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文档简介

有限元分析(FEA)为小型子元素来计算物体的应力、应变和变形。在压力传感器的设计中，理论分析很难获得完整的结果，因此有限元分析是一种很好的仿真方法。本文选用ANSYS等有限元软件对具有屏蔽层的压力传感器进行仿真。11PZT-5H驱动材料、PTFE高分子材料和氧器的工作范围在(-1000Pa,1000Pa)之间。2100Pa2100Pa2的仿真结果，可以发现传感器随着外加压力的增加，电容PZT陶瓷的沉积。最后通过光刻技术加工出屏值，分别对传感器的电容值进行测量。实验结果如图3所示。33为2.4fF/Pa。这表明该传感器具有较好的灵敏度。SΔC/ΔP来计算，其中ΔC和ΔP分4所示所作的实验结果表明，灵敏2.4fF/Pa4传感器灵敏度5所示，5传感器线性度温度特性是指在不同温度下传感器输出的电容值与压力之间的关系。2060℃的电容输出响应之间的比较数据。从图66传感器温度特性7a7b是封装之后7传感器的封装本文对一种具有屏蔽层的压力传感器的工艺仿真与设计进行了研究。首先通过有限元软件进行传感器的仿真，得到了传感器的应变场、变形

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