GB 51392-2019 发光二极管生产工艺设备安装工程施工及质量验收标准

专用

人人文库

中华人民共和国国家标准

发光二极管生产工艺设备安装工程

施工及质量验收标准

Standardforconstructionandqualityacceptanceoflight

emittingdiodemanufacturingequipmentinstallationengineering

GB51392-2019专用

主编部门中华人民共和国工业和信息化部

:

批准部门中华人民共和国住房和城乡建设部

:

施行日期年月日

:202041

人人文库

中国计划出版社

2019北京

中华人民共和国国家标准

发光二极管生产工艺设备安装工程

施工及质量验收标准专用

GB51392-2019

☆

中国计划出版社出版发行

网址

:

地址北京市西城区木樨地北里甲号国宏大厦座层

:11C3

邮政编码电话发行部

:100038:(010)63906433()

北京市科星印刷有限责任公司印刷

印张千字

850mm×1168mm1/32249

年月第版年月第次印刷

20191012019101

☆

统一书号

人人文库:155182·0508

定价元

:12.00

版权所有侵权必究

侵权举报电话

:(010)63906404

如有印装质量问题请寄本社出版部调换

,

中华人民共和国住房和城乡建设部公告

2019年第254号

住房和城乡建设部关于发布国家标准

发光二极管生产工艺设备安装工程施工

《

及质量验收标准的公告

》专用

现批准发光二极管生产工艺设备安装工程施工及质量验收

《

标准为国家标准编号为自年月日

》,GB51392—2019,202041

起实施其中第条款为强制

。,4.4.7(3)、6.0.7(4)、6.0.17(3)()

性条文必须严格执行

,。

本标准在住房和城乡建设部门户网站

()

公开并由住房和城乡建设部标准定额研究所组织中国计划出版

,

社出版发行

。

人人文库中华人民共和国住房和城乡建设部

2019年9月25日

前言

根据住房和城乡建设部关于印发年工程建设标准规

《<2012

范制订修订计划的通知建标号的要求由工业和信

、>》(〔2012〕5),

息化部电子工业标准化研究院中国电子系统工程第四建设有限

、

公司会同有关单位共同编制而成

。

本标准在编制过程中编制组走访了国内有关二极管生产工

,

艺设备的研发和生产单位收集了有关二极管生产工艺设备的搬

,

运运输安装调试和工程验收要求的资料在总结国内实践经

、、、,

验吸收近年来的科研成果借鉴国外符合我国国情的先进经验的

、、专用

基础上广泛征求了国内有关设计生产研究等单位的意见最后

,、、,

经审查定稿

。

本标准的主要技术内容是总则术语基本规定施工准备

:、、、、

设备安装单机试运转工程验收等

、、。

本标准中以黑体字标志的条文为强制性条文必须严格执行

,。

本标准由住房和城乡建设部负责管理和对强制性条文的解

释由工业和信息化部负责日常管理由中国电子系统工程第四建

,,

设有限公司负责具体技术内容的解释本标准在执行过程中请

。,

各单位注意总结经验积累资料如发现需要修改或补充之处请

,,,

将有关意见建议和相关资料寄至中国电子系统工程第四建设有

、

限公司地人人文库址北京市丰台区南四环西路号邮编以

(:188,:100070),

供今后修订时参考

。

本标准主编单位工业和信息化部电子工业标准化研究院

:

中国电子系统工程第四建设有限公司

本标准参编单位信息产业电子第十一设计研究院科技

:

工程股份有限公司

·1·

中国电子科技集团公司第二研究所

住房和城乡建设部标准定额研究所

中微半导体设备上海有限公司

()

华延芯光北京科技有限公司

()

中国电子科技集团公司第四十五研究所

本标准主要起草人员万铜良杜宝强薛长立毕敏娜

:

范双怀江诗兵丁长勇程航

董学鑫穆文涛石小琰樊小林

邵森吕广浩许卫王云静

卢宝国张少梅郑秉孝朱纮文

晁宇晴朱班孙辉杨晓静

本标准主要审查人员李强周启彤张素伟罗桥

:

潘汝奇黄群骥黄海星高鹏

专用

李端林洪峰

人人文库

·2·

目次

总则…………………

1(1)

术语…………………

2(2)

基本规定…………………

3(3)

施工准备…………………

4(4)

安装前的储存……………

4.1(4)

施工条件及准备…………

4.2(4)

设备开箱………………

4.3(6)

设备搬运………………

4.4专用(6)

设备安装…………………

5(9)

一般规定………………

5.1(9)

外延设备安装……………

5.2(9)

芯片制作设备安装………

5.3(10)

芯片封装设备安装………

5.4(12)

测试设备安装……………

5.5(13)

二次配管配线……………

5.6(13)

质量检验………………

5.7(15)

单机试运转………………

6(18)

工程验收…………………

7人人文库(26)

一般规定………………

7.1(26)

交接验收………………

7.2(26)

竣工验收………………

7.3(27)

验收不合格处置…………

7.4(27)

附录发光二极管基本生产工艺流程……

A(28)

附录验收记录表…………

B(30)

·1·

本标准用词说明………………

(38)

引用标准名录…………………

(39)

附条文说明…………………

:(41)

专用

人人文库

·2·

Contents

………

1Generalprovisions(1)

……………………

2Terms(2)

………

3Basicrequirements(3)

………………

4Constructionpreparation(4)

………………

4.1Storagebeforeinstallation(4)

…

4.2Constructionconditionandpreparation(4)

……

4.3Equipmentunpacking(6)

………………

4.4Equipmenttransportation专用(6)

………

5Installationofprocessequipment(9)

……

5.1Generalrequirements(9)

………

5.2Installationofepitaxialequipment(9)

…

5.3Installationofchipfabricationequipment(10)

…

5.4Installationofchippackagingequipment(12)

……………

5.5Installationoftestequipment(13)

……………

5.6Secondarypipingandwiring(13)

………

5.7Qualityinspection(15)

……

6Testrunforstand-aloneequipment(18)

………

7Projectacceptance(26)

人人文库……

7.1Generalrequirements(26)

……

7.2Handoveracceptance(26)

…………………

7.3Completionacceptance(27)

……………

7.4Managementofdeviationlist(27)

AppendixABasicmanufactureprocessflowforlight

………………

emittingdiode(28)

·3·

……………

AppendixBAcceptancerecord(30)

…

Explanationofwordinginthisstandard(38)

……

Listofquotedstandards(39)

………

Addition:Explanationofprovisions(41)

专用

人人文库

·4·

1总则

1.0.1为规范发光二极管生产工艺设备的安装工程施工及质量

验收确保发光二极管生产设备安装质量和可靠运行促进该领域

,,

设备安装技术的发展制定本标准

,。

1.0.2本标准适用于发光二极管生产工艺设备的储存施工准

、

备安装工程施工单机试运转及工程验收

、、。

1.0.3发光二极管生产工艺设备安装工程的施工及验收除应符

合本标准外尚应符合国家现行有关标准的规定

,专用。

人人文库

·1·

2术语

2.0.1发光二极管

lightemittingdiode(LED)

一种能够将电能转化为可见光的固态半导体器件

。

2.0.2外延

epitaxy

在单晶衬底基片上生长一层或多层有一定要求的与衬底

()、

晶向相同或相似的单晶层的生长技术

。

2.0.3二次配管配线

hook-up

生产厂房中一次管线系统至生产设备接口之间的连接管线

。

2.0.4金属有机物化学气相沉积

metal-or专用ganicchemicalva-

pordeposition(MOCVD)

以族族元素的金属有机化合物和族元素的氢化物

Ⅲ、ⅡⅤ、Ⅵ

等作为晶体生长源材料以热分解反应方式在衬底上进行气相外

,

延生长各种族族化合物半导体及其多元薄层单晶材

,Ⅲ-Ⅴ、Ⅱ-Ⅵ

料的工艺过程

。

2.0.5气垫法

aircushionprocess

利用气垫单元托起重物并利用气垫单元与地面之间的流动空

气层来降低摩擦阻力以便搬运的方法

。

2.0.6主控项目

maincontrolitems

本标准指对安全节能环境保护主要使用功能等起决定性

、、、

作用的检验人人文库项目

。

2.0.7一般项目

generalcontrolitems

本标准指主控项目之外的其他项目

。

·2·

3基本规定

3.0.1施工单位应按设计文件设备安装指南或安装说明书的规

、

定内容进行安装施工需要设计变更时应经原设计单位的确认

;,、

签证并应得到建设单位的同意

,。

3.0.2在洁净区域不宜进行有水及产尘作业无法避免时应采取

,

防护措施作业结束时应及时清理施工现场

,。

3.0.3在洁净区域施工时应采取保证材料设备及施工现场清

,、

洁的措施

。

3.0.4施工前应根据项目生产工艺流程及特点对工艺设备安装

专用

进行技术交底并制定施工方案基本生产工艺流程可按本标准附

。

录执行

A。

3.0.5设备安装前应复查基础外形尺寸坐标位置标高平整

、、、

度并应符合设计及设备安装要求

,。

3.0.6在室内堆放的施工材料设备及物品应整齐有序并应进

、,

行标识和记录重量不得超过楼板的荷载

,。

3.0.7施工所使用的各种检验检测的仪器仪表应在有效期内

、。

3.0.8各专业的隐蔽工程施工结束前应检查和清理施工余料和

,

杂物隐蔽前应经建设单位或监理人员的验收及认可签证检验合

,,

格后方可进行封闭并应有现场施工记录和相应影像资料

,。

3.0.9在人人文库施工过程中或工程竣工验收前应做好设备材料及装

,、

置的成品保护

。

3.0.10施工中各工序应按本标准进行随工检验和交接验收并

,

应形成书面记录上道工序未经检验合格不得进行下道工序

;,

施工

。

·3·

4施工准备

4.1安装前的储存

4.1.1开箱前的生产设备宜放置在专门的仓库中储存储存环境

,

应干燥通风并应便于搬运暂时存放在露天的生产设备宜垫高

、,;,

并应采取防火防潮防雨措施

、、。

4.1.2曝光机等生产设备应按设备的储存要求进行

、MOCVD

储存

。

4.1.3设备储存应有专人管理建立岗位责任制

、。

4.1.4进场的生产设备应及时登记建立台账生产设备应挂上

,专用。

标牌贴上标识注明设备的名称规格型号入库日期等信息

、,、、。

4.1.5现场材料保管应有专人负责现场材料存放环境应防火

。、

防雨防潮防损坏对于易燃易爆有毒有害危险品应有专门

、、。、、、

库房存放并应制定安全操作规程

,。

4.1.6设备包装开箱应及时按原装箱单清点当装有震动感应器

,

及倾斜感应器时应记录是否完好

,。

4.2施工条件及准备

4.2.1工程所用材料应符合下列规定

:

1应符合设计要求

人人文库;

2应有产品合格证

:

3进场应检验并应做记录

,。

4.2.2工程所用材料设备和装置的装运方式及储存环境应符合

、

说明书的规定

。

4.2.3设备材料中转库内应保持干燥通风并应便于运输

、、,。

4.2.4厂房内应具备设备安装所需的动力照明排风等条件接

、、,

·4·

地系统设施应通过测试合格

。

4.2.5设备基础应满足安装要求

。

4.2.6安装设备的洁净厂房内应符合下列规定

:

1洁净室的净化空调系统应已经调试完毕运行正常达到

、,

所需洁净条件温湿度应符合工艺设备安装要求

,、;

2吹淋室等人员净化室应已启用并应有专人进行管理

,;

3防静电工作区的防静电设施应已通过专项测试合格

。

4.2.7厂房消防系统应正常运行

。

4.2.8厂房防微振条件应符合设计要求

。

4.2.9设备安装时应符合下列规定

:

1设备安装时应预留设备操作维修空间

、;

2设备有防微振控制或特别承重要求时应采取相应的防微

,

振或提高承载能力的措施

。专用

4.2.10设备需独立基础时应符合下列规定

:

1宜采用金属型材制作独立基础的金属框架外露表面应平

,

整上平面不平整度不应大于

,2mm/2m;

2安装独立基础时应首先拆除基础范围内的活动地板及支

承结构拆除的支承影响承重时应做好加固

,;

3独立基础施工完成后应补全基础周围的活动地板基础边沿

,,

与活动地板之间的间隙宜小于并应采用柔性胶条嵌缝

10mm,。

4.2.11对作业人员宜进行现场岗前考核考核合格后方可进行

,

作业对重要机械设备应专机专人负责

。、。

4.2.12进入现场的施工机械应质量可靠状态良好特种设备应

、,

履行报检程人人文库序

。

4.2.13施工进场需要复检的材料应有取样送检证明报告对质

,

量不合格的材料不得使用

。

4.2.14进入洁净室的设备材料应进行清洁处理外表面不得有

、,

油污灰尘

、。

4.2.15设备布局位置坐标应符合下列规定

、:

·5·

1施工前应明确设备布局确认设备布置图纸的准确

,;

2根据设备布置图确认设备安装基准线

。

4.2.16施工前施工单位应向建设单位提供如下文件

:

1施工方案

;

2人员机具进场计划

、;

3事故应急预案

。

4.3设备开箱

4.3.1设备开箱前应检查包装箱有无破损浸水现象包装箱有

、。

震动感应器及倾斜感应器等运输智能标贴的标贴应显示正常

,。

4.3.2设备开箱时应检查下列内容

:

1箱号装箱清单

、;

2设备的名称规格型号

、;专用

3设备的技术文件

;

4设备的随机附件专有工具

、。

4.3.3设备开箱宜采用专用开箱工具

。

4.3.4设备箱体不得倒置有防震防倾斜要求的应采取防护

,、,

措施

。

4.3.5设备开箱不宜在运输车上开箱

。

4.3.6设备开箱宜从顶板开始再拆除四面箱板宜保留设备

,,

箱底

。

4.3.7设备零部件清点后应安全有序存放

。

4.3.8设备开箱后应检查设备外观是否完好无损

人人文库。

4.3.9设备开箱检验应做好记录

。

4.3.10设备包装材料应做好回收处理进口设备的木质包装材

,

料应检疫合格后方可处理

。

4.4设备搬运

4.4.1设备搬运应符合下列规定

:

·6·

1应规划好搬运路线图并应标注清楚路障设备尺寸和重

,、

量等标识

;

2应制定专项方案并应经过建设单位同意

,;

3应对作业人员进行技术安全交底

、;

4应对作业车辆工机具及安全防护措施进行全面检查

、。

4.4.2在搬运设备时搬运通道应平整通畅在整个搬运过程

,、;

中设备应平稳行进

,。

4.4.3对于有恒温恒湿要求的精密设备应及时搬入洁净室

,

区

()。

4.4.4对于有防微振要求的设备应采用相应技术措施进行

,

搬运

。

4.4.5设备搬运应符合现行行业标准化工工程建设起重规范

《》

的有关规定

HG/T20201。专用

4.4.6起吊旋转过程中起重臂钢丝绳或设备应与架空线缆保

,、

持以上安全距离

1m。

4.4.7起吊软包装或无包装的设备时应符合下列规定

:

1起吊使用的吊索根据设备重量在满足负荷要求的情况下

,

宜采用柔软吊索

;

2吊索捆绑位置应避开仪表及结构脆弱部位起吊时应注意

,

设备的重心并应防止设备倾斜跌落

,;

3起吊区域下方应设置安全隔离及警示标志,设备起吊时严

禁人员进入起吊区域下方;

4设备起吊不宜过高以能顺利拆除外包装箱底为宜

人人文库,;

5起吊时应控制提升和下降速度不得产生冲击碰撞现象

,、;

6设备起吊过程中宜采用附缆控制方向

,。

4.4.8设备从搬入平台搬入口气闸室至洁净室区安装就位

、、()

时应符合下列规定

,:

1所经路线的墙壁墙角门框地面应采取保护措施

、、、;

2保护的材料不应产尘集尘

、;

·7·

3搬运路线上地面承载能力不满足要求时应做好加固工

,

作加固材料应符合洁净室使用要求

,;

4需拆除门框或墙板时拆除后应做好保护并应及时恢复

,;

5进入洁净区的设备机具等装置应进行洁净处理

、。

专用

人人文库

·8·

5设备安装

5.1一般规定

5.1.1设备进场应由施工单位监理单位建设单位代表共同验

、、

收设备包装箱应无损坏设备型号规格数量应无误装箱清单

,,、、,、

产品质量合格证性能检测报告及产品说明书等随机文件附件应

、、

齐全进口设备还应有商检合格证明文件并应形成验收记录

,,。

5.1.2在地坪上直接安装设备应符合设备厂家的固定要求

。

5.1.3在工作台上安装设备应符合下列规定

:

1安装设备的工作台应水平平稳牢固

、、;专用

2工作台上应铺有防静电材料并与厂房防静电接地系统有

效连接

。

5.1.4设备接地系统应与厂房接地系统连接良好需要单独接地

,

的设备应满足设计和技术文件要求

。

5.1.5设备应根据设计要求配备电源线接口

。

5.1.6安装时安装单位应保护设备表面工作面密封面不被损

、、

伤划伤

、。

5.1.7设备配备气体泄漏报警装置的安装单位应根据技术文件

,

要求接入厂房监控系统

。

5.1.8安装单位应核查设备的氮气欠压保护真空保护设备急

、、

停报警等安人人文库全保护功能是否正常

。

5.1.9设备安装施工完成后应组织进行质量检验并应按本标

,,

准附录表记录

BB.0.1。

5.2外延设备安装

5.2.1当设备搬入洁净间并在事先规划的位置集成就位

MOCVD

·9·

时应水平调整定位所有设备模块的水平度应优于

,0.5mm/1m。

5.2.2设备四周应保留大于的维修保养空间在规划设备

1m。

安装位置时应满足设备厂商对保留空间的特殊要求

。

5.2.3设备安装应符合下列规定

MOCVD:

1设备水平就位后根据技术文件及施工方案接入动力电

,、

冷却水和大宗气体排风接入二次配管

,;

2电气线路相位应正确动力线供电电缆应满足设备技术文

,

件的要求

;

3在具有不间断电源的厂房应按照设备技术文件

(UPS),

连接

;

4接地连接应牢固可靠

、;

5工艺气体管道及管道部件应使用不锈钢

SUS316L-EP()

材料

;专用

6设备冷却水流量压力温度水质应符合设备