制程控制系统设计课件

制程控制系统设计设计处教育训练资料Confidential,unpublishedpropertyofL&K.Donotduplicateordistribute©L&KEngineeringCo.,Ltd.2006制程控制系统设计设计处教育训练资料Confidential,大纲

制程控制系统概述CDA控制系统GN2控制系统PCW控制系统PV控制系统大纲制程控制系统概述制程控制系统●概述

无尘室制程系统主要包含：CDA系统、GN2系统、PCW系统、PV系统；

制程控制系统就是对每一个系统进行自动控制。制程控制系统●概述制程控制系统●CDA系统空压机空压机干燥机干燥机tank过滤器过滤器空压机TO使用点tank制程控制系统●CDA系统空压机干燥机干燥机tank过滤器过制程控制系统●CDA系统主要参数：1、排气量2、排气压力3、排气含油量4、排气含尘量5、排气露点制程控制系统●CDA系统主要参数：制程控制系统空压机空压机干燥机干燥机tank过滤器过滤器空压机tank流量计露点温度压力传感器微尘粒子计数器差压开关差压开关1、AUTO/MANUL2、RUNNINGSTATUS3、FAULT4、REMOTEON/OFF●CDA系统自控设计制程控制系统空压机干燥机干燥机tank过滤器过滤器空压机ta制程控制系统空压机空压机干燥机干燥机tank过滤器过滤器空压机tankVFD:1、AUTO/MANUL2、RUNNINGSTATUS3、FAULT4、REMOTEON/OFF●CDA系统自控设计1、AUTO/MANUL2、RUNNINGSTATUS3、FAULT4、REMOTEON/OFF通过通讯接口，通常为MODBUS通讯接口：1、AUTO/MANUL2、RUNNINGSTATUS3、FAULT4、REMOTEON/OFF制程控制系统空压机干燥机干燥机tank过滤器过滤器空压机ta制程控制系统●GN2系统10m3PSA纯化器PSA纯化器CDATO使用点制程控制系统●GN2系统10m3PSA纯化器PSA纯化器C制程控制系统●CDA系统主要参数：1、排气量2、排气压力3、排气露点制程控制系统●CDA系统主要参数：制程控制系统●GN2系统自控设计10m3PSA纯化器PSA纯化器CDA流量计露点温度压力传感器1、AUTO/MANUL2、RUNNINGSTATUS3、FAULT4、REMOTEON/OFF通过通讯接口，通常为MODBUS通讯接口：1、AUTO/MANUL2、RUNNINGSTATUS3、FAULT4、REMOTEON/OFF制程控制系统●GN2系统自控设计10m3PSA纯化器PSA制程控制系统●PCW系统制程控制系统●PCW系统制程控制系统●PCW系统主要参数：1、出水温度2、出水压力3、回水温度4、回水压力制程控制系统●PCW系统主要参数：制程控制系统●PCW控制设计主要分二部分：1、水箱控制2、加压控制3、过滤控制4、冷却控制制程控制系统●PCW控制设计主要分二部分：制程控制系统●PCW系统自控设计-水箱控制液位传感器控制补水导电计控制排水制程控制系统●PCW系统自控设计-水箱控制液位传感器控制补制程控制系统●PCW系统自控设计-加压、过滤、冷却控制露点温度压力传感器1、AUTO/MANUL2、RUNNINGSTATUS3、FAULT4、REMOTEON/OFF差压开关控制板换冰水阀VFD:1、A/M2、RS3、FAULT4、ON/OFF制程控制系统●PCW系统自控设计-加压、过滤、冷却控制露点制程控制系统●PV系统真空机真空机储气罐5m³用气点排气排气CHWSCHWR制程控制系统●PV系统真空机真空机储用气点排气排气CHWS水气分离器水冷却器真空泵浦（转子）马达控制电盘水气分离器水冷却器真空泵浦（转子）马达控制电盘真空使用端泵浦入口泵浦出口排气冷却水进水冷却出水水进入冷却器水冷却出口进入泵浦水，气进入分离器自来水补水自来水排水自来水补水真空使用端泵浦入口泵浦出口排气冷却水进水冷却出水水进入冷却器制程控制系统●PV系统自控设计真空机真空机储气罐5m³用气点排气排气冰水温度压力传感器1、AUTO/MANUL2、RUNNINGSTATUS3、FAULT4、REMOTEON/OFFCHWSCHWR制程控制系统●PV系统自控设计真空机真空机储用气点排气排气简报结束谢谢Confidential,unpubl