赛瑞达PE作业指导书

赛瑞达管式PECVD作业指导书温州中硅科技有限企业版本/状态文献编号页码部门电池生产部1/141目的1.1为保证生产的顺利进行、工艺正常稳定，符合技术规定。1.2为本工序生产人员提供基本的生产作业指导文献。2合用范围2.1本文献规定了管式PE工序机器操作措施和生产操作规程。本文献合用于管式PE工序操作岗位。3规范性引用文献1赛瑞达PECVD设备操作维护手册；椭偏仪检测作业指导书；石墨舟清洗作业指导书；制程不合格品处理措施。4术语和定义4.1PECVD名词化学全名：MicrowaveRemotePlasmaEnhanceChemicalVapourDeposition中文解释：微波间等离子体增强化学气相沉积PECVD：是借助微波或射频等使具有薄膜构成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子化学活性很强，很轻易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。为了使化学反应能在较低的温度下进行，运用了等离子体的活性来增进反应，因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积(PECVD).4.2试验机理：是借助微波或射频等使具有薄膜构成原子的气体，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很轻易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。4.3PECVD的目的和作用1，减反膜在太阳电池表面沉积深蓝色减反膜-SiN膜。对光的减反射能力增赛瑞达管式PECVD作业指导书温州中硅科技有限企业版本/状态文献编号页码部门电池生产部2/14加短路电流。其还具有卓越的抗氧化和绝缘性能，同步具有良好的阻挡钠离子、掩蔽金属和水蒸汽扩散的能力；它的化学稳定性也很好，除氢氟酸和热磷酸能缓慢腐蚀外，其他酸与它基本不起作用5职责5.1技术部人员制定本文献，如需要修改，由电池技术部工艺人员提出本文献的修改申请。5.2生产部镀膜岗位员工须严格按照本文献的规定进行操作。5.3品管部和技术部负责按文献规定对工艺进行检查、监督。6内容6.1本职工作：6.1.1）．纯熟掌握PECVD岗位的工艺流程，平常操作设备及工夹具的掌握6.1.2）．理解PECVD岗位使用的多种原辅料的特性（NH3、SiH4、N2））做到能对的识别，对的使用6,1,3）．可以分清钝化后硅片的扩散面与非扩散面，保证扩散面与镀膜面一致。6.1.4）．懂得镀膜质量优劣的区别，能根据镀膜质量对的鉴定与否需要返工。6.1.5）．懂得喷头的平常清理，以保证镀膜均匀。6.1.6）．懂得维护设备，保证反应腔的纯净度。6.1.7）．懂得各《操作记录》及《工序流程卡》的对的填写，保证生产过程中的记录精确。6.1.8)协同PECVD员工不停提高并保持工艺卫生按原则作业进行文明生产。6.1.9)能及时发现生产过程中的多种问题，并及时向上级汇报，争取在第一时间内处理问题。6.1.10)生产人员在取片时不要摩擦硅表面的氮化硅膜、在工序长的指导下对错误的操作手法及时改正。6.1.11)与组员团结协作，共创故意的工作环境。赛瑞达管式PECVD作业指导书温州中硅科技有限企业版本/状态文献编号页码部门电池生产部3/146.2产前准备图1图2口罩汗布手套PVC手套6.2.1）、（见图1）准时做好交接班工作，保证班组之间的帐、物相符，检查石墨舟口罩汗布手套PVC手套图（1）6.2.2）、（见图2）穿好无尘服和无尘鞋，戴好工作帽和口罩，并按工艺卫生规定搞好安全卫生工作。图（2）赛瑞达管式PECVD作业指导书温州中硅科技有限企业版本/状态文献编号页码部门电池生产部4/146.2.3）、（见图3）按《设备操作规程》中的规定检查水、电、气与否到达使用规定，开机以及检查设备与否处在良好的运行状态。图（3）赛瑞达管式PECVD作业指导书温州中硅科技有限企业版本/状态文献编号页码部门电池生产部5/14赛瑞达PECVD设备操作注意事项：6.3.1)（见图4）臂桨处在“上限位”位置时，管内有舟时不可手动进桨图（4）此垂直舟位为正值6.3.2)（见图5）臂桨处在“下位”位置时，桨上有舟时不可手动进舟。c图（5）此垂直舟位为负值赛瑞达管式PECVD作业指导书温州中硅科技有限企业版本/状态文献编号页码部门电池生产部6/14（见图6）时，报警显示中有红色报警，不准切换到自动运行状态。图（6）（见图7）取放石墨舟必须两个人操作，严禁一人搬运石墨舟。图(7)赛瑞达管式PECVD作业指导书温州中硅科技有限企业版本/状态文献编号页码部门电池生产部7/14进舟、退舟失败报警时，一定要检查舟的位置与否在合理的位置，才可操作，自动/手动的切换要谨慎，若舟不在对的位置请手动移动到对的位置后再对报警进行操作。6.3.6)上料时必须要看到机械手把舟平稳的放到桨上后来，操作人员才可以离开设备。6.3.7)不要随意把头伸进机器内，注意不要被机械运动所伤。设备运动机构有异常时按下急停后及时联络设备人员。6.3.8)下料后及时把舟放入冷却房，小车解锁后严禁放置在设备中不移走。6.3.9)出现返工片要及时告知当班工艺人员查找问题。6.3.10)当机器出现报警时及时告知工序负责人或工艺设备人员。6.3.11)生产员工严禁更改工艺参数。6.4作业过程：6.4.1膜厚折射率监控(如下图)检测措施（参见《椭偏仪作业指导书》）；检测原则片内85±5nm片内2.05±0.03；监控频率：每两小时测量记录一次。6.4.3不合格品处理措施合格品按照正常程序转序；规定的不合格品，按照文献规定进行处理；赛瑞达管式PECVD作业指导书温州中硅科技有限企业版本/状态文献编号页码部门电池生产部8/146.5操作流程6.5.1、装片：确认ＰＳＧ后的来片扩散面（一般根据片盒标识）．装片次序一般从左手至右次序每槽插一片（可按个人左右手习惯）后将石墨舟旋转１８０度再按次序每槽添加一片．双片的背靠背面为非扩散面．保证每片扩散面朝外。（假如是双面扩散则拣无色斑的为镀膜面进行镀膜）。6.5.2、（见图8）硅片按规定放入石墨舟内，轻拿轻放，注意卡入工艺点贴紧石墨舟壁内新员工按工序长的措施去做。图（8）6.5.3、（见图9）硅片装载完毕后,将石墨舟依次放置在货架车上,确认石墨舟的电极方向（参照设备操作规程）．后将货架车推至上料台，放准位置然后在操作,每次放舟时作业员必须看着舟进入反应腔内。图（9）赛瑞达管式PECVD作业指导书温州中硅科技有限企业版本/状态文献编号页码部门电池生产部9/146,5，4、（见图10）.程序运行完毕后，将石墨舟卸至货架车上推至冷却房冷却．待硅片冷却后用吸笔取下5片单片(固定方向固定点从炉口到炉尾)用椭偏仪测试膜厚和折射率并进行记录。图（10）,6.5.5（见图11）、.从石墨舟上卸下硅片，放入片盒内，镀膜面尽量防止互相摩擦。认真填写好流转单和返工及破片的状况后移交下一工序。图（11）赛瑞达管式PECVD作业指导书温州中硅科技有限企业版本/状态文献编号页码部门电池生产部10/146.6、责任本工序的全体生产员工严格按本作业指导书的规定做好生产和质量的自控工作；工序长和生产班长等严格按照本作业指导书的规定监控好本工序的生产作业和质量控制工作。出现工艺或设备问题，应立即告知工艺人员或设备人员进行处理，不得私自进行调整；生产过程中，严禁员工嬉戏打闹；生产员工须严格遵守车间劳动纪律及工艺卫生规定；生产过程中应时刻保持PVC手套洁净，一旦沾污，需立即更换；一般PVC手套每一小时更换一次；生产过程中要时刻关注设备的运行状况，需要离动工作岗位时，需要找人代为关注设备运行状况；工艺人员在进行工艺试验时，须持有对应的工艺协作单，效率排查试验除外；在进行正常工艺试验时，生产人员须按试验规定全力配合协助工艺人员完毕试验；赛瑞达管式PECVD作业指导书温州中硅科技有限企业版本/状态文献编号页码部门电池生产部11/147记录7.1工艺参数范围参数SiN膜的作用备注70…75…80nm膜的厚度对最大的光吸取为最佳的减反膜参数在烧结后膜的光学特性有某些变化1.9…2.0…2.1…2.2折射率对最大的光吸取为最佳的减反膜参数在烧结后膜的光学特性有某些变化+-1…+-3…+-5%膜的均匀性氢对硅表面的钝化强烈依赖烧结工艺氢对体内的钝化强烈依赖硅片的体材料氮化硅颜色与厚度的对照表颜色厚度（nm）颜色厚度（nm）颜色厚度（nm）硅本色0-20很淡蓝色100-110蓝色210-230褐色20-40硅本色110-120蓝绿色230-250黄褐色40-50淡黄色120-130浅绿色250-280红色55-70黄色130-150橙黄色280-300深蓝色73-80橙黄色150-180红色300-330蓝色80-93红色180-190淡蓝色93-100深红色190-210此工艺参数仅可作参照，要根据硅电池片的性质所决定其性能参数赛瑞达管式PECVD作业指导书温州中硅科技有限企业版本/状态文献编号页码部门电池生产部12/147.2、工艺卫生和安全：7.2.1）氨气：无水氨气是一种刺激性、无色、可燃的储存于钢瓶的液化压缩气体。氨气会严重灼伤眼、皮肤及呼吸道。当它在空气中的浓度超过15%时有立即导致火灾及爆炸的危险，因此进入这样的区域前必须排空。进入浓度超过暴露极限的区域要佩戴自给式呼吸器。大规模泄露时需要全身防护服，并应随时意识到潜在的火灾和爆炸危险。暴露在氨气中会对眼睛导致中度到重度的刺激。氨气强烈地刺激鼻子、喉咙和肺。症状包括灼伤感、咳嗽、喘息加重、气短、头痛及恶心。过度暴露会影响中枢神经系统并会导致痉挛和失去知觉。上呼吸道易受伤害并导致气管炎。声带在高浓度下尤其轻易受到腐蚀，下呼吸道伤害会导致水肿和出血，暴露在5000ppm下5分钟会导致死亡。如发生泄露，从泄漏区疏散所有的人，切断氨气泄漏源，然后根据燃烧的物质进行灭火。由于受热钢瓶内压力会升高，假如泄压装置功能失灵，会引起钢瓶爆炸。7.2.2）防护措施：眼睛接触：用大量的水冲洗，立即进行医疗处理。吸入：将人员移到空气清新处，若呼吸困难，则输氧，并迅速进行医务处理。皮肤接触：用大量水冲洗，立即脱掉被污染的衣服，并立即进行药物处理。如发生火灾，灭火剂：干粉、二氧化碳或水7.2.3）硅烷：硅烷是一种无色、与空气反应并会引起窒息的气体。该气体一般与空气接触会引起燃烧并放出很浓的白色无定型二氧化硅烟雾。它对健康的首要危害是它自燃的火焰会引起严重的热灼伤。假如严重甚至会致命。假如火焰或高温作用在硅烷钢瓶的某一部分会使钢瓶在安全阀启动之前爆炸，假如泄放硅烷时压力过高或速度过快，会引起滞后性的爆炸。泄漏的硅烷如没有自燃会非常危险，不要靠近，不要试图在切断气源之前灭火。硅烷会刺激眼睛，硅烷分解产生的无定型二氧化硅颗粒会引起眼睛刺激。吸赛瑞达管式PECVD作业指导书温州中硅科技有限企业版本/状态文献编号页码部门电池生产部13/14入高浓度的硅烷会引起头痛、恶心、头晕并刺激上呼吸道。硅烷会刺激呼吸系统及粘膜。过度吸入硅烷会引起肺炎和肾病。硅烷会刺激皮肤、硅烷分解产生无定型二氧化硅颗粒会引起皮肤刺激。如发生泄露，切断气源灭火，用水雾减少空气中形成的燃烧产物，不要用卤化物类灭火器。从最远的距离用水冷却暴露在火焰中的钢瓶。从泄漏区疏散所有人，切断气源，根据燃烧的物质灭火。由于热量的作用气瓶内压力会升高，假如泄压装置失灵会引起钢瓶爆炸。7.2.4防护措施：由于硅烷泄漏引起人员灼伤应由受过培训的人员进行急救，并立即寻求医疗处理。眼睛接触：应立即用水冲洗至少15分钟，水流不要太快，同步翻开眼