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CMP抛光材料行业研究自主可控不断提升(报告出品方/作者:太平洋证券,王亮、王海涛、周冰莹)ⅠCMP广为应用于硅片、芯片生产与PCB工艺CMP技术就是集成电路发展的先决条件CMP又称化学机械陡峭技术,就是使用化学破损及机械力对加工过程中的硅晶圆或其它衬底材料进行陡峭化处理。CMP设备涵盖研磨、冲洗、传输三大模块,其作业过程中,研磨头将晶圆等候研磨面压铁筋柔软的研磨枕头上,利用抛光液破损、微粒摩擦、研磨垫摩擦等耦合同时同时实现全局陡峭化。目前的集成电路元件广为采用多层立体布线,因此集成电路生产的前道工艺环节必须进行多次循环。在此过程中,CMP技术就是集成电路(芯片)生产过程中同时同时实现晶圆表面陡峭化后的关键工艺,就是集成电路生产中大力大力推进制程技术节点升级的重要环节。CMP广为应用于硅片生产、芯片生产陈文杰与PCB工艺在集成电路生产领域,芯片生产过程按照技术分工主要可以分为薄膜淀积、CMP、光刻、淬火、离子注入等工艺环节,其中CMP技之术就是晶圆生产的必须流程之一,对高精度、高性能晶圆生产至关重要。集成电路产业链可以分为硅片生产、集成电路设计、芯片生产陈文杰工艺、PCB测试等四大领域,除集成电路设计领域外,其他三大领域均存CMP的应用领域场景。集成电路发展日新月异,抛光液、研磨垫市场应用领域广为集成电路作为全球信息产业的基础与核心,广为应用于电子设备(比如智能手机、电视机、计算机等)、通讯、军事等领域,对经济建设、社会发展和国家安全具有关键战略意义和核心关键作用,就是去来衡量一个国家或地区现代化程度和综合实力的关键标志。CMP中核心材料为抛光液与研磨垫,上游为研磨颗粒、添加剂、聚氨酯、无纺布等,下游则为晶圆制造厂。随着新技术发展和应用领域不断拓展,全球集成电路行业市场规模快速增长十分迅速,助推晶圆生产市场需求提升,研磨枕头与抛光液市场空间逐渐关上。研磨枕头与抛光液占比多于八成CMP材料根据功能的相同,主要分为抛光液、研磨垫、研磨后清洗液、调节剂等。研磨垫主要促进作用就是储存和运输抛光液、除去磨屑和保持平衡的研磨环境等。抛光液在化学机械抛光过程中可以并使晶圆表面产生一层水解膜,再由抛光液中的磨粒除去,少于至研磨的目的。清洗液主要用做除去残存在晶圆表面的微尘颗粒、有机物、无机物、金属离子、氧化物等杂质。根据CMP细分研磨材料市场份额,抛光液占到至比达49%,研磨枕头占比33%,合计多于80%。研磨垫通常由聚氨酯制成,属于极容易消耗品研磨垫通常就是由聚氨酯做成,表面涵盖一定密度的发微凸峰与微孔,不仅可以除去硅片表面材料,而且还功不可没存储和运输抛光液、确认研磨过程产物的促进作用。研磨垫具有相近海绵的机械特性和多孔特性,表面存特定的沟槽,属于消耗品,其寿命通常只有45-75小时,仍须定时整修和修改。研磨枕头按材质结构可以分为:聚合物研磨垫、无纺布研磨垫、提着绒毛结构的无纺布研磨垫、复合型研磨垫。ⅡCMP材料市场规模持续增长,空间宽阔中国晶圆生产规模快速增长速度慢于全球晶圆代工行业源于半导体产业链的专业化分工,主要负责管理晶圆生产,属于技术、资本与人才密集型行业,仍须大量的资本支出和人才资金投入,具有较低的步入壁垒。根据ICInsights的统计数据,2016-2021年全球晶圆生产市场规模由652亿美元提升至1101亿美元,CAGR为11.05%,同期中国晶圆生产市场规模约由49.05亿美元提升至115.65亿美元,行业增长速度高于全球,达致15.36%。据IDC及芯思想研究院统计数据,截至2021年,我国6英寸及以下晶圆生产线装机追加新增产能约420万片耦合6英寸晶圆追加新增产能,8英寸、12英寸晶圆制造厂装机追加新增产能分别为125万片/月、131万片/月,预计至2024年8英寸、12英寸将超过至187与273万片/月,年均无机增长速度分别为14.37%、27.73%。受益于技术进步与下游市场需求助推,国内外半导体材料市场规模波动上升从半导体材料市场构成来看,2022年CMP研磨材料占到至比达至7.2%。受益于5G、人工智能、消费电子、汽车电子等领域的市场需求乌喊叫,全球半导体材料市场规模呈现波动向上的态势。2016-2022年半导体材料的市场规模由428.2亿美元提升至698亿美元,CAGR为8.48%,根据SEMI预测,2023年全球半导体材料市场规模预计突破700亿美元,同比提升0.29%。弥漫着国内半导体材料厂商技术水平和研发能力的提升,中国半导体材料市场规模提升速度高于全球。2017-2022年国内半导体材料市场规模由524.5亿元提升至914.4亿元,CAGR达致11.76%,根据SEMI预测,2023年市场规模预计为1024.3亿元,同比提升12.02%。人工智能高速发展,助推高性能芯片市场需求人工智能高速发展对算力明确提出高建议,以ChatGPT为基准,模型参数量从一代的1.17亿个位居至三代的1750亿个,快速增长约1496倍,对算力市场需求几何式快速增长。当前云端就是AI算力的中心,AI芯片市场需求爆发式快速增长。未来随着技术明朗,AI芯片的应用领域场景除了在云端的及大数据中心,也可以随着算力逐渐向边缘端的移动,助推AI芯片市场需求持续增长。Al芯片主要分为GPU、FPGA、ASIC三大类,其中GPU占据主导地位。中国AI芯片厂商正在奋起直追,尤其是在ASIC(专用集成电路)路线上加大投入。目前,国内已经涌现出寒武纪、华为昇腾、海光信息、燧原科技等优秀AI芯片厂商,AI算力性能显著提升,未来有望实现超预期发展。新兴AI带动高性能芯片需求,将进一步促进半导体材料增长。集成电路发展沿用摩尔定律,CMP研磨步骤市场需求增加CMP技术就是目前唯一能兼有表面全局和局部陡峭化后的研磨技术,弥漫着集成电路线宽变小小、层数剧增以及摩尔定律的沿用,对CMP的技术明确提出了更高的建议,同时CMP设备的使用频率也逐渐提高。制程节点发展至7nm以下时,芯片生产过程中CMP的应用领域在最初的氧化硅CMP和钨CMP基础上新增了囊括氮化硅CMP、鳍式多晶硅CMP、钨金属栅极CMP等一流CMP技术,所需的研磨步骤也增加至30余步,大幅提振了集成电路制造商对CMP设备的订货和升级市场需求。存储芯片由2DNAND向3DNAND技术变革,也助推了CMP研磨步骤翻倍式的提升。Ⅲ美日企业寡头寡头垄断格局下,中国企业突出重围研磨材料具有较低的技术、人才和专利壁垒CMP研磨材料具有较低的技术壁垒,我国由于起步较晚,大量专利掌控在国外巨头手中。美国和日本等龙头企业在进行更新升级的同时,可以实行苛刻的专利保护封锁技术防止外泄,形成较低的技术壁垒。研磨垫研发仍须融合有机、高分子、才回去科学、粉体技术、高精度加工等学科,技术难度高。目前我国研磨垫专利集中于应用领域领域,侧重于研究如何改进研磨垫沟槽设计以及提高研磨方法和研磨效果,在研磨枕头的制作方法及材料方面专利很少。抛光液成分的复杂度较低,研发周期短,对研发团队技术建议极高,设计合理的生产方案就是关键的技术壁垒。另外,原材料磨粒依赖进口,核心技术被海外企业长期寡头寡头垄断。研磨材料具有较低的客户壁垒研磨枕头和抛光液技术含量高,其产品质量、性能指标轻而易举同意了终端产品的品质和稳定性,属于下游客户的关键材料。因此,抛光材料下游客户推行苛刻的供应商证书机制,只有通过苛刻的证书满足用户客户对质量标准和性能的建议,就可以变成下游客户的合格供应商。下游客户的供应商证书流程通常涵盖供应商初评、产品报价、样品检测、小批量试用、稳定性检测、批量生产等多个环路节,证书流程繁琐,证书建议严苛。为了保证证书的准确性和真实性,证书通常具有繁琐的流程并且持续较长时间,这提高了供应商的时间成本,进一步提高了行业壁垒。但是供应商一旦通过下游客户的证书变成其合格供应商,就可以形成相对均衡的合作关系。研磨垫:陶氏杜邦一家独大,市场空间宽阔与抛光液较之,研磨垫产品相对单一,产品大致分为硬垫和软垫两种,硬垫相同的技术节点对于研磨枕头的变化较小,由此龙头公司极容易保持产品的一致性与稳定性,2019年全球研磨垫市场杜邦公司市占率已经少于79%,行业呈现一家独大的格局,其他企业为Cabot(5%)、ThomasWest(4%)、Fojibo(2%)R(1%)等,基本为美日企业所寡头寡头垄断。陶氏化学成立于1897年,2009年,陶氏化学全面全面收购罗门哈斯,获得了CMP研磨垫技术和完善的专利布局;2017年,陶氏和杜邦顺利完成拆分;2019年,陶氏杜邦拆分CMP研磨垫业务,划分在崭新杜邦公司的电子材料业务板块。卡博特:全球最轻抛光液供应商,产品多样全面全面覆盖齐全CabotMicroelectronics卡博特微电子公司成立于1999年,为全球最轻的CMP抛光液供应商(市占率33%)和第二大CMP研磨垫供应商(市占率5%),主要产品全面全面覆盖CMP抛光液、研磨垫、炭黑材料、纳米胶等。卡博特公司成立之初即同时同时实现钨抛光液、电介质抛光液等机械抛光液的产业化,先发优势明显,当前产品全面全面覆盖钨、铜、铝等金属抛光液以及介电层抛光液、硅抛光液等,产Fanjeaux多样全面全面覆盖齐全。卡博特客户覆盖面广,总收入分散程度高,2022年公司同时同时实现源于中国大陆及中国台湾、美国、韩国、日本、欧洲总收入分别比重为35%、24%、13%、11%、10%。Ⅳ国内企业积极主动布局研磨材料鼎龙股份:2022营收保持高速增长,盈利能力大幅提升鼎龙股份是国内领先的关键大赛道领域中各类核心“卡脖子”进口替代类创新材料的平台型公司,主要覆盖打印机耗材、CMP抛光材料与显示面板材料三大领域。2022年,公司基础业务打印机耗材上游彩色碳粉、耗材芯片、显影辊产品的销售受终端硒鼓产品销量增长而提升,实现营收21.42亿元,同比提升6.43%;CMP抛光垫实现收入4.57亿元,同比提升48.70%;4款抛光液产品实现收入1789万元;显示材料YPI/PSPI实现营收4758万元,同比大幅增长439%。2022年鼎龙股份盈利能力提升显著,实现归母净利润3.90亿元,同比提升82.61%,主要原因在于高毛利的CMP抛光垫产品收入大幅增长。鼎龙股份:抛光液部分产品同时同时实现规模化销售,助力企业稳固龙头地位鼎龙股份作为国内唯一一家全系列制程研磨垫供应商,公司现有武汉本部30万片研磨垫追加新增产能,潜江三期研磨垫新品及其核心服务设施原材料的复产项目已经投产,补齐了年产20万片的研磨垫新品的生产能力,在顺利完成产品送去样测试后,将于今年下半年逐步回调。仙桃基地于2022年6月动工,预计2023年9月份投入使用,总投资金额约为7.5-10亿元人民币,抛光液产能料进一步提高,公司产业布局料进一步完善。安集科技:抛光液营收持续高速增长,盈利水平保持高位安集科技是中国抛光液领域领先企业,主要产品包括CMP抛光液及功能性湿电子化学品,抛光液覆盖介电材料(二氧化硅、氮化硅)抛光液,钨抛光液,铜及铜阻挡层抛光液等多个品类,打破了美日企业对集成电路领域化学机械抛光液的垄断,位列国内半导体材料第一梯队。2022年公司实现营业收入10.77亿元,同比大幅提升56.82%,近五年保持35.88%的快速增长。2022年,公司盈利能力大幅提升,实现归母净利润3.01亿元,同比提升140.99%,2018-2022年CAGR接近50%。安集科技:打造上海宁波双基地,项目建设持续推进公司2022年销售化学机械抛光液2.13万吨,功能性擦电子化学品2157.26吨。同年12月1日,公司制定减至募资不少于2.

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