检漏仪维修操作说明SmartTest

HeliumLeakDetector产品规格介绍产品构造及功能介绍测试方式介绍产品设计长处售后服务HLT拆解参照客户1PV_2023-04_E.ppt1/18产品规格介绍

HLT560HLT565HLT570(Dry)HLT572(Dry)

最小测漏率(mabrl/s)

5.10-125.10-125.10-125.10-12分子泵型式分流式分流式分流式分流式前级抽速(m3/h) 53027.5启动时间(min) 3333反应时间(s)

<0.5<0.5<0.5<0.5最大进口压力(mbar)

25252525内部校准泄露

标准

标准

标准标准自动校准功能

有有有有附小车

无有无有2/18产品构造及功能介绍RC260：显示屏幕Massspectrometer：质谱仪Oilmistfilter：油雾分离器Testport：测试口Valveblock：阀组模块Testleak：标准漏率棒EVV：讯号放大器V1~V6：valveblock阀组DUO5A:机械泵TMH071:分子泵3/18检漏仪显示面板此控制面板包括了controller、display，对于使用者而言，操作简单(onetouch)。Controller：Start、Stop、Zero、Setup….Display：漏率显示、状态显示、操作显示、参数显示….4/18离子源/Ionsource材质为iridium/yttrium使用寿命长。(其他品牌材质为wolfram)2cathodes设计，若其中一组损毁机台会自动切换至第二组。5/18质谱管/MassspectrometerMassspectrometer180°离子轨域及filter设计，不但提升对于侦测气体之敏捷性，愈加强了漏率之精确性。6/18油雾分离器/Oilmistfilter在前级搭配油式机械泵(Rotaryvanepump)，氦气测漏仪之型号中(HLT260、HLT265)，配备油雾分离器(oilmistfilter)能够分离油气,避免造成工作环境之污染。7/18分子泵/Turbopump独特PFEIFFERTMH071Split-flowturbopump之设计可承受更高之进气压力，并且保持最佳之抽气效率，同步可大幅度减少因进气压力突然增大而对turbopump所造成损坏。8/18真空阀组/ValveblockValveblock与Split-Turbopump之搭配设计，在于最大工作压力可达18mbar(业界最高)，提升待测之时效性。对于使用者之误操作(破大气)，提供保护功能，避免

turbopump造成损坏及氦气测漏仪内部严重污染。9/18测试方式介绍

(Vacuum&Sniff)正压测试(Sniffermode)将待测物体利用示踪气体(4He，3He，H2)施加内压，并利用Snifferprobe于待测物体外侧检漏也许之漏点。负压测试(Vacuummode)将待测之腔体连接上氦气测漏仪之testport，以真空装置或氦气检漏仪(本身为vacuumsysytem)看待测系统做抽真空，使其压力低于25mbar,再于也许泄漏点喷少许示踪气体检漏。10/18产品设计长处业界最高入口压力25mbar，即可进入检漏状态独一无二外接真空计功能，可直接在检漏仪面板上显示系统真空度Roughingpump选择性高Vacuum+Sniff为标准配备内置标准漏率棒,可自动校准11/18模块化设计便于维护和维修操作简单,一种按钮启动,3分钟内进入工作状态专利型双流设计,高敏捷度能对检漏仪及被检件提供保护灯丝寿命长（铱/钇材质、两组切换使用设计)敏捷度高,侦测到漏气0.5秒钟内即会有警报产生产品设计长处12/18售后服务

维修保养能力：工程师受德国原厂技术训练且认证，并且设备最主要组件turbopump亦为Pfeiffer生产，因此对设备保养及维修具备丰富经验及效率之保障。维修保养时效性：全产品均由Pfeiffer生产组装，上海伯东作为德国原厂设置产品维修服务中心，能够及时提供备件支持及迅速反应能力。技术支持能力：因产品应用广泛,上海伯东可依据客户实际使用状况,提供对应教育培训及应用提议。13/18氦检漏仪拆解图14/18分子泵、阀组分解图turbopumpvalveblock15/18TMH071拆解图buttom,co