第六章-磁执行器+修改

第六章

磁执行器基本概念和原理

-磁化及术语

-微磁执行器的原理

微磁元件的制造

-磁性材料的沉积

-磁性线圈的设计和制造磁传感器实例MEMS磁执行器的实例电磁式微执行器---基本概念磁化及术语

在磁场中的磁性材料会发生内部磁性的极化，这种现象称为磁化。磁场强度（符号H）代表外部磁场对磁性材料的影响，单位A/m。磁场密度（符号B）代表在磁性材料中感应的总磁场，单位特斯拉（T），1T=10000Gs。一般常见的磁性物体磁场密度是：

普通电冰箱的磁场为：100-1000Gs地磁场（赤道附近）为：1Gs磁存储介质为：100mT或100Gs用于磁谐振成像的稀土磁体为：1-2T家秘庭费常只用贺电容器勒电软磁京辐蓬射目检工测堆数姿据劳参懒考均表(坡m货G：高毫蓬高涂斯)电器咖啡炉传真机电熨斗录像机VCD电磁辐射量1mG2mG

3mG

6mG10mG电器音响电冰箱空调电视机洗衣机电磁辐射量20mG20mG20mG20mG30mG电器电饭锅复印机

吹风机手机

电脑电磁辐射量40mG40mG70mG100mG100mG电器电须刀电热毯吸尘器无绳电话

微波炉电磁辐射量100mG100mG200mG200mG200mG硬晴磁影体达与姓软璃磁爽体硬键磁丢体牲：棋极曾化斯后马剩箩磁屿较碌大软北磁碍体乌：能极蛇化图后屡剩啄磁梁较协小停或絮无再剩箭磁电主磁屠式缝微遵执财行垮器-支-藏-基雄本贺概坚念磁帆执听行拌器拨原去理电沟磁燥致证动：量通愉过造线叮圈慕通联电宵产敬生英磁优场巡寿，伟导田磁插体粗由统于缴磁啊场挎力屡的庙作关用堆而遭产闲生携运请动预。通戴电单线疤圈通径电竿导游体挖产畜生缎磁堤场镰。觉平董行讲的杏两挺条钥导为线萝中征通从以针相律同貌方汪向模的肢电私流茫则早彼迫此弄之砌间铁相足互鞠吸筒引豆，窄如鼓果尚通衬以佛相赤反注的凝电秋流胞，非则抽彼灯此思之看间终相柄互御排鼓斥灰。电乡丰流亲流母过U形挡导友线毯时击会徐在幸两原条耗导甘线虎之膊间童产遣生行排锅斥坡力既。携类陆似介地霞，淘在堡一朝条坑置语于承磁闹场主中铜的胀柔六性伶金品属倾线您上掏通亿以屈电械流僚，院导蛾线绳会质发唉生擦偏坚转舱。通恒电泉线程圈台也访能休产肺生就磁伟场般，苏它音可敏与视磁食铁蹲或朽相爱隔恶一商定舱距挨离擦的质线白圈筋产彼生妻的奔外何磁殿场晋相餐互种作歼用柱而退产盘生允机焰械况力乐。优库点察：避纽奉免没引言线磁浓场族对骆环警境敢影高响悠较况小用愿无绸源竞永伟磁镰体腰，遭耗劳能猪小微胸磁替执搏行凤器连的艰原惕理例8绳-滋21寒T的换均卵匀素磁厘场冶中次，1恰0蛛m晋A电吉流呜的1佛0馒0μm长离金运属盈线尊，姥与券磁话力案线少垂蔑直凶，默受正力追多电少赵？BI洛她伦盒兹浴力？磁独体逢在同磁化场逢中律的香受痒力MMMMMMMMMMabc情况a情况b情况c磁片123412341234静力00000000FFFF静力矩00000T0T0T0T1234微俘磁抢元么件狡的风制凝造-攀-持-磁望性惑材伞料躬的蛮沉技积尽迷管绝可塘以海把像小传片组磁厚性瓜材贷料信附亩着晶在粱微燥机部械方结时构态上亭来舰实铅现貌传速感觉器出和码执谊行室器牲，部但兆通哄常烘这惑样树的夕方奇法登效狼率率很华低盗。甜磁米性谈材闹料召的遭片庄上茫集姻成尸更允加组精榜确留而龟且孕应董用筐广婶泛需。微竟器昌件姨沉万积要铁豆磁败材循料诉最舞常肆用压的财方腊法沸是歇电霞镀寸。医含慰有掉所捐需外磁剧性映材者料渗的堆离涝子役化窝学泊溶贱液断用纳作幻玉晶驴片坚的缺电叔解拳液廊。妥在愤电拨镀位槽球中承放社有飞相种反抽电悔极装，宪金似属伸沉锡积洪（至晶钞片堵）杂的互工另作挤片瓶加独上哀负到偏耗置淡电京压签。图寻磁汗性脆材蓝料洲电卷镀者的啄工才艺情流早程图盯电烦镀橡模顶具接移易去令后玩，序形颜成秧的锣蘑币菇蓄状拐电柴镀芳金广属微并磁紫元谜件怜的蓄制锋造-岩-禁-磁采性朝线佣圈诱的景设怒计袄和喂制芝造在旦芯斤片世上顾集伞成顷螺市线邀管桃是踢一艰件姐很甜有涂意储思梅的谷事颈情惠。纯它忽们丙可趴以身用隔作盆电疯磁坑源属、奸线贿圈捎执休行考器并、须电猛感黎器的、栋遥犬测文线择圈捡和谊集逗成耐电亦路反中饮的啄变白压北器歌。狂最川普匪遍黑而淘且宰可蛮以置制有造朋的虎电摊磁狂体顾形盼式规是德单努层肺、英空冶心卧的添平源面逐线伶圈斤。矿这亦样捏的选线哀圈贷不歼能登产壮生歉很锻强赤的铲磁翁通因量酿密漏度却，稀因坦为雹缺眼少脸磁纷芯炊而眼且淹横病向疑分役布被的址金钢属俯线钞远匙离绘线韵圈渴的罗中日心渠。译下爬面什两仔幅剧图雀堆灰多详层喉平能面落线赛圈负的准工荐艺位流代程毯以惨及鸭三榜维碧微免线铲圈象的丛制当造拾进咏行今了鱼说茧明沙。图6触.份1多蹄层扑平紫面棚线君圈搬的幼工吗艺场流润程图6刻.劣2三跨维凭微搞线扒圈笑的饱制垫造电其磁左体电遮磁资体磁险性窄梁驻执尸行稼器永磁体氮化绝缘层入口出口德国的电磁致动微型阀金线圈多晶硅德委国歇研模制咐的歪电揪磁英致予动魄微默阀衫，简阀更片术为议牺铸牲亚层浓技责术永制臂作息的长多酱晶有硅签膜普。跌这衣是仔为赏小羡型泉气骄体门分挨析衰仪附设薪计里的狸微差阀荡结糊构滋，步设稍计裁的友压涨力根指慕标价为1堪0膛-柜5俘0锦k婶P鸣a，猾过柔流汪能销力片为2嘴-料2剪0慈m该L事/判m冷i咬n，社响统应宪时钢间拦为5些m升s。电俘磁贫致陷动种微钢阀电猾磁解式飞微子执境行潮器愁实胃例外腐加哑磁江场桃导顿致坡称莫嫌合瘦金区饭域锹产技生磁腥性虫极株化，朝这朴反馅过选来狮又舱和怒外熔加您磁秃场遍作棍用艇，垦结基果钟导论致市执促行男器茫重量新境定也位暂，杠直根到药它迅与均磁继场秘对凉准卵。曲该央器坦件缝可幻玉用颜于誉斩币波期、拼扫风描呼、绪光扇束蒜导拣向态等朱微胳光颗学昼场鞠合走。外风加呀磁妹场然的围磁章执蚕行石器铁镍合金线圈导管硅外部驱动微机械电磁阀该怪阀愁由邪一桥个N惩i换F确e溅厅射坟阀吸座鸭和凤一娇个柱可价开至启傍、衰关呼闭怀的呆可乌移积动N秃i腰F定e阀毅膜滚组督成蓄。起依啦靠铸活枣动矛膜委片尤上射支掉撑筋弹英簧翻的士内旦力慰，导可掀以卡制衰成查常坚开督或挂常包闭夜阀冷。破微明机箩械猪阀陪元稳件系放踩置蹈于排携忧带抛有幕流铁体芳的肚管减道恢中锐，君管禽道记的男外劲面柿是触由邻外宝加健线戚圈肠形啦成撒的渡磁葛场剧，梦构醋成光了沫一袋种爪电他隔沉离谨操鸦作贡。外售加卡磁攻场兄的且电喇磁卸阀电但磁披式关微无执卡行焰器延实搜例(透7的)电睁磁桐光烘开梯关电舍磁阔式呢微漂执闸行驳器洗实必例(嘱8鸟)磁场光纤MEMS驱动器电磁驱动光纤开关原理示意图加堡州劫理柳工通学爆院板设可计栗的揉一拉种绕电痛磁芝驱助动漆光葛纤夸开贪关亲的研原烈理套示京意顷图拨。录当馆开边关侨处略于该开迎状骄态战时养，贴电研磁糊驱瞒动排器阀带蝴着锦双买面考微椒镜港向摇上纲运惠动柔，胆将率微失镜庭置芬于粪光奴纤叔之换间啊，影每贡个去输誉入泛光肚纤悄的做光胡信担号全经驾反溉射漆后浆从累相农邻苍的穿输哥出歇光赔纤速输年出摧，洽如映图a所覆示栗；驴在鸡关缩慧状乡丰态触，债微聚镜帽在矩光费纤灭之伍下邻，融输止入筝光鸣纤扰的铅信渐号吸直稿接吼从腔正目前犹方蠢的出输凭出康光筝纤抖输狼出伐，闭如冒图b所培示古。电探磁冻式型微蜘执暗行池器笼实踩例(碌9岁)磁抄马赴达可猫变彻磁蛾阻五的护微铃磁剖马甘达稀，萝它羞带探有焦全机集仆成友的锄定亲子遭和堡线弓圈散。才定邀子纯由恋集亿成通的棒电耕磁恶体拉制啄成闻，话转而子叉由从软挤磁安性侮材坡料回制茶成止。祥马庙达武有尤两愧组烘显舱磁健极储，茅一醉组身在滔定符子索上鸭，熟一沙组吹在出转拆子辩上译。当鹅激服励袄相至位任线份圈吼时狡，堆靠走近戚激素励忙定丛子较电糠极呼的叼转端子荐磁林极惧会崇吸嚼引虑到泉定假子共磁进极筒（雅如苏图a、b所叼示轮）文。衔由娱于婆定牙子已旋泰转坑，社定劝子炊磁辱极迁将虽与滔转校子摊磁览极船对虽准连。蹄关押断按激趁励举相俘位讯线闯圈勤的呼电吹流棍，东下询一恼个绿相浓位蓝开性始职激霜励嫁使纤之芽连堂续激运赶动洗。双单稳职态井磁筑开搬关静医电舰执对行悠器杆需沃要琴恒呈定宗的绒电努压轿偏秩置岂来杀保浮持录开泄关坊在廊开侦或塑关垂的尼状范态裤，炸比凉较毒容纹易些受好供旨电蒙中游断饭的厨影裂响漏。椒开脊关甚的圆双私稳眉态衬锁难定蒜很渗重应要舟，界因炼为素它含只枕有但在口开服关肿的弹转地变赔过它程运中礼才刷消惨耗环掉腿功碑率胶，牵但玻无鸟论蜘在良开奶或绑关聚的兆状剥态腿都伐不同需愚要展电钱来顾保俗持卫。电些磁宁式兽微虹执京行办器建实陈例双烂稳坝态株磁散开与关麻结杜构:由宇扭丑转尼支增柱时将倾悬天臂代提窝升启在材衬掩底展表性面阳的文上揪方栽。榆悬注臂题由债顶吸部烂上导的申软劣铁批磁渔材羡料白和押底得部侧上辱的趟一舰层忘高振电置导垦率公的疾金寄属响构应成惕。努平僻面名线镜圈肾埋斩置兄于秀悬捏臂碧的获下谋方仿。偏受置躺磁原场晋有巩两弄个虏来裕源虽：虑一歇个具是洗平馋面和线股圈铅，衬一搜个限是亲永怨久探磁哲体绵。永雹久亩磁习体傅位翠于角衬锣底屠的缘瑞表紧面哨，陪用屯于砍提强供途恒猴定规的胶背米景粥磁栏场拼。该配开散关孙的谢独怖特粪设单计雨在暑于忘：双估向蜓磁低化想可则以狡通商过怠使逼用食第仗二礼个熟磁由场学很矿快徐反帜转栗。优这企使羞得尖可倡以旱施葱加狡小雨电捕流拳来织实女现例力境矩传和屯开尘关虾位瓶置喜的残转讽换堤。躁为烦了含实钉现鼠这宇一宪目歼标最，各在袖悬绵臂租梁家和凉外徐部侍磁亏场郊之繁间光使北用石了痕平火面稳线肤圈羽以因产第生牌磁萄场赞来歇补虫偿劈燕外颠部逆磁射体竹产历生注的高磁裤场悬。则永客久委磁俘体填使系悬喜臂节保纤持颂在裳开恐或活关妈的稿位喉置枣直他到叶下国次餐开惑关竟动亭作谊出涝现遍。磁抽致闪伸句缩邀执概行顽器磁善致雹伸闭缩上效抱应崇：1荐8钳4洒0年眉焦夜耳播发禾现祥，巨当叹给押镍电棒虑加爆一鱼个袖轴腐向位磁蛮场君时侵，贪它经会盛收奔缩碧。在摘外怖加寺磁哀场违的罚作幼用锦下粱，齐材察料帖的件磁乞畴战按杆外南磁挺场为进毛行黑排洪列鸣，花从革而推引咬起爬材霞料煌尺出寸做的输变墨化能。微阵型砌磁蚀强墨计定喘义良：击利帆用M际E仪M恋S技遮术狮制雨作慢的轰，煌把度磁体场蛾强调度废和什方怀向化信朴号剂转贼换姐为咳电闹信痕号榜输伍出错的薯器隆件阴。微索型辆磁掀强夏计挨按活工贺作课原绿理猴主山要默可禽分游为冤两搏大址类谋：陕电赞磁磁效怜应型式妖和酿机楚械暗式帜。微尽传傅感分器胸的坚实子例—植—电瘦磁微低型督磁宫通传门蚕式浑磁妨强闷计磁阁通皆门弄式剖磁桨强酷计械由郑绕恒向吹相丈反唱的狮一天对灵激教励显线薪圈诉和防检泉测饰线阅圈楚组层成胖。筛磁窜芯夹工射作岗在卸饱另和筹状商态法。当宋被况测谋磁码场姜为公零吉时坚，唯两挡个疫磁殖芯钱中桂的警磁创通黑量怨大蛋小倡相阻等易，左方榨向突相千反滚，冤在孟测皇量刮线雕圈蚁中踪蝶无测电扑压翅产椒生晋。链当曲被难测沈磁东场必不渣为桑零纹时昌，殖在两测杀量就线魔圈零产豪生进感渡应蛙电迹势吓。德碰国完于1英9毁9孤5年腰研照制奶的垒微球型存磁臣通庆门基磁省强毯计典，采利亦用C市M吃O鞭S工亲艺剃制爪作盟线晓圈控。走尺供寸楚为1m周m么×斩1崭m泻m认×雪1偶u犁m，畜灵个敏培度卡为9安.翅2违m抖V榴/胶u吸T微震型色磁史通年门薪式咏磁工强满计聚例桃（1）日乏本滑于1妙9夫9弃4年拦研妈制材的镰三锯维鸭螺恨线奖管命线猫圈纠，江尺蒸寸睁为4糖.貌9属m圆m钟×穷1柄m辆m洋×渴4m，握灵狮敏泛度怖达龙到2势7棒0魂0榴V难/他T，冒分津辨棕率扫达跌到1旨0-雄7T微养型塔磁写通贤门揪式伶磁基强踪蝶计桌例叶（2）机息械汇式贡微摘型洒磁扔强孝计布插有们线测圈扮或哥永哄磁队体饭的坊微蜘梁昌在黄磁竹场嫁中受受涛力江变赚形愚或折运僻动猫，袖通洞过垒测当量议该贡变煮形朋或