有机溶剂原辅材料和产品的密闭储存以及排放VOCs生产工序在固定车间内进行，监督有机废气排放企业安装有机废气回收净化设施”。本项目机台与废气管道连接，产生的废气能全部收集并排入有机废气处理系统，经沸石浓缩转轮焚烧系统处理后通过排气筒排放。产生VOCs的生产工序在固定车间内收集处理，可有效控制VOCs的排放。综上，本项目符合上述规定要求。2、《广东省挥发性有机物（VOCs）整治与减排工作方案（2018-2020年）》相符性分析根据《广东省挥发性有机物（VOCs）整治与减排工作方案（2018-2020年）》提出：“加强工业企业VOCs无组织排放管理，推动企业实施生产过程密闭化、连续化、自动化技术改造，强化生产工艺环节的有机废气收集，减少挥发性有机物排放。”本项目光刻工序中的涂胶、前烘、曝光后烘焙等会产生有机废气。项目机台与废气管道连接，产生的废气能全部收集并排入有机废气处理系统，经沸石浓缩转轮焚烧系统处理后通过排气筒排放。本项目强化了生产工艺环节的有机废气收集及处理，减少挥发性有机物排放，符合《广东省挥发性有机物（VOCs）整治与减排工作方案（2018-2020年）》的相关要求。3、《广东省打赢蓝天保卫战实施方案（2018-2020年）》（粤府函[2018]128号）的相符性分析根据《广东省打赢蓝天保卫战实施方案（2018-2020年）》（粤府函[2018]128号）内容，制定广东省重点大气污染物（SO2、NOx、VOCs）排放总量指标审核及相关管理办法。珠三角地区建设项目实施VOCs排放两倍削减量替代，粤东西北地区实施等量替代，对VOCs指标实行动态管理，严格控制区域VOCs排放量。地级以上城市建成区严格限制建设化工、包装印刷、工业涂装等涉VOCs排放项目，新建石油化工、包装印刷、工业涂装企业原则上应入园进区。（省生态环境厅负责）。珠三角地区禁止新建生产和使用高VOCs含量溶剂型涂料、油墨、胶粘剂、清洗剂等项目（共性工厂除外）。本项目挥发性有机物按要求实行两倍削减量替代。本项目为集成电路制造项目，不属于钢铁、有色、水泥、玻璃、陶瓷、化工、造纸、印染、石材加工等高污染高排放行业，不属于涂料、胶粘剂、油墨等行业。本项目为新建项目，但本项目生产过程不使用高VOCs含量溶剂型涂料、油墨、胶粘剂，且集成电路所使用的清洗剂未被列入GB38508-2020，满足国家对挥发性有机物原辅材料的使用要求，。项目生产过程中产生的有机废气经收集处理后通过排气筒排放，符合要4、《挥发性有机物无组织排放控制标准》（GB37822—2019）相符性分析根据《挥发性有机物无组织排放控制标准》中规定：“VOCs质量占比大于等于10%的含VOCs产品，其使用过程应采用密闭设备或在密闭空间内操作，废气应排至VOCs废气收集处理系统；无法密闭的，应采取局部气体收集措施，废气应排至VOCs废气收集处理系统。”本项目光刻工序中的涂胶、前烘、曝光后烘以及清洗工序中的有机洗等会产生有机废气。项目机台与废气管道连接，产生的废气能全部收集并排入有机废气处理系统，经沸石浓缩转轮焚烧系统处理后通过排气筒排放。因此，本项目与《挥发性有机物无组织排放控制标准》（GB37822—2019）的要求相符。5、《广东省2021年大气、水、土壤污染防治工作方案》相符性分析（1）《广东省2021年大气污染防治工作方案》工作目标：2021年，全省空气质量优良天数比例（AQI）达到92.5%，可吸入颗粒物（PM10）年均浓度41ug/m3。珠海市空气质量优良天数比例（AQI）达到90.4%，可吸入颗粒物（PM10）年均浓度37ug/m3，PM2.5年均浓度22ug/m3。本项目锅炉用于极寒天气时作为补充热源。锅炉燃料为天然气，运行时的烟气通过排气筒排放，均满足广东省地方标准《锅炉大气污染物排放标准》(DB44765-2019）的相关要求。项目机台与废气管道连接，产生的废气能全部收集并排入有机废气处理系统，经沸石浓缩转轮焚烧系统处理后通过排气筒排放。产生VOCs的生产工序在固定车间内收集处理，可有效控制VOCs的排放，符合方案要求。（2）《广东省2021年水污染防治工作方案》珠海市2021水污染防治工作任务目标为：地表水国考断面5个，其中优良目标断面数量4个，省级攻坚断面数量1个；县级及以上集中式饮用水水源地9个，水质达标率100%；2021年拟下达农村生活污水治理民生实施任务（自然村个数）50个。本项目营运期废水来源有生产废水和生活污水，废水经处理后通过市政排污管网接入横琴水质净化厂，不会对水环境造成污染影响。（3）《广东省2021年土壤污染防治工作方案》项目周边不存在“耕地、园地、牧草地、饮用水水源地或居民区、学校、医院、疗养院、养老”及不存在“其他土壤环境敏感目标”。本项目不属于重点行业企业（73类）用地污染调查范围。符合《广东省2021年土壤污染防治工作方案》的要求。六、“十四五规划”相符性分析1、与“广东省生态环境保护十四五规划”相符性分析表1-3《广东省环境保护“十四五”规划》相符性分析序号环保要求本项目情况相符性1推动工业项目入园集聚发展，引导重大产本项目位于环境容量充足的沿海符合业向沿海等环境容量充足地区布局。地区，符合要求。2珠三角地区禁止新建、扩建水泥、平板玻璃、化学制浆、生皮制革以及国家规划外的钢铁、原油加工等项目。本项目属于集成电路制造，不属于禁止建设项目。符合3珠三角禁止新建、扩建燃煤燃油火电机组和企业燃煤燃油自备电站。本项目属于集成电路制造，不属于禁止建设项目。项目用电为市政电网供电。符合4严格实施VOCs排放企业分级管控，全面推进涉VOCs排放企业深度治理。开展中小型企业废气收集和治理设施建设、运行情况的评估，强化对企业涉VOCs生产车间/工序废气的收集管理，推动企业开展治理设施升级改造。中产生的有机废气，100%收集处理。本项目有机废气浓度低、风量大，采用沸石转轮转轮燃烧，削减VOCs排放，符合要求。符合2、与“珠海市生态环境保护暨生态文明建设十四五规划”相符性分析表1-4《珠海市生态环境保护暨生态文明建设“十四五”规划》相符性分析序号环保要求本项目情况相符性1禁止新建专业电镀、化学制浆、纺织印染、制革、禁止在磨刀门水道两岸及流域内湖泊、水库最高水位线水平外延500m范围内新建、扩建废弃物堆放场和处理场；畜禽禁养区内不得从事畜禽养殖业。本项目属于集成电路制造项目，不属于禁止建设项目。符合2加强挥发性有机物综合治理。实施低挥发性有机物（VOCs）含量产品原辅材料替代，严格执行国家产品VOCs含量限值和有害物质限量标准，原则上禁止新建生产和使用高本项目属于集成电路制造项目，生产过程中产生的有机废气全部收集集中处理，不属于禁止建设项目。符合—10—VOCs含量原辅材料项3严格实施VOCs排放企业分级管控，全面推进涉VOCs排放企业深度治理。开展中小型企业废气收集和治理设施建设、运行情况的评估，强化对企业涉VOCs生产车间/工序废气的收集管理，推动企业开展治理设施升级改造。本项目光刻工序中的涂胶、前烘、曝光后烘焙等会产生有机废气。本项目拟设置沸石浓缩转轮焚烧系统对有机废气进行处理，处理后废气经楼顶排气筒排放，有机废气VOCs有组织排放达到广东省《家具制造行业挥发性有机化合物排放标准》（DB1Ⅱ时段排放限VOCs达到《挥发性有机物无组织排放控制标准》附录A.1无组织特别排放限值，因此对其周边大气环境影响不大，符合《广东省环境保护“十四五”规划》的要求符合—11—表2生态环境分区管控、环境管控单元总体管控符合性分析类别要求项目相符性分析全省总体管控要求及“一核一带一区”区域管控要求区域布局管控要求筑牢珠三角绿色生态屏障，加强区域生态绿核、珠江流域水生态系统、入海河口等生态保护，大力保护生物多样性。积极推动深圳前海、广州南沙、珠海横琴等区域重大战略平台发展；引导电子信息、汽车制造、先进材料等战略性支柱产业绿色转型升级发展，已有石化工业区控制规模，实现绿色化、智能化、集约化发展；加快发展半导体与集成电路、高端装备制造、前沿新材料、区块链与量子信息等战略性新兴产业。禁止新建、扩建燃煤燃油火电机组和企业自备电站，推进现有服役期满及落后老旧的燃煤火电机组有序退出；原则上不再新建燃煤锅炉，逐步淘汰生物质锅炉、集中供热管网覆盖区域内的分散供热锅炉，逐步推动高污染燃料禁燃区全覆盖；禁止新建、扩建水泥、平板玻璃、化学制浆、生皮制革以及国家规划外的钢铁、原油加工等项目。推厂应用低挥发性有机物原辅材料，严格限制新建生产和使用高挥发性有机物原辅材料的项目，鼓励建设挥发性有机物共性工厂。除金、银等贵金属，地热、矿泉水，以及建筑用石矿可适度开发外，限制其他矿种开采。本项目属于集成电路制造行业，不属于禁止建设项目，所使用的有机物原辅材料主要为光刻胶及添加剂、去胶液、异丙醇等，由于集成电路对原辅材料纯度要求极高，目前无法替代，且集成电路GB38508-2020，满足国家对挥发性有机物原辅材料的使用要求；本项目为密闭机台，且设置机台的抽风系统，做到全部收集后经沸石转轮+焚烧系统处理，最大限度减少VOCs排放。能源资源利用要求推进工业节水减排，重点在高耗水行业开展节水改造，提高工业用水效率。加强江河湖库水量调度，保障生态流量。盘活存量建设用地，控制新增建设用地规模。本项目通过采用纯水回用、纯水制备废水再利用等措施提高工业用水效率。生产废水经厂区污水处理站处理后排入市政污水处理厂。污染物排放管控要求在可核查、可监管的基础上，新建项目原则上实施氮氧化物等量替代，挥发性有机物两倍削减量替代。以臭氧生成潜势较大的行业企业为重点，推进挥发性有机物源头替代，全面加强无组织排放控制，深入实施精细化治理。大力推进固体废物源头减量化、资源化利用和无害化处置，稳步推进“无废城市”试点建设。本项目为新建项目，生产厂房、化学品库等均为密闭厂房，化学品存于密闭的气瓶、储罐等，基本无无组织排放。生产过程中产生的硫酸废液会用于废水站的废水处理，减少硫酸的使用量及废硫酸的产生量。本项目生产过程产生的一般固体废物收集后交由回收公司处理，危险废物交由具有危险废物处理资质的单位处理。环境风险防控要求逐步构建城市多水源联网供水格局，建立完善突发环境事件应急管理体系。本项目环境风险事故发生概率较低，在落实相关防范措施后，项目生产过程的环境风险总体可控。省级以上工业园区重点管控单元管控单元要求依法开展园区规划环评，严格落实规划环评管理要求，开展环评质量跟踪监测，发布环境管理状况公告，制定并实施园区突发环境事件应急预案，定期开展环境安全隐患排查，提升风险防控及应急处理能力。周边1公里范围内涉及生态保护红线、自然保护地、饮用水水源地等生态环境敏感区域的园区，应优化产业布局，控制开发强度，优先引进无污染或轻污染的产业和项目，防止侵占生态空间。纳污水体水质超标的园区，应实施污水深度处理，新建、改建、扩建项目应实行重点污染物排放数量或减量替代。造纸、电镀、印染、鞣革等专业园区或基地应不断提升工艺水平，提高水回用率，逐步削减污染物排放总量；石化园区加快绿色智能升级改造，强化环保投入和管理，构建高效、清洁、低碳、循环的绿色制造体系。本项目属于集成电路制造行业，不属于造纸、电镀、印染、鞣革等相关建设项目。表3横琴新区重点管控单元要求符合性分析一览表环境管控单元编码单元名称行政区划管控单元分类要素细类省市区ZH44040220016横琴新区重点管控单元广东省珠海市香洲区重点管控单元生态保护红线、一般生态空间、水环境城镇生活污染重点管控区、大气环境布局敏感区重点管控区、大气环境一般管控区管控维度管控要求项目情况是否符合区域布局管控1-1.【产业/鼓励引导类】鼓励发展金融、商务会展、休闲旅游、科技信息等高端服务业。1-2.【生态/禁止类】单元内生态保护红线按照《关于在国土空间规划中统筹划定落实三条控制线的指导意见》严格管控，自然保护地核心区原则上禁止人为活动，其他区域严格禁止开发性、生产性建设活动，在符合现行法律法规前提下，除国家重大战略项目外，仅允许对生态功能不造成破坏的8类有限人为活动。1-3.【生态/综合类】一般生态空间内，可开展生态保护红线内允许的活动；在不影响主导生态功能的前提下，还可开展国家和省规定不纳入环评管理的项目建设，以及生态旅游、畜禽养殖、基础设施建设、村庄建本项目属于集成电路制造行业，本项目不使用溶剂型涂料、固化剂、胶黏剂等原辅材料，本项目新建有机废气的收集、废气处理设施，采用沸石转轮转轮燃烧，可有效降低污染物的排放量及浓度，废气可实现达标排放，符合要求。可有效降低污染物的排放量及浓度，废气可实现达标排放。符合设等人为活动。1-4.【生态/综合类】一般生态空间内的人工商品林，允许依法进行抚育采伐、择伐和树种更新等经营活动。1-5.【生态/综合类】广东横琴国家湿地自然公园（试点）、珠海横琴滨海地方级湿地自然公园，按照自然保护地相关管理要求进行管控。1-6.【大气/限制类】大气环境布局敏感重点管控区内严格落实国家产品VOCs含量限值标准要求，除现阶段确无法实施替代的工序外，禁止新建生产和使用高VOCs含量原辅材料项目。1-7.【大气/鼓励引导类】鼓励在生产和流通消费环节推广使用低VOCs含量原辅材料。1-8.【其他/禁止类】禁止在单元区域内建设畜禽养殖场、养殖小区。能源资源利用2-1.【能源/综合类】新建高能耗项目单位产品（产值）能耗达到国际国内先进水平。2-2.【水资源/限制类】强化水资源开发利用控制、用水效率控制、水功能区限制纳污三条红线刚性约束。项目不在饮用水水源保护区内，不属于水环境优先保护区；本项目通过采用清洗水回用，冷却水循环使用等节水措施，单片排水量满足基准排水量限值要求。符合污染物排放管控3-1.【水/鼓励引导类】新建住宅项目、城中旧村改造、旧工业厂房改造项目要实现管网雨污分流，着力完善配套污水管网建设。3-2.【水/限制类】横琴水质净化厂的尾水均应达到《城镇污水处理厂污染物排放标准（GB18918-2002》确定的一级A类排放标准及广东省《水污染物排放限值》（DB44/26-2001）第二时段一级标准。3-3.【水/鼓励引导类】鼓励在城镇水质净化厂下游采取湿地净化工程等措施，进一步削减污染物入海量。本项目属于集成电路制造行业，厂区内实现雨污分流，生产废水经厂内自建废水处理站处理后市政污水处理厂，排水水质满足污水处理厂的纳管要求。符合环境风险管控4-1.【水/综合类】南区水质净化厂（二期）应采取有效措施，防止事故废水直接排入马骝洲水道。本项目厂区内实现雨污分流，生产废水经厂内自建废水处理站处理后市政污水处理厂，排水水质满足污水处理厂的纳管要求。符合建设一、项目概况本项目新建1条产能3万片/月的12英寸显示驱动芯片生产线。二、建设规模及内容本项目全厂主要建设指标见下表。表4本项目主要建设指标一览表1㎡2㎡3㎡45%6%7辆辆辆8辆9m表5本项目建构筑物建设指标一览表序号称层数14234456舍7站围8库3—15—91库31111111111地下/0//2地下/0//地下/0//0//0//表6本项目组成一览表2F：设置废水处理池、工艺循环冷却水系统、气11冷冻站冷却循环水系统：设置循环冷却水泵及冷却塔，进水1），11），1），站库2统111酸碱废水处理系统：化学中和系统→排放，2套，单套设计处③高浓度含氨废水处理系统:吹脱+硫酸铵吸收④含氨含氟废水处理系统：吹脱+硫酸铵吸收→含氟废水处理生产厂房设置16套风机（12用4备），单台设计排风量支持区易燃易爆特气间：设置2套排风系统，单套排风量为支持区有毒腐蚀性气体间：设置2套排风系统，排风量为），设置6套（4用2备）酸液喷淋处理系统，），），），有机溶剂供应间废气，设置2套活性炭吸附装置，单套处理有机废液收集间废气：设置2套活性炭吸附装置，单套处理硝酸供应间废气：设置2套碱性活性炭吸附装置，单套处理H2O2供应间废气：设置2套活性炭吸附装置，单套处理能力区区间设置3套活性炭吸附装置，处理能力分别为3000m³/h、支持区易燃易爆特气间：设置2套排风系统，单套排风量为12000m³/h，新建2根排气筒，高度26m。事故时，一般排风支持区有毒腐蚀性气体间：设置2套排风系统，排风量为消防事故废水：有效容积为1000m3，用于收集消防废水池位于厂区西应急水池位于动力厂房厂区内设置10各雨水排放口，雨水排放口末端设置紧急切断三、主要设备项目主要设备详见下表。表7主要设备一览表四、主要原辅材料项目主要原辅材料及用量详见下表。表8项目主要原辅材料使用情况一览表本项目生产过程需要用水、用电、压缩空气、天然气等能源，各个生产厂房所需能源消耗情况见下表。表9主要资源、能源动力消耗表五、水平衡分析水量平衡详见“工程分析专题”，本项目用排水量见下表。表10本项目用排水量一览表生产废水排放口排水量（m3/d）生活污水排放口排水量（m3/d）1六、劳动定员及工作制度本项目劳动定员为1500人，其中：操作员400人，工程师1200人，管理人员150人，研发人员150人。全年工作日355天。生产线工人实行四班两运转，每班工作时间12小时。技术、管理人员实行三班三运转，每班工作时间8小时设备运转方式24小时连续运行，年运行时七、厂区平面布置本项目位于广东省珠海市横琴岛西部沿海区域，东至厚朴道，西至琴海西路，北至环岛北路。项目所在厂区北侧隔环岛北路为奥粤合作中医药科技产业园；东侧隔厚朴道为中拉经贸合作园；南侧为空地；西侧隔琴海西路为中海油珠海终端环保公司。本项目地块东西布局，分为生产区及宿舍区。宿舍区位于地块西北侧，其余为生产区。生产区又可分为厂前区、主要生产区、动力辅助区：厂前区：位于地块东北侧。布置有生产管理栋、主出入口。主要生产区：地块中部及东部，中部为1#生产厂房1、2#动力厂房1，为本期生产用房；东部布置4#生产厂房2、5#动力厂房2，为预留厂房，本期不建设。动力辅助区：位于地块西南侧及东南角，西南侧布置有甲乙类库房丙类仓库、危废库、东南角布置硅烷站、大宗特气站等。地块南侧的大宗气站由专业气体供应商建设，不属于本项目建设内容。地理位置图见附图1，项目周边关系图见附图9。平面布置图见附图10。工艺流程和产排污环节集成电路（integratedcircuit）是一种微型电子器件或部件。采用一定的工艺，把一个电路中所需的晶体管、电阻、电容和电感等元件及布线互连一起，制作在一小块或几小块半导体晶片或介质基片上，然后封装在一个管壳内，成为具有所需电路功能的微型结构。完整的集成电路生产包括基底制造、IC设计、晶圆制造、芯片封装等工序。其中晶圆制造又称“前工序”，包括薄膜淀积、图形转移、功能实现等工序；芯片封装又称“后封装”，包括芯片切割、表面贴装、芯片互连、塑封成型、金属沉积等工序。完整的集成电路生产工艺流程见下图。图1集成电路工艺示意图本项目为晶圆制造项目，主要涉及“前工序”的生产工序，不涉及背面减薄及背面金属化工序。即在晶圆片上进行电路图形的生产过程。根据要求在晶圆片表面上行程具有特定功能的器件结构，主要的基础工艺为清洗、薄膜淀积、光刻、刻蚀、离子注入、扩散等，通过基础工艺的循环及工艺顺序和条件的变换，一层一层的叠加加工，形成复杂的多层器件结构。这些工序反复交叉进行，光刻次数几次至几十次，单独工艺步数可达到数百步。晶圆制造可归纳为三个主要步骤。薄膜沉积：在晶片上形成薄膜，薄膜可以是多晶硅、氧化硅、氮化硅、金属（铜、铝等）等，成膜工艺包括：物理气相沉积、化学气相沉积、电化学沉积、热氧化；图形转移：在薄膜上进行图形转移，将光掩膜版上的图形转移到第一步形成的膜上，在薄膜上形成需要的器件图形或线路沟槽。工艺主要包括：光刻、显影、刻蚀等。光刻技术类似于照片的印相技术，晶圆片上的感光材料为光刻胶，光刻掩膜相当于照相底片，一定波长的光线通过这个“底片”在光刻胶上形成与掩膜版图形相反的感光区，然后进行显影、刻蚀等步骤，在光刻胶膜上有的区域被溶解掉，有的区域保留下来，形成了版图图形。功能实现：包括性能改变或结构改变，即改变芯片内载流子的分布从而达到所需的电参数和电性能、金属改性等；或者在刻蚀好的图形上进行器件加工和线路连接，以实现特定功能，工艺包括：扩散、离子注入、化学机械抛光、背面减薄及金属化等。根据产品的实际制程要求，通过在晶圆上按上述步骤一层一层反复进行加工后，可制得项目所需芯片，同时为保证晶片的洁净度，每步基础工序后均需进行清洗。具体工艺分析详见“工程分析专题”。晶圆制造工艺流程见下图：图2本项目工艺流程示意图与项关的原有环境污染无区域环境质量现状一、大气环境（1）基本污染物环境质量现状本项目位于广东省珠海市横琴岛横琴新区，项目地块位于横琴粤澳深度合作区横琴岛西部沿海区域，东至厚朴道，西至琴海西路，北至环岛北路。根据《关于印发<珠海市声环境质量标准适用区划分>和<珠海市环境空气质量功能区划分>的通知》(珠环〔2011〕357号)有关规定，本项目所在区域为二类环境空气功能区，环境空气执行《环境空气质量标准》（GB3095-2012）及其修改单中的二级标准。根据珠海市生态环境局《2021年珠海市环境质量状况》，珠海市环境空气质量主要指标见下表。SO2、NO2、PM10、PM2.5、CO、O3年平均质量浓度达到《环境空气质量标准》（GB3095-2012）及其修改单的二级标准，项目所在珠海市判定为达标区，具体见下表。表112021年珠海市环境空气主要污染物浓度污染物年平均质量浓度现状浓度μg/m³标准值μg/m³%超标率%达标情况SO2年平均质量浓度6600达标NO2年平均质量浓度2240550达标PM10年平均质量浓度3770530达标PM2.5年平均质量浓度2035570达标CO年平均质量浓度8004000200达标O3年平均质量浓度900达标因此，项目所在区域环境空气质量属于达标区。（2）其他污染物环境空气质量现状评价本项目排放的其他污染物包括砷、氟化物、氮氧化物、氯化氢、氯气、硫酸、氨、TVOC等，其他污染物现状数据通过补充监测获得。1）监测因子及监测布点根据《环境影响评价技术导则大气环境》（HJ2.2-2018），以近20年统计的当地主导风向为轴向，在厂址及主导风向下风向5km范围内设置1个监测点。如需在一类区进行补充监测，监测点应设置在不受人为活动影响的区域。为了解项目所在地环境空气质量现状，建设单位委托广东智环创新环境科技有限公司于2022年8月30日~9月5日对项目区域内的其它污染物进行了现状监测。采样点布设见下表，具体布设点位见附图11。表12大气环境质量现状监测点布设一览表编号测点位置相对方位距离监测因子备注Q1横琴科创中心人才公寓东北距本项目约290m砷、氟化物、氮氧化物、氯化氢、氯气、硫酸、氨、TVOC横琴新区主导风向轴向，下风向环境保护目标处2）监测分析方法监测因子：砷、氟化物、氮氧化物、氯化氢、氯气、硫酸、氨、TVOC。监测方法：空气污染物采样及分析方法采用国家规定的方法进行，详见下表。表13空气环境污染物监测分析方法检测类别监测项目分析方法方法来源最低检出浓度环境空气氟化物滤膜采样/氟离子选择HJ955-2018小时：0.5μg/m³日均：0.06μg/m³砷空气和废气颗粒物中金属元素测定HJ657-20130.7ng/m³氮氧化物化学发光法、差分吸收光谱分析法环境空气氮氧化物（一氧化氮和二氧化氮）的测定盐酸萘乙二胺分光光度法HJ479小时：250μg/m³日均：100μg/m³氯化氢离子色谱法环境空气和废气氯化氢的测定HJ549-2016小时：0.02mg/m³氯气甲基橙分光光度法固定污染源排气中氯气的测定HJ/T30-19990.015mg/m³硫酸离子色谱法HJ544-2016小时：0.003mg/m³日均：0.001mg/m³氨次氯酸钠—水杨酸分光光度法环境空气氨的测定HJ534-2009小时：0.004mg/m³TVOC室内空气中总挥发性有机化合物（TVOC）的检验方法（固体吸附/热解吸/气相色谱法）室内空气质量标准GB/T18883-2022附录C3）采样时间与监测频次监测频次：连续监测7日，详见下表。表14监测项目采样频次监测因子监测内容监测频次特征氟化物、砷、氮氧化物、24h浓度值连续7天，每日至少有20h的采样时间HCl、硫酸、Cl2硫酸、Cl2、氨、TVOC小时浓度连续7天，每天采样4个时段，时段分别为02:00、08:00、14:00、20:00。样品的采样时间应不少于45min。监测时期气象条件见下表。表15补充监测期间的气象条件监测日期风向风速（m/s）湿度气温(℃)大气压（kPa）2022.08.30~09.05西南1.0~2.149~86%27.7~33.6100.1~101.34）监测结果与评价根据《环境影响评价技术导则-大气环境》（HJ2.2-2018），环境空气质量现状评价通过计算取值时间最大浓度值占相应标准浓度限值的百分比和超标率来分析其评价达标情况。当取值时间最大浓度值占相应标准浓度限值的百分比大于或等于100%时，表明环境空气质量超标。计算公式如下：P式中：Pi——第i个污染物的监测最大浓度占相应标准浓度限值的百分比，%；Ci——第i个污染物的监测浓度值，mg/m3；C0i——第i个污染物的环境空气质量标准，mg/m3。区域环境空气质量属二类功能区，执行《环境空气质量标准》（GB3095-2012）二级标本项目环境空气质量监测结果及达标情况见下表。表16空气环境质量现状监测及评价结果统计表横琴科创中心人才公寓—26—注：ND表示未检出。由上表可知，氟化物的1小时平均浓度满足《环境空气质量标准》（GB3095-2012）附录A的要求；氮氧化物的1小时平均浓度满足《环境空气质量标准》（GB3095-2012）表2的要求；砷的1小时平均浓度满足《环境空气质量标准》（GB3095-2012）附录A的要求；氯化氢、氯气、硫酸、氨的1小时平均浓度均浓度满足《环境影响评价技术导则大气环境》(HJ2.2–2018)附录D的要求；TVOC的8小时平均浓度满足《环境影响评价技术导则大气环境》(HJ2.2–2018)附录D的要求。综上所述，本项目各污染物均能够满足相应参考标准的浓度限值，表明本项目所在地环境空气质量现状良好。二、地表水环境本项目位于广东省珠海市横琴岛横琴新区，项目地块位于横琴岛西部沿海区域，东至厚朴道，西至琴海西路，北至环岛北路，项目污废水经市政污水处理厂处理后纳入马骝洲水道，根据《广东省近岸海域环境功能区划》（粤府办〔1999〕68号马骝洲水道区域需执行《海水水质标准》（GB3097-1997）第三类标准。为了解项目区域地表水环境质量现状，根据《建设项目环境影响报告表编制技术指南》（污染影响类型）（试行），引用珠海市生态环境局2022年5月24日发布的《2021年珠海市环境质量状况》可知，水环境主要包括地表水、集中式饮用水水源和近岸海水，2021年全市水环境质量稳中向好，地表水考核断面水质优良比例为100%，9个主要集中式饮用水源水质达标率保持为100%。为了了解马骝洲水道水质现状，本项目引用东莞市华溯检测技术有限公司于2022年4月17日至4月19日对马骝洲水道现状水质监测分析的数据（报告编号：HSH20200506001监测点位为W3南区水质净化厂排污口，W4南区水质净化厂排污口下游约1000m处。监测结果汇总如下表所示。表17马骝洲水道水质监测数据（单位：mg/L，注明者除外）监测项目采样位置标准限值涨潮退潮涨潮退潮涨潮退潮pH值（无量W38.338.278.288.328.358.316.88~8.8W48.168.198.108.218.18W38798人为增加的量≤100W4242125202622DOW35.25.35.2>4W45.75.85.75.65.65.7CODMnW3≤4W4BOD5W30.920.870.890.950.850.88≤4W40.780.810.860.740.790.83无机氮W30.380.370.370.390.390.38≤0.40W40.380.380.390.380.380.39石油类W30.01L0.01L0.01L0.01L0.01L0.01L≤0.40W40.01L0.01L0.01L0.01L0.01L0.01L由上表可知，马骝洲水道各监测项目指标均符合《海水水质标准》（GB3097-1997）第三类标准，本项目区域水质环境质量较好。三、声环境根据珠海市生态环境局印发的《珠海市声环境功能区区划》，本项目所在地声环境功能区划属于3类区，执行《声环境质量标准》（GB3096-2008）3类标准。建设单位委托广东智环创新环境科技有限公司于2022年8月31日对本项目环境噪声进行现状监测，昼夜间现状监测结果见下表。表18项目区厂界声环境监测结果编号监测点位名称昼间监测平均值dB（A）夜间监测平均值dB（A）标准值dB（A）达标情况1东厂界6448昼间：≤65夜间：≤55达标2南厂界54463西厂界60484北厂界5345根据噪声监测结果可知，厂界昼间、夜间噪声监测结果满足《声环境质量标准》（GB3096-2008）中3类标准。四、生态环境本项目处于人类活动频繁区，项目区内无原始植被生长和珍贵野生动物活动，植被覆盖率低，区域生态系统敏感程度较低，生态环境质量现状一般。项目用地范围内无生态环境保护目标，无需开展生态现状调查。五、电磁辐射本项目不涉及电磁辐射内容，无需进行电磁辐射现状监测与评价。六、地下水、土壤环境本项目地下水、土壤污染源主要为液体原辅材料泄漏，本项目厂区按照规范和要求对生产车间、化学品库以及危废品仓库等采取有效的防雨、防渗、设置围堰等措施，且本项目建成后对项目所在园区地面进行硬底化，选用可靠的防渗材料及相应的保护层，不存在土壤、地下水污染途径，根据《建设项目环境影响报告表编制技术指南（污染影响类试行）》，可不进行地下水、土壤环境现状监测。环境保护目标本项目周围没有需要特殊保护的重要文物，不设水厂取水口，不属于基本农田保护区范围内，主要环境保护目标是保护好当地的地表水环境、大气环境、声环境。建设单位应采取有效的环保措施，使本项目的运行不会对所在区域的环境质量造成明显不良影响。通过现场调查，本项目环境保护目标情况如下：根据《关于印发<珠海市声环境质量标准适用区划分>和<珠海市环境空气质量功能区划分>的通知》(珠环〔2011〕357号)的要求，本项目所在地的环境空气属于二类功能区，该区域大气环境质量按《环境空气质量标准》（GB3095-2012）及其修改单（生态环境部2018年第29号）二级标准的要求进行保护。建设单位应保护周围地区的环境在本项目建成后不受明显影响，应采取有效措施，控制废气污染物的排放，保护本项目所在地环境空气质量在一定时期内达到《环境空气质量标准》（GB3095-2012）及其修改单中的二级标准要求。本项目设置大气专项评价，评价范围为边长取5km。2、声环境：根据《关于印发<珠海市声环境质量标准适用区划分>和<珠海市环境空气质量功能区划分>的通知》(珠环〔2011〕357号)的规定，本项目所在的区域属3类功能区，声环境保护目标是确保本项目建成后不会对区域声环境质量带来明显的变化，声环境质量符合《声环境质量标准》（GB3096-2008）3类标准。3、地下水环境：项目厂界外500m范围内无地下水集中式饮用水水源和热水、矿泉水、温泉等特殊地下水资源；4、生态环境：本项目周围无生态环境保护目标。环境保护目标详见下表，环境保护目标分布情况见附图12。表19环境保护目标分布情况序号容/m1N22.1302452N22.1299043N22.1350674N22.1241555N22.1435476N22.1336867N22.1208418N22.1564239馆N22.161761N22.164017N22.091152N22.093634N22.118925N22.115938N22.126026N22.140100N22.154518心N22.166219N22.160241湾N22.160539N22.143567N22.133535N22二类横琴N22二类店N22二类店N22二类污染物排放控制标准一、大气污染物排放标准1、工艺废气生产废气中的颗粒物、氯化氢、氮氧化物、硫酸雾、氟化物、氯气、砷及其化合物执行广东省地方标准《大气污染物排放限值》（DB44/27-2001）表2第二时段中的排放限值；VOCs参考广东省地方标准《家具制造行业挥发性有机化合物排放标准》（DB44/814-2010）中的排放限值；氨满足《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）中的排放标准值，磷化氢、磷酸雾参考执行上海市《大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2015）的排放限值，具体标准见下表。表20大气污染物排放标准序号值(mg/m3)1广东省地方标准《大气23456789氨/2恶臭污染物排放标准/（DB31/933—2015）/2燃气锅炉废气本项目拟设燃气锅炉供热，根据《广东省生态环境厅关于2021年工业炉窑、锅炉综合整治重点工作的通知》（粤环函[2021]461号）中“四严收燃气锅炉大气污染物排放标准”的相关要求及珠海市相关要求，本项目氮氧化物执行广东省地方标准《锅炉大气污染物排放标准》（DB44765-2019）表3大气污染物特别排放限值，其他污染物执行锅炉污染物排放执行）表2新建锅炉大气污染物排放浓度限值。表21《锅炉大气污染物排放标准》（DB44765-2019）污染物项目燃气锅炉限值污染物排放监控位置颗粒物20烟囱或烟道二氧化硫50氮氧化物*50烟气黑度（格林曼黑度，级）≤1烟囱排放口注：本项目新建排气筒周边200m半径范围内最高建筑为生产管理栋（41.4m），锅炉排气筒高度为44.4m，排气筒高度满足《锅炉大气污染物排放标准》（DB44765-2019）中“新建锅炉房的烟囱周围半径200m距离内有建筑物时，其烟囱应高出最高建筑物3m以上”的要求。3食堂油烟本项目设置约20个基准灶头，根据《饮食业油烟排放标准(试行)》（GB18483-2001）表1饮食业单位的规模划分，属于大型规，食堂油烟排放执行《饮食业油烟排放标准(试行)》（GB18483-2001）表2饮食业单位的油烟最高允许排放浓度和油烟净化设施最低去除效率中的大型规模标准，即油烟最高允许排放浓度为2.0mg/m³,净化设施最低去除效率85%。表22本项目食堂油烟污染物排放标准序号污染物名称最高允许排放浓度（mg/m3）标准来源1油烟2.0《饮食业油烟排放标准（试行）》（GB18483-2001）大型规模排放标准二、水污染物排放标准本项目废水经厂内自建污水站处理后排入市政污水处理厂。本项目废水拟排入横琴水质净化厂，横琴水质净化厂预计2024年底建成运行，本项目2024年8月试生产，因此在横琴水质净化厂投运前，依据园区市政管网规划情况，本项目计划于2024年12月底前废水排入珠海城市排水公司南区水质净化厂，待横琴水质净化厂建成投运后，厂内工业污水再转排至横琴水质净化厂。2020年颁布的《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）部分指标严格于广东省《水污染物排放限值》（DB44/26-2001），因此本项目废水排放执行《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）表1的间接排放限值，《电子工业水污染物排放标准》未规定的BOD、动植物油执行广东省《水污染物排放限值》（DB44/26-2001）第二时段三级标准。同时需满足横琴水质净化厂、南区水质净化厂二期的纳管标准要求。具体指标见下表。表23水污染物综合排放标准物排放标准》（GBpH纲 —— 5（LAS） —33—三、噪声排放标准1施工期表24《建筑施工场界环境噪声排放标准》（GB12523-2011单位：dB（A昼间夜间70552营运期3类标准标准值见下表。表25《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GBl2348-2008）厂界外声环境功能区类别昼间夜间365dB（A）55dB（A）四、固体废物执行《中华人民共和国固体废物污染环境防治法》（2020年4月29日修订）中有关规一般工业固废的贮存、处置执行《一般工业固体废物贮存、处置场污染控制标准》（GB18599-2020）中的有关规定。危险废物的贮存、处置执行《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2001）（2013年6月8日修订）中的规定。总量控制指标一、污染物排放总量控制原则根据《国务院关于印发“十三五”节能减排综合工作方案的通知》（国发[2016]74号确定“十三五”各地区化学需氧量（CODcr）、氨氮（NH3-N）、二氧化硫（SO2）、氮氧化物（NOx）和重点行业、重点区域挥发性有机物（VOCs）排放总量进行控制。二、建设项目污染物排放总量核算与申请1、水污染物排放总量控制指标本项目排放污染物因子中，纳入区域总量控制要求和建议的主要废水污染物为化学需氧量（CODcr）、氨氮（NH3-N）。本项目生产废水排放量为4976m3/d，年运行355天，废水排放总量为1766480m3/a。本项目的化学需氧量（CODcr）、氨氮（NH3-N）按《城镇污水处理厂污染物排放标准》（GB18918-2002）一级A标准以及广东省地方标准《水污染排放限值》（DB4426－2001）第二时段一级标准中较严值，即CODcr的排放浓度为40mg/L，NH3-N的平均排放浓度为5mg/L，则本项目经污水厂处理后，CODcr的排放量约为70.66t/a，NH3-N的排放量约为8.83t/a。2、大气污染物排放总量控制指标本项目排放污染物因子中，纳入区域总量控制要求和建议的主要为废气中的二氧化硫（SO2）、氮氧化物（NOx）、烟粉尘（颗粒物）和挥发性有机物（VOCs）、砷及其化合物。根据《关于进一步加强重金属污染防控的意见》（环固体〔2022〕17号）本项目属于集成电路制造行业，为非重点行业，因此砷及其化合物不需要申请总量。3、固体废物排放总量控制指标本项目固体废物不自行处理排放，所以不设置固体废物总量控制指标。具体核算过程参见工程分析专项，本项目污染物排放总量见下表。表26项目主要污染物排放总量一览表总量控制因子主要污染物排放总量（t/a）本项目是否需要总量控制指标CODcr70.66是NH3-N8.83是烟粉尘（颗粒物）是NOx是SO2是挥发性有机物37.38是砷及其化合物0.0030否施工期环境保护措施1施工期大气环境保护对策本项目施工期间的大气污染源主要为施工扬尘。为减少本项目在施工期间对环境空气的影响，在施工过程中加强内部管理，健全环境管理制度，采用先进的生产工艺和治理技术，落实施工场地的抑尘措施，防止和减少工地周边的扬尘污染。按照《珠海市防治扬尘污染管理办法》中防治扬尘污染的具体措施执行，主要有：1）易产生扬尘的土方工程施工时，应当采取洒水抑尘措施。2）气象预报风速达到5级时，易产生扬尘的工程应当停止施工。装卸建筑散体材料或者在施工现场粉尘飞扬的区域，应当采取遮挡围蔽、喷水降尘等措施；裸地停车场应当采取洒水抑尘措施。3）作业现场各类废弃物、建筑垃圾要做到当天清理；工程渣土需要临时存放的，应当采用覆盖措施。4）拆除工程完工后30日内不能开工的建设用地，建设单位应当采取覆盖、地面硬化、简易绿化措施。5）加强施工期间运输扬尘污染的控制。施工车辆出入施工现场必须采取措施防止泥土带出现场，避免污染周边道路环境，施工场地应配备车轮洗刷设备或在离开施工场地时用软管冲洗；运送易产生扬尘物质的车辆应实行密闭运输，避免在运输过程中产生扬尘或泄漏；对区内的运输道路定期洒水，来往于各施工场地的卡车上的多尘物料均应用帆布覆盖；选择对周围环境影响较小的运输路线：应限制施工区内运输车辆的速度，将卡车在施工场地的车速控制在10km/h，推土机的推土速度控制在8km/h内。6）在施工工地周边100%围挡、工地砂土100%覆盖、出入车辆100%冲洗、施工现场地面100%硬化、土方开挖100%湿法作业、渣土车辆100%密闭运输。采取以上措施后，可有效地降低扬尘，对环境空气质量影响较小。2施工期水环境保护对策施工建设期的正常排水及雨天产生的地面径流，将携带大量污染物和悬浮固体，随意排放将对环境造成污染。建议建设单位督促施工单位在施工中重视这一问题，并采取下列措施：（1）尽量减少物料流失、散落和溢流现象，减少废水产生量；（2）施工期生活污水不得以渗坑、渗井或漫流方式排放；（3）建造集水池、沉砂池、排水沟等水处理构筑物，对工地废水进行处理；（4）建造简易化粪池等必要的污水处理设施，对工地生活污水加以处理；（5）散料堆场四周用石块或水泥砌块围出高0.5m的防冲墙，防止散料被雨水冲刷流失（6）生活污水和施工废水定期清掏。3地下水质影响分析及防护措施本项目施工期的施工废水和生活污水如处理不当，会发生渗漏，会使包气带土壤和地下水水质受到污染。本项目拟采取的地下水防护措施有：1）施工临时办公区生活污水集中收集处理，不会对地下水水质产生影响；2）项目产生的污水严禁渗坑、渗井或漫流方式排放；3）施工产生的泥浆污水和地表径流污水在收集后经临时沉沙池处理；4）机械设备冷却与冲洗污水需要在现场设置隔油隔渣沉淀池，施工场地设置的沉淀池、隔油池、化粪池等池体进行重点防渗处理，下水管线设置过滤网，对池体均采用防腐钢筋混凝土结构，混凝土中添加适当外加剂，增强抗渗、抗裂能力，适当延长伸缩缝间距，基础防渗层采用2mm厚高密度聚乙烯或至少2mm厚的其他人工材料，保证渗透系数≤10-10cm/s；5）施工基坑严格管理，做好防渗防漏处理，以防污染土壤和地下水环境，基坑肥槽回填须按相关规范、标准的规定进行施工和质量检验，不用弱透水性材料回填密实，防止降雨、地表污水入渗；6）尽量避免雨季施工，缩短工期，使用干化速度快的混凝土产品，在建筑物料中不能添加有毒有害添加剂。在挖掘现场设截断槽，以防止雨水从暴露的土壤表面流出。本项目施工期在采取上述措施后，不会对地下水环境产生影响。4施工期声环境保护对策施工期的噪声影响是短期的、项目建成后，施工期噪声的影响也就此结束。但是由于施工机械均为强噪声源，施工期间噪声影响范围较大，因此必须采取以下措施，严格管理。（1）合理安排高噪声施工作业的时间，每天22点至次日凌晨6点禁止高噪声机械作业，并减少用哨音调度指挥，尽可能减少对周围地区的影响。严格控制产生环境噪声污染的建筑施工作业噪声，如需夜间施工必须另行申请并取得有关环保部门的批准。（2）严格执行《建筑施工场界环境噪声排放标准》（GB12523-2011噪声限值见下表。表27建筑施工场界环境噪声排放限值单位:dB(A)昼间夜间7055（3）工地周围设立围护屏障，同时电可在高噪声设备附近加设可移动的简易隔声屏，尽可能减少设备噪声对环境的影响。（4）在工地布置时应考虑搅拌机等高噪声设备安置在离敏感点相对较远的一侧，运输车辆的进出口也建议安排在该侧，并规定进、出路线，使行驶道路保持平坦，减少车辆的颠簸噪声和产生振动。（5）加强施工区附近交通管理，避免交通堵塞而增加的车辆鸣号。（6）施工单位应按照相关法律法规的要求做好施工期噪声污染的防治工作，尽可能降低项目施工噪声对周围环境的影响，必须合理安排施工时间并采取相应的防治措施。5施工期固体废物环境保护对策项目在施工期间，将产生一定的建筑垃圾、工程渣土等。①施工现场工程渣土集中堆放，100%采取覆盖措施；不需要的及时委托有资质的单位将运至指定的受纳地点。②建设工程竣工后，施工单位应当将工地的剩余建筑垃圾、工程渣土处理干净。③建筑垃圾、工程渣土分类堆放，临时储运场地四周应当设置1米以上且不低于堆土高度的遮挡围栏，并有防尘、灭蝇和防污水外流等防污染措施。④有回收利用价值的应加以回收利用。⑤生活垃圾集中收集，委托环卫部门统一清运。6小结本项目施工期应加强对施工现场的管理，在采取有效的防护措施后，可最大限度地降低施工期间对周围环境的影响。运营期环境影响和保护措施4废气环境影响和保护措施本项目产生的废气主要有一般废气排风、酸性废气、碱性废气、有机废气、含砷废气、锅炉废气、食堂废气、化学品供应间废气。其中，一般废气排风直接经屋顶排气筒排放；酸性废气经碱液喷淋塔处理系统进行处理后，经46.4m排气筒排放；碱性废气经酸液喷淋塔处理系统进行处理后，经46.4m排气筒排放；有机废气经沸石浓缩转轮焚烧系统处理后，经46.4m排气筒排放；含砷废气经干式吸附处理后，经46.4m排气筒排放；其他工艺尾气经燃烧+水洗式等POU净化装置处理后产生的尾气汇入酸性废气处理系统处理后，最终经46.4m排气筒排放；每台锅炉设置超低氮燃烧器，锅炉废气达标后经每台锅炉设置的排气筒经44.4m排气筒排放，食堂油烟经油烟净化器处理后，经23m排气筒排放；化学品供应间废气经活性炭处理后，经26m排气筒排放。本项目废气产排污环节、类别、污染物种类、污染物产生浓度和产生量、治理措施、废水排放量、污染物排放情况等详见工程分析专项。本项目生产废气分类收集，处理后排入大气，采用湿法废气处理工艺产生的废水排入废水处理系统，各类废气及处理系统见图3，各工艺产生的废气收集系统见图4。图3本项目生产废气处理系统相关联图图4本项目生产废气收集系统示意图1酸性废气处理系统（1）酸性废气处理系统简介酸性废气处理包括其他酸性废气和工艺尾气两部分。主要来源于清洗工序。主要污染物为氟化物、氯化氢、NOx、硫酸雾、磷酸等。b）G1-2其它工艺尾气主要来源于热氧化、CVD、光刻中曝光以及干法刻蚀工序，主要污染物为氟化物、氯化氢、NOx、氯气、NH3、磷化氢、硅烷等。本项目工艺尾气经电热水洗/等离子水洗/燃烧水洗式POU装置（本地处理系统）处理，处理后与酸性废气排入酸性废气处理系统处理后，经酸性废气排气筒排放。酸性废气处理系统主要由废气洗涤塔、排风机、排气管和加药系统等组成。废气先由排气管道输入废气洗涤塔，吸收液为氢氧化钠溶液，碱液经回圈喷洒而下，利用氢氧化钠溶液作吸收液净化酸雾废气。酸性废气处理流程如下图所示。图5酸性废气处理流程图本项目新建酸性废气处理设施如下表。表28新建酸性废气处理设施简况废气种类处理设施数量单套处理能力（m3/h）是否满足处理要求酸性废气处理系统碱液洗涤塔14套（12用2备）120000是（2）POU净化装置简介本项目其他工艺尾气的POU净化装置主要采用电热水洗/燃烧水洗/等离子水洗式POU装置处理三种处理方式，具体如下表所示。表29其他工艺尾气处理措施一览表工作原理：通过天然气、纯氧/压缩空气燃烧或电加热方式，在反应腔内产生800~1400℃的高温。使有害气体在其中充分燃烧/分解，产生固体物质或可溶于水的气体，再由水洗吸收，废气排入酸性废气处理系统，废水排入含氟/酸碱废水处理系统处理。根据燃烧处理物质的不同，设置不同的反应温度，纯氧燃烧温度一般位于1200~1400℃,压缩空气燃烧温度一般位于800~1200℃。本项目电热水洗/等离子水洗式POU装置涉及的主要化学反应式如下：表30其他工艺尾气处理过程一览表（3）技术可行性分析本项目使用《排污许可证申请与核发技术规范电子工业》（HJ855-2017）中规定的“碱液喷淋洗涤吸收法”处理刻蚀、酸洗等产生的酸性废气，属于可行技术。2碱性废气处理系统（1）碱性废气处理系统简介碱性废气主要来源于光刻工序中的显影、湿法刻蚀等，主要污染物为氨气。本项目生产厂房为洁净厂房，设备机台与废气管道连接，产生的废气能全部收集进入碱性废气处理系统。碱性废气处理系统主要由废气洗涤塔、通风机、排气管和加药系统等组成。废气先由排气管道输入废气洗涤塔，酸液经回圈喷洒而下，形成雾状，含碱废气经废气洗涤塔处理，利用硫酸溶液作中和吸收液净化含碱废气。碱性废气处理流程见下图。图6碱性废气处理流程图项目新建酸液洗涤塔对碱性废气进行处理，处理后由碱性废气排气筒排放，本项目新建碱性废气处理设施如下表。表31新建碱性废气处理设施简况废气种类处理设施数量单套处理能力（m3/h）是否满足处理要求碱性废气处理系统酸液洗涤塔6套（4用2备）70000是（2）技术可行性分析工艺碱性废气主要污染物为氨，采用硫酸进行喷淋，处理过程发生如下反应：2NH3+H2SO4→（NH4）2SO4本项目使用《排污许可证申请与核发技术规范电子工业》（HJ855-2017）中规定的“酸液喷淋洗涤吸收法”处理显影、碱洗等产生的碱性废气，属于可行技术。3有机废气处理系统（1）有机废气处理系统介绍本项目有机废气主要来源于光刻工序中的涂胶、曝光后烘焙、有机洗、坚膜、去胶、湿法刻蚀工段以及化学机械抛光干燥洗等过程，主要污染物为VOCs。项目车间为洁净厂房，项目机台与废气管道连接，产生的废气能全部收集进入有机废气处理系统，项目拟设置沸石浓缩转轮焚烧系统对有机废气进行处理。有机废气处理系统主要由风机、内装沸石的转轮、热交换器和浓缩气体燃烧器等组成。转轮由一组电机带动旋转，通过机械变换，使转速控制在每小时5-6转，整个系统通过吸附—解析—冷却三个过程，周而复始，动态循环。低浓度废气通过沸石吸附、解吸后进入燃烧器燃烧后排放。本项目拟设置沸石浓缩转轮焚烧系统对有机废气进行处理，处理后排气筒排放。本项目新建碱性废气处理设施如下表。表32新建有机废气处理设施简况废气种类处理设施数量单套处理能力（m3/h）是否满足处理要求有机废气处理系统沸石转轮+焚烧塔6套（4用2备）100000是沸石转轮工作原理：含VOCs废气进入沸石转轮，VOCs大部份被转轮上的沸石吸附，吸附后的废气排入废气排气筒。被沸石吸附的大部分VOCs气体则进入再生区(RegenerationZone)，在此区完成脱附再生，该过程主要是利用高温空气将沸石加以脱附(Desorption)再生。经过再生后，沸石吸附的废气经脱附而成为高浓度的VOCs废气。这部分高浓度的VOCs废气进入燃烧器，以直热式(燃气式)焚化的方式，将有机组份转化为无害的CO2和水，以达到去除VOCs的目的。本项目有机废气沸石浓缩转轮处理流程见下图。图7有机废气处理流程图（2）技术可行性分析本项目使用《排污许可证申请与核发技术规范电子工业》（HJ855-2017）中规定的“燃烧法”（沸石浓缩转轮焚烧）处理涂胶、前烘、有机洗等产生的有机废气，属于可行技术。4含砷废气处理系统本项目含砷废气主要来源于离子注入工序，主要污染物为砷化氢、磷化氢等，先排入干式吸附POU净化装置（PointOfUse装置）处理，处理后再排入含砷废气处理装置（高效过