GB 51206-2016 太阳能电池生产设备安装工程施工及质量验收规范

专用

人人文库

中华人民共和国国家标准

太阳能电池生产设备安装工程施工

及质量验收规范

Codeforconstructionandqualityacceptanceofsolarcell

manufacturingequipmentinstallationengineering

GB51206-2016专用

主编部门中华人民共和国工业和信息化部

：

批准部门中华人民共和国住房和城乡建设部

：

施行日期年月日

：201771

人人文库

中国计划出版社

2016北京

中华人民共和国国家标准

太阳能电池生产设备安装工程施工

及质量验收规范专用

GB51206-2016

☆

中国计划出版社出版发行

网址

：www.jhpress.com

地址北京市西城区木樨地北里甲号国宏大厦座层

：11C3

邮政编码电话发行部

：100038：（010）63906433（）

北京市科星印刷有限责任公司印刷

印张千字

850mm×1168mm1/322.561

年月第版年月第次印刷

201751201751

人人文库☆

统一书号

：155182·0052

定价元

：15.00

版权所有侵权必究

侵权举报电话

：（010）63906404

如有印装质量问题请寄本社出版部调换

，

中华人民共和国住房和城乡建设部公告

第1346号

住房城乡建设部关于发布国家标准

太阳能电池生产设备安装工程

《

施工及质量验收规范的公告

》专用

现批准太阳能电池生产设备安装工程施工及质量验收规

《

范为国家标准编号为自年月日起

》，GB51206—2016，201771

实施其中第条款为强制性条文必须

。，4.1.7、4.6.14（5、6、7）（），

严格执行

。

本规范由我部标准定额研究所组织中国计划出版社出版

发行

。

人人文库中华人民共和国住房和城乡建设部

2016年10月25日

前言

本规范是根据住房城乡建设部关于印发年工程建

《〈2011

设标准规范制订修订计划的通知建标号的要

、〉》（〔2011〕17）

求由工业和信息化部电子工业标准化研究院电子工程标准定

，

额站中国电子系统工程第四建设有限公司会同有关单位共同

、

编制完成

。

本规范在编制过程中编制组走访了国内有关太阳能电池生

，

产设备的研发和生产单位收集了有关太阳能生产设备的搬运运

，、

输安装调试和工程验收要求在总结国内实专用践经验吸收近年来

、、，、

的科研成果借鉴国外符合我国国情的先进经验的基础上广泛征

、，

求了国内有关设计生产研究等单位的意见最后经审查定稿

、、，。

本规范共分章和个附录主要技术内容包括总则术语

64，：、

和缩略语基本规定安装工程施工设备试运行工程验收等

、、、、。

本规范中以黑体字标志的条文为强制性条文必须严格执行

，。

本规范由住房城乡建设部负责管理和对强制性条文的解释

，

由工业和信息化部负责日常管理由中国电子系统工程第四建设

，

有限公司负责具体技术内容的解释本规范在执行过程中如发

。，

现需要修改和补充之处请将意见和有关资料寄至中国电子系统

，

工程第四建人人文库设有限公司太阳能电池生产设备安装工程施工及质

《

量验收规范管理组地址北京市丰台区南四环西路号邮

》（：188；

政编码以供今后修订时参考

：100070，zgb@cefoc.cn），。

本规范主编单位参编单位主要起草人和主要审查人

、、：

主编单位：工业和信息化部电子工业标准化研究院电子工

程标准定额站

中国电子系统工程第四建设有限公司

·1·

参编单位：信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份

有限公司

中国电子科技集团公司第二研究所

北京七星华创电子股份有限公司

北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责

任公司

主要起草人：万铜良杜宝强薛长立刘谦辉丁长勇

李华新郑秉孝朱纮文晁宇晴冯卫中

郑友山李晓东石小琰邓俊马国君

程航穆文涛邵森吕广浩许卫

赵罡王云静董学鑫

主要审查人：周启彤张利群王元光王开源黄群骥

蔡先武崔永祥王建专用张凯

人人文库

·2·

目次

总则…………………

1（1）

术语和缩略语……………

2（2）

术语……………………

2.1（2）

缩略语…………………

2.2（4）

基本规定…………………

3（5）

安装工程施工……………

4（6）

安装前设备材料的储存…………………

4.1（6）

施工准备…………………专用……………

4.2（6）

设备搬运………………

4.3（7）

设备开箱………………

4.4（9）

设备安装………………

4.5（10）

二次配管配线……………

4.6（11）

设备试运行………………

5（16）

设备试运行前的准备……

5.1（16）

设备试运行……………

5.2（17）

工程验收…………………

6（18）

一般规定………………

6.1人人文库（18）

验收内容………………

6.2（18）

验收程序………………

6.3（21）

验收不合格的处置………

6.4（21）

附录硅基太阳能电池生产基本工艺流程………………

A（23）

附录典型太阳能电池生产设备单机试运转及

B

验收要求……………

（24）

附录太阳能电池生产主要设备的安装和验收要求……

C（35）

·1·

附录验收表格……………

D（37）

本规范用词说明………………

（46）

引用标准名录…………………

（47）

附条文说明…………………

：（49）

专用

人人文库

·2·

Contents

…………

1Generalprovisions（1）

…………………

2Termsandabbreviations（2）

…………………

2.1Terms（2）

……………

2.2Abbreviations（4）

………

3Generalrequirements（5）

………………

4Construction（6）

……………

4.1Equipmentmaterialstoragebeforetheinstallation（6）

……专用……………

4.2Constructionpreparation（6）

………

4.3Equipmenttransport（7）

……

4.4Equipmentunpacking（9）

……

4.5Equipmentinstallation（10）

…………………

4.6Hook-up（11）

…………………

5Equipmentcommissioning（16）

……………

5.1Preparebeforecommissioning（16）

…………………

5.2Equipmentcommissioning（17）

………

6Acceptanceofworks（18）

……

6.1Generalrequirements（18）

人人文库………

6.2Acceptancecontent（18）

………

6.3Acceptanceprogram（21）

…………

6.4Disposalofunqualifiedacceptance（21）

AppendixAThebasicprocessofsilicon-based

……………

solarcellproduction（23）

AppendixBRequirementsofstand-alonecommissioning

andacceptancefortypicalequipmentof

·3·

……………

solarcellproduction（24）

AppendixCRequirementsofinstallationandacceptance

formajorequipmentofsolarcell

………

production（35）

………………

AppendixDAcceptanceform（37）

…………

Explanationofwordinginthiscode（46）

………

Listofquotedstandards（47）

……………

Addition：Explanationofprovisions（49）

专用

人人文库

·4·

1总则

1.0.1为规范太阳能电池生产设备安装工程施工及质量验收促

，

进太阳能电池生产设备安装质量和可靠运行符合节能环保要求

，，

制定本规范

。

1.0.2本规范适用于新建改建和扩建的太阳能电池工厂生产设

、

备安装工程及质量验收

。

1.0.3太阳能电池生产设备安装工程施工及质量验收除应符合

本规范外尚应符合国家现行有关标准的规定

，专用。

人人文库

·1·

2术语和缩略语

2.1术语

2.1.1太阳能电池

solarcell

是指将太阳光能直接转换成电能的器件

。

2.1.2单晶硅太阳能电池

monocrystallinesiliconsolarcell

是以单晶硅为基体材料的太阳能电池

。

2.1.3多晶硅太阳能电池

polycrystallinesiliconsolarcell

是以多晶硅为基体材料的太阳能电池

。

2.1.4非晶硅太阳能电池专用

amorphoussiliconsolarcell

用非晶硅材料及其合金为基体制造的太阳能电池亦称无定

，

形硅太阳能电池简称太阳能电池

，a-si。

2.1.5非晶硅薄膜电池

amorphoussiliconthinfilmsolarcell

以玻璃不锈钢板陶瓷板等为基板以非晶硅化合物薄膜为

、、，

基体材料的太阳能电池

。

2.1.6化学气相沉积

chemicalvapordeposition（CVD）

本规范系指在常压下化合物分解沉积为薄膜的制作薄膜太

，

阳能电池的工艺

。

2.1.7低压化学气相沉淀

人人文库lowpressurechemicalvapor

deposition（LPCVD）

本规范系指采用在低压时气相化合物分解沉积成薄膜的制

，

作薄膜太阳能电池的工艺

。

2.1.8等离子体化学气相沉积

plasmachemicalvapor

deposition（PCVD）

本规范系指将气相化合物等离子体分解沉积成薄膜的制作薄

膜太阳能电池的工艺

。

·2·

2.1.9等离子体增强型化学气相沉积

plasmaenhanced

chemicalvapordeposition（PECVD）

本规范系指利用等离子体特性来控制或影响气相反应和材料

表面的化学反应过程并在规定的温度最高至下沉积薄

，（900℃）

膜的工艺

。

2.1.10聚乙烯醇缩丁醛

polyvinylbutyral（PVB）

由聚乙烯醇缩丁醛树脂经增塑剂塑化挤压成型的高分子半透

明的薄膜材料对无机玻璃有很好的黏结力

。。

2.1.11载板

carrier

在太阳能电池的工艺设备中用于传输硅片承载硅片的运输

，、

载体

。

2.1.12质量流量控制器

massflowcontroller（MFC）

用于对气体的质量流量进行精密测量和控专用制的仪器

。

2.1.13晶体硅太阳能电池生产设备

crystallinesiliconsolar

cellproductionequipment

用来生产硅太阳能电池的工艺设备包括槽式制绒清洗机在

，、

线式制绒机扩散炉设备设备丝网印刷机烧结炉等

、、PECVD、、

设备

。

2.1.14二次配管配线

hook-up

生产厂房中一次管线系统至生产设备接口之间的连接管线

。

2.1.15大宗气体

bulkgas

对电子工厂中使用的氮气氢气氧气氩气的统称

、、、。

2.1.16特人人文库种气体

specialtygas

电子行业生产的掺杂外延离子注入刻蚀等工艺中使用的

、、、

具有自燃性可燃性毒性腐蚀性氧化性惰性等特殊的气体

、、、、、。

2.1.17制绒

texturing

在单晶硅片表面通过一定的加工手段得到一定形状的绒面结

构的工艺以增加光线在电池表面的反射折射次数降低表面反

，，

射率

。

·3·

2.1.18丝网印刷

electrodesprinting

利用感光材料通过照相制版印刷制作电池正负极的工艺

。

2.2缩略语

聚氯乙烯

PVC（Polyvinylchloride）

洁净聚氯乙烯

CLPVC（Cleanpolyvinylchloride）

四氟乙烯共聚物

PFA（Polytetrafluoroethylene）

聚丙烯

PP（Polyprolene）

聚偏氟乙烯

PVDF（Polyvinylidenefluoride）

阀门分配箱

VMB（Valvemanifoldbox）

电抛光

EP（Electropolished）

光亮退火

BA（Brightannealed）

酸洗钝化专用

AP（Annealedandpickled）

人人文库

·4·

3基本规定

3.0.1太阳能电池生产设备安装之前应制定详细的安全和质量

控制预案

。

3.0.2设备安装应按经批准的技术文件就位修改有关技术文件

，

应有相应单位的批准

。

3.0.3设备就位使用的搬运设备和工具应完好可靠安全使用

、、，

前应进行检查认可

、。

3.0.4生产设备安装工程的作业人员应经相应工种培训

。

3.0.5特殊工种应取得相应的上岗证专用

。

3.0.6设备安装环境应满足设计文件设备使用说明书的相关要求

、。

3.0.7设备单机调试及试运转应在设备安装和二次配管配线安

装完成并经自检合格后进行

，。

3.0.8太阳能电池的生产宜按照本规范附录的工艺流程组

A

织典型国产太阳能电池生产设备单机试运转及验收宜按本规范

。

附录的要求进行

B。

3.0.9用于检测的计量器具和仪器设备应检定合格或校准认

、

可并应在检定或校准有效期内

，人人文库。

·5·

4安装工程施工

4.1安装前设备材料的储存

4.1.1生产设备宜放置于仓库中储存储存环境应满足设备存放

，

要求并应便于搬运

，。

4.1.2临时存放在室外的生产设备应做好防潮防雨防冻措施

、、。

4.1.3有特殊存放要求的生产设备应按产品说明书的要求进行

，

储存

。

4.1.4设备储存应有专人管理建立岗位责任制

、。

4.1.5进场的生产设备应及时登记建立台账专用生产设备应标明

，。

设备的名称规格型号入库日期等信息

、、。

4.1.6现场材料保管应有专人负责现场材料存放环境应防火

。、

防雨防潮

、。

4.1.7对于易燃、易爆、有毒、有害危险化学品，应按属性分别设

专门库房存放，专门库房应符合下列规定：

1库房地面材质应防渗漏，并应设置围堰或事故收集装置，

易燃、易爆品库房地面应采用不发火处理；

2库房应保持通风，并应设置事故排风装置；

3易燃人人文库、易爆品库房应设置泄爆墙。

4.2施工准备

4.2.1施工前应按本规范附录的要求制定具体的施工方案

，C，

并应提交监理或建设单位批准

。

4.2.2施工前应制定洁净室管理制度并应提交监理或建设单

，，

位备案

。

4.2.3进入现场的运输机械应质量可靠状况良好特种设备应

、，

·6·

履行报检程序

。

4.2.4安装工程施工单位应按质量保证书或产品合格证对材料

进行验收并应做好记录办理验收手续需要复检的材料应有取

，，；

样送检证明报告对质量不合格的材料不得在施工中使用

，。

4.2.5进入洁净室的设备材料应进行清洁处理外表面不得有

、，

油污积尘

、。

4.2.6施工前厂房应符合下列规定

：

1厂房应通水通电具备动力供应条件

、，；

2洁净室的净化空调系统应呈空态并应调试完毕运行正

，、

常达到所需洁净条件

、；

3厂房内公用系统应调试完毕正常运行

，；

4消防系统应正常运行

。

4.2.7设备搬运应规划好搬运路线图并应标专用注清楚路障限高

，、

等注意事项

。

4.3设备搬运

4.3.1设备搬运前应对设备进行检查和确认检查后应做好设备

，

出库记录

。

4.3.2在室外搬运设备时道路应平坦畅通在整个搬运过程

，、；

中设备应平稳行进不得有冲击现象

，，。

4.3.3设备搬运方法应根据设备厂家提供的说明和要求选择并

，

应符合现行行业标准工程建设安装工程起重施工规范

《》HG20201

的有关规定人人文库

。

4.3.4起吊旋转过程中起重臂钢丝绳或设备与架空线缆安全

，、

距离应大于

1.5m。

4.3.5起吊有内包装的设备应符合下列规定

，：

1起吊使用的吊索应根据设备重量选用

；

2吊索捆绑位置应避开仪表及结构脆弱部位并应防止设备

，

倾斜跌落

；

·7·

3设备起吊高度宜能顺利拆除外包装底盘

；

4起吊时应控制提升和下降速度不得产生冲击碰撞现象

，、；

5用液压搬运车载运设备时设备放置应平稳平衡

，、。

4.3.6用叉车或汽车搬运设备时全过程应平稳不得载货急转

，，，

不得突然启动或停车叉车应完全停止升降后再缓慢行进设备距

；，

路面高度应不触及路面障碍

。

4.3.7手动液压车搬运设备时应符合下列规定

，：

1应根据设备的重量选用液压车

；

2液压车起步停车应缓慢行车速度应均匀不得产生使设

、，，

备倾斜的振动两侧应有搬运人员全程扶持

，；

3货物放置应牢靠稳固

、；

4不得超过规定的高度和宽度

；

5搬运时应当注意成品保护尤其是专用地面和墙面环氧

，，

地面应当铺塑料薄膜和不锈钢板经过伸缩缝的地方应铺

（PVC），

厚不锈钢板

；

6搬运工具的轮子宜为软胶轮

。

4.3.8当搬运重大精密设备时宜采用平稳可靠且省力的气垫

、，、

搬运装置搬运时操作人员应控制其行进速度在起步行进及停

。，、

止时不得产生冲击振动现象

。

4.3.9对于有恒温恒湿要求的精密设备应使用气垫搬运法及时

，

搬入洁净室区

（）。

4.3.10对于有防微振要求的设备宜采用气垫搬运法进行搬运

，。

4.3.11设人人文库备从搬入平台经过搬入口气闸室至洁净室区安装

、（）

就位的过程所经路线的墙壁墙角门框地面应做好保护保护

，、、、，

的材料不应发尘积尘当搬运路线上地面承载能力不足时应做

、。，

好加固工作加固材料应符合洁净室内的使用要求当需拆除门框

，；

或墙板时拆除后应做好保护并应及时恢复

，。

4.3.12当在活动地板上吊装设备时宜采用龙门架手动葫芦等

，、

起重装置龙门架支脚应设置荷重分散板并应核对活动地板的承

，，

·8·

载能力当不能满足起吊荷载时应进行加固并应编制吊装技术

，，

方案

。

4.3.13洁净室室内外设备搬运人员不应交叉作业在洁净室里

，

面设立缓冲区缓冲区地面应用不锈钢板保护设备的反光保护膜

，，

包装可在洁净室外拆除但保护膜应在缓冲区或者洁净室内拆除

，。

4.4设备开箱

4.4.1设备开箱时建设单位设备供应商监理单位施工单位

，、、、

均应参加并由采购方负责开箱检查应包括下列内容

，。：

1箱号装箱清单

、；

2设备的名称规格型号

、；

3设备的技术文件

；

4设备的随机附件专有工具专用

、。

4.4.2设备开箱前应检查包装箱外观是否完好有无破损浸水

，、

现象

。

4.4.3有防震贴防倾贴等运输智能标贴的包装箱开箱前标贴

、，

显示应正常

。

4.4.4设备箱体不得倒置有防震防倾斜要求的应采取避免倾

；、，

斜的措施

。

4.4.5设备开箱宜在卸货平台进行不得在运输工具上开箱

，。

4.4.6设备开箱宜按照从顶板开始再拆除四面箱板保留设备

，，

箱底的顺序

。

4.4.7设备人人文库零部件开箱宜按照先拆除箱盖进行零部件清点然

，，

后将零部件放回箱内保存的顺序

。

4.4.8设备零部件堆放应按照安装先后顺序先安装的放在外面

，

或上面后安装的放在里面或下面

，。

4.4.9设备开箱应采用专用开箱工具

。

4.4.10设备的外壳不应有碰伤变形机械损坏油漆剥落锈蚀

、、、、

等现象

。

·9·

4.4.11设备开箱检验应填写验收单做好记录并办理验收手

，，

续参加人员应签字对不符合要求质量不合格的设备材料应办

。，、

理相关手续

。

4.4.12设备包装材料应做好回收处理进口设备的木质包装材

；

料确认经过检疫部门检疫手续后方可处理

。

4.5设备安装

4.5.1设备安装前应先对设备进行定位放线并应符合下列

，

规定

：

1应根据工程设计图纸在地板上放出设备定位的尺寸平面

轮廓线划出记号

，；

2在设备轮廓转角处应贴上醒目的形彩色粘胶带

L；

3设备不得跨越建筑结构抗震缝伸缩专用缝及沉降缝放置并

、

安装

。

4.5.2设备定位的基准面线或点对安装基准线的平面位置允许

、

偏差应符合下列规定

，：

1与其他设备无机械联系的设备为

±10mm；

2与其他设备有机械联系的设备为

±2mm；

3成排同型号同规格的设备其操作面应在同一直线上安

、，，

装偏差不应大于

3mm。

4.5.3对于设备需独立基础的独立基础的材料为金属框架时

，，

应用碳钢镀锌材料或不锈钢材料制作外露表面应平整上平面不

，，

平度不应大人人文库于

2mm。

4.5.4安装独立基础时应符合下列规定

，：

1拆除基础范围内的活动地板及支承结构时影响承重的支

，

承应做好加固

；

2独立基础施工完成后应补全基础周围的活动地板基础边

，

沿与活动地板之间的间隙宜小于并宜采用柔性胶条嵌缝

10mm，；

3独立基础安装水平误差不应大于最大不超过

2‰，3mm；

·10·

4基础上平面应与活动地板的地坪面平齐允许误差为

，

0～3mm。

4.5.5设备找正调平的水平度或垂直度应符合设备技术文件的

、

要求设备找正调平的基准面基准线或基准点确定后设备找正

；、，、

调平应在选定的测量位置上进行测量复查检验时不得改变原测

，、

量的基准位置

。

4.5.6设备的安装组装应符合下列规定

、：

1设备安装应牢固可靠

、；

2设备试运行中不得出现紧固件松动或磨损

；

3设备试运行中不得出现部件或零件的脱离

；

4合理选择紧固件所用紧固件的种类应减少

，；

5选用的紧固件应符合国家标准和设计文件设备说明书的

、

要求并采用抗腐蚀处理专用

，；

6沉头螺钉安装后不允许突出被连接件表面

。

4.5.7在独立基础上或自流坪地面上安装需要固定的设备时宜

，

采用化学锚栓或二次灌浆固定

。

4.5.8在基础或地板上开孔时应用吸尘设备吸尽孔内的尘埃

，。

4.5.9当设备需跨越壁板安装时应符合下列规定

，：

1应根据设备安装所需的位置在壁板上开洞

；

2开洞作业不得划伤污染需保留的壁板表面或对洁净环境

、

造成污染

；

3设备安装后四周间隙应采用微孔泡沫带密封其材质和

，，

色泽应与该人人文库厂房内装修格调一致

。

4.5.10设备的接地系统安装应牢固可靠

、。

4.5.11设备安装时应保护设备本体自带仪表接口短管并应

，、，

避免碰撞损伤

、。

4.6二次配管配线

4.6.1二次配管配线应包括下列管线安装

：

·11·

1各种给水排水系统的一次管道阀门至设备接口之间的

、

配管

；

2各种气体动力系统的一次管道阀门至设备接口之间的

配管

；

3各种工艺排风排气系统的一次管道阀门至设备接口之间

、

的配管

；

4生产动力终端工艺母线或配电盘至设备接口之间的配管

配线

。

4.6.2设备二次配管配线作业应在设备安装完成后进行并应与

，

设备供应商复核设备的接口位置种类数量尺寸型式等信息

、、、、。

4.6.3二次配管配线的材料宜与一次配管配线的材质一致并应

，

符合下列规定

：

1工艺冷却水应根据工艺设备水质要求专用选用宜采用不锈钢

，

管或管管配件及阀门宜采用与管道相同的材质

PVC，；

2管线与设备的连接方式应便于拆卸更换对于易产生振动

，

的设备应采用柔性连接等减少振动影响的连接方式

；

3工艺冷却水系统的温度计压力表宜采用不锈钢材质

、；

4压缩空气和氮气系统根据工艺生产线品质要求宜选用

或管道阀门宜选用球阀其余大宗气体

SUS304BASUS316LBA，；

系统和特种气体系统宜采用管道阀门口径小于等于

SUS316LEP，

时应采用隔膜阀阀门口径大于时应采用

1/2"SUS316LEP，1/2"

波纹管截止阀特种气体系统当采用双套管时内管宜采用

；，SUS

管道人人文库外管宜采用外抛管

316LEP，SUS304AP；

5氧气管道管件垫片及其他附件都应脱脂阀门仪表应

、、，、

在制造厂已脱脂完毕

；

6化学药液输送宜采用双层管或管双层管内管宜为

PP；

管外管宜采用透明管阀门宜采用与管道材质相同的

PFA，PVC；

耐腐蚀隔膜阀和阀门箱设置方式不宜直接设置阀门于管道上

，；

7有机排风管宜采用不锈钢材料使用氩弧焊

SUS304，

·12·

连接

；

8酸碱排风管宜采用等防腐蚀材料焊接或熔接

PVC、PP；

9对耐蚀性耐热性强度有特殊要求的宜采用不锈钢内衬

、、，

特氟龙管道

；

10热排风介质温度大于时应对管路设置绝热层绝

55℃，，

热材料不得采用易破碎掉渣和对人体有刺激作用的材质阀门应

、；

采用与排风管相同的材质

；

11纯水管路材质宜采用

PVDF、PP、PFA、CLPVC；

12温度大于的酸碱排水不宜采用管道接管

80℃PVC、PP，

可采用化工采用管时不得直接排放

PVC；PP；

13含有高浓度氢氟酸硝酸的排水管道宜采用双层管道

、，，

内管宜为管或管外管宜采用透明管

PVDFPP，PVC；

14洁净室内的电气配管宜采用外表面光专用滑的金属管与设

，

备连接采用的穿线软管应为不燃材料

；

15特种气体大宗气体纯水和化学品系统的二次配管配

、、

线安装工程应符合现行国家标准特种气体系统工程技术规范

《》

大宗气体纯化及输送系统工程技术规范

GB50646、《》GB50724、

电子工业纯水系统设计规范和电子工业化学品系

《》GB50685《

统工程技术规范的有关规定

》GB50781。

4.6.4二次配管配线施工时应根据现场实际情况进行空间整合

，

优化设计使管线排列整齐美观走向合理维修方便不得在操

，、，，，

作面布设管线

。

4.6.5当在人人文库活动地板上开孔时应符合现行国家标准微电子生

，《

产设备安装工程施工及验收规范的有关规定

》GB50467。

4.6.6洁净室内的二次配管配线安装需开洞时不得影响承重结

，

构且开洞时不得对洁净室造成污染

，。

4.6.7二次配管应采用专用设备对管道进行平口切割焊接

、、

作业

。

4.6.8洁净室内不宜进行电焊作业特殊情况应采取有效的防护

，

·13·

措施在保证及时防护及时清理不污染洁净室的情况下宜优先

；、，，

使用氩弧焊进行焊接作业输送大宗气体非腐蚀性溶剂的不锈钢

；、

管当采用焊接连接时应采用钨极氩弧焊机施焊且其保护气体

，，，

的纯度不应低于管网本底气体的纯度

。

4.6.9不锈钢管焊接质量应符合下列规定

：

1两管端应垂直于管中心轴线端面应平整光滑无毛刺

，、；

2对口不得有间隙直径小于或等于英寸的不锈钢管错

，2，

边量不得大于管壁厚度的直径大于英寸的不锈钢管错

10%；2，

边量不得大于管壁厚度的

15%；

3焊接应为自熔全焊透焊缝管内外焊缝平整光滑焊波整

，，

齐美观焊缝的凹凸不平度不得大于管壁厚度的

。10%；

4焊缝应焊趾整齐焊缝宽度应一致其误差不得大于

，，

管内焊缝表面宽度宜为外缝表面宽度专用的

0.2mm，60%；

5管内外焊缝表面不得有气孔裂纹等缺陷管内焊缝及热

、、，

影响区不应有氧化变色

。

4.6.10管粘接应符合下列规定

PVC：

1应选用管材生产厂家配套的专用胶水和清洁剂胶水与管

；

材应相匹配与使用说明一致

，；

2室外温度低于时胶水应保存在室内

5℃，；

3粘接后管路两端应开放通风

；

4管路粘接后胶水固化时间应符合说明书要求达到设计

，，

强度方可进行通水试压

。

4.6.11高人人文库纯介质二次配管时管道预制作业应在专门防尘防静

，、

电的洁净小室内进行加工件经洁净处理后密封搬入洁净厂房内

，

进行安装洁净小室的空气洁净度等级宜采用级

，8。

4.6.12二次配管支吊架安装应牢固可靠并应符合下列规定

、，：

1二次配管支吊架宜采用碳钢镀锌或不锈钢材料切割断

、，

面应做防腐处理

；

2管卡应与管道直径相匹配

；

·14·

3不锈钢管与碳钢支架管卡之间应分别设置隔离垫和隔离

、

套管隔离垫宜采用软质聚四氟乙烯板套管宜采用聚乙烯软管

，，。

4.6.13二次配管标识应与一次配管配线标识一致

。

4.6.14二次配管进行压力试验时应符合下列规定

，：

1试验介质应采用高纯氮气或高纯氩气其纯度不得低于管

，

道工作介质纯度

；

2不得采用水压试验

；

3待试管道与生产设备无关系统应采用盲板或采取其他措

施隔开待试管道上的安全阀爆破板及仪表元件应拆下或隔离

，、；

4试验用压力表宜采用专用管道压力测试记录仪当采用普

，

通压力表时其精度不应低于级

，1.5；

5介质为氢气、酸碱药液等具有危险性、腐蚀性的二次配管

安装完成后必须进行压力试验；专用

6压力试验应分为强度试验和气密性试验；强度试验应采用

设计压力的1.15倍，保压30min无损坏、无泄漏为合格；气密性试

验应采用设计压力的1.05倍，保压24h无压降、无泄漏为合格；

7二次配管压力试验开始时应测量试验温度，试验温度严禁

选择材料脆性转变的温度。

4.6.15二次配管安装完成后宜做泄漏试验

，。

4.6.16二次配管试验完成后应填写设备配管检验批质量验收

，

记录

。

4.6.17当设计文件规定以氦气进行泄漏性试验时应符合现行

，

国家标准无人人文库损检测氦泄漏检测方法的有关规定

《》GB/T15823。

4.6