NiTi薄膜的制备与性能研究的开题报告

太阳电池用SiN/a-Si/poly-Si/NiTi薄膜的制备与性能研究的开题报告一、选题背景及意义太阳能电池以其环保能源、可再生能源等特点受到了广泛的关注，目前主要有单晶硅太阳能电池和多晶硅太阳能电池等。但是传统材料成本高、制作工艺复杂等问题亟待解决。因此，研究新型太阳能电池材料及制备工艺有重要的现实意义。本研究拟采用SiN/a-Si/poly-Si/NiTi薄膜，将其作为太阳能电池的光学吸收层以及P型导电层，研究其在太阳能电池中的应用效果。希望通过本研究，提高太阳能电池的转换效率，以应对可再生能源的需求，解决能源短缺与环境污染带来的挑战。二、研究内容1、制备SiN/a-Si/poly-Si/NiTi薄膜的生长工艺和工艺参数控制。2、对制备的SiN/a-Si/poly-Si/NiTi薄膜进行表征，包括结构、形貌等性质。3、设计太阳能电池器件，并采用所制备的SiN/a-Si/poly-Si/NiTi薄膜来制作光学吸收层以及P型导电层。4、测试太阳能电池的转换效率，并分析其性能特点。5、分析制备SiN/a-Si/poly-Si/NiTi薄膜的工艺优缺点，并提出改进建议。三、研究方法1、采用物理气相沉积（PVD）技术，制备SiN/a-Si/poly-Si/NiTi薄膜。2、采用X射线衍射法（XRD）、扫描电镜（SEM）等手段，对所制备的SiN/a-Si/poly-Si/NiTi薄膜进行表征。3、在已有的太阳能电池制备工艺基础上，设计太阳能电池器件，并采用所制备的SiN/a-Si/poly-Si/NiTi薄膜来制作光学吸收层以及P型导电层。4、使用太阳能模拟器测试太阳能电池的转换效率，并对其进行性能优化与分析。5、结合实验结果，分析SiN/a-Si/poly-Si/NiTi薄膜材料制备中存在的问题，并提出改进意见。四、预期结果1、获得制备SiN/a-Si/poly-Si/NiTi薄膜的生长工艺和工艺参数控制。2、对SiN/a-Si/poly-Si/NiTi薄膜进行表征，包括结构、形貌等性质。3、成功设计太阳能电池器件，并采用所制备的SiN/a-Si/poly-Si/NiTi薄膜来制作光学吸收层以及P型导电层。4、测试太阳能电池的转换效率，分析其性能特点。5、分析制备SiN/a-Si/poly-Si/NiTi薄膜的工艺优缺点，并提出改进建议。五、参考文献1、M.E.Mera-Adasme,R.Escobar-Galindo,A.Santana-Solano,V.Hernandez-Silva,“EffectofnitrogenflowrateduringSiNx:Hgrowthbyplasmaenhancedchemicalvapordepositiononthepassivationperformanceofmono-andmulticrystallinesiliconsolarcells,”MaterialsScienceinSemiconductorProcessing,vol.80,pp.78–84,2018.2、J.Solis,M.Garcia-Ramirez,P.S.Figueroa-Gutiérrez,A.Dobrynin,“SiNxlayerspreparedbyplasma-enhancedatomiclayerdepositionforsiliconsolarcells,”SolarEnergyMaterialsandSolarCells,vol.206,p.110275,2020.3、D.G.Iyamu,G.J.O.Oduselu,“TheeffectofnitrogengasflowrateontheopticalandelectricalpropertiesofsiliconnitridethinfilmdepositedbyPN-CVD,”JournalofMaterialsScience:MaterialsinElectronics,vol.29,no.21,pp.18217–18224,2018.4、Z.Fu,L.Zeng,L.Chen,H.Huang,G.Zou,W.Liu,“Preparationofpoly-Sithinfilmb