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文档简介
严格耦合波算法(RCWA)rigorouscoupled-waveanalysis2023最新整理收集do
something应用及优点最初用于研究表面周期结构光栅的透射、反射和衍射问题。演化到计算由周期性排列人工谐振单元构成的特异材料的宏观电磁响应算法本身是固有稳定的,有较高的计算效率,当增加平面波展开数目时会快速收敛算法介绍TE波沿x向展开傅立叶级数Vol.12,No.5/May1995/J.Opt.Soc.Am.A在光栅区即0<z<d
磁场和电场应满足麦克斯韦方程简化
可设上述二阶线性微分方程的假设解为
是特征向量矩阵W的对应元素,对应特征值的正平方根利用边界条件求解未知数在光栅表面
z<0处0<z<d在z=0的边界上电场切向连续
=>联立同样联立在界面z=d上电场切向分量连续,可得由边界条件组成的方程组可解得进而得到光栅的反射,透射电场、磁场增强传输矩阵方法
enhancedtransmittancematrixapproach在计算多层结构的传输矩阵时由于在多层介质中可能存在倏逝场导致矩阵元趋近于0,从而在求逆过程中出现极大的数值,在数值计算过程中电脑的存储精度限制导致计算的精度下降和不稳定性出现,增强传输矩阵方法用于解决这一问题TE分量如图,给出介质表面,每层介质中及透射波电场其中J.Opt.Soc.Am.A/Vol.12,No.5/May1995在每层界面上分析边界条件(1)Z=0(2)在层与层即z=(3)在最后一层边界即z=将以上各式逐层迭代得到传输矩阵为一个很大的正值,导致快速衰减而趋近于零
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