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分子泵维修常见问题故障查找故障故障现象发送并行“启动”命令后泵不旋转发送串行“启动”命令后泵不旋转泵在多站模式下不响应橙色状态LED闪烁错误代码运行时额定LED不亮或泵没有以全速旋转或泵出现检查电源是否出现故障检查电源是否打开并且故障输出是否活动检查泵是否回复“启动”命令检查是否启用多站模式注意每个序列6下闪烁中长闪烁的位置，以解读错操作确保电源已打开并且保险丝（及限流设备）未松转轴任然不旋转，则表示如果没有回复，则应检查串行通信链接是否通电并且“串行启用”是否激活以及电源是否打开。检查橙色状态LED是否闪烁。确保泵有多站地址并且使用多站协议发送命令。查阅相关错误代码并按照所提供的说明进行操作如果是这样，应减小抽取负载或检查系统是否有大增加泵的冷却。可能需要从通风冷却变成水冷。可能需要增大冷却水流量或降低水温或同时采取这两种措施。检查外部热源确保没有辐射过多热量。如果不是，泵轴承可能已无法达到极限压力压力是否因水蒸气而受无法达到极限压力压力是否因水蒸气而受是否任何真空压力表有污是否任何真空压力表有污抽取速度是否不足（由于泵和压力表接触不良或中使其接触良好或减小体层间入口压力是否>0.5层间入口压力是否>0.5mbar(50pa)涡轮分子泵上的入口压力会增大；应确保层间入口压力<0.5mbar(50pa)。前级压力是否>10mbar前级压力是否>10mbar?能太大。检查后备管道是否有泄漏。如果对处理能力要求较高，则可能需要系统的高真空区域是否有如果是这样，应清洁高真系统的高真空区域是否有检查系统的其它部分是否泵转速与所连接系统的共震动是从转动的后备泵传噪音是不是不规则并且越泵是不是发出持续的啸如果发现有，则应修补泄漏处并清除污物。如果是这样，则应更改系统的固有频率或使用活动如果是这样，则表示轴承如果是这样，则表示转轴如

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