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文档简介
IC工艺名词解释(1)Accounting影响工厂成本的主要因素有哪些?答:DirectMaterial直接材料,例如:蕊片IndirectMaterial间接材料,例如气体…Labor人力FixedManufacturing机器折旧,维修,研究费用……等ProductionSupport其它相关单位所花费的费用在FAB内,间接物料指哪些?答:Gas气体Chemical酸,碱化学液PHOTOChemical光阻,显影液Slurry研磨液Target靶材Quartz石英材料Pad&Disk研磨垫Container晶舟盒(用来放蕊片)ControlWafer控片TestWafer测试,实验用的蕊片什幺是变动成本(VariableCost)?答:成本随生产量之增减而增减.例如:直接材料,间接材料什幺是固定成本(FixedCost)?答:此种成本与产量无关,而与每一期间保持一固定数额.例如:设备租金,房屋折旧及檵器折旧Yield(良率)会影响成本吗?如何影响?答:Fabyield=若无报废产生,投入完全等于产出,则成本耗费最小CPYield:CPYield指测试一片芯片上所得到的有效的IC数目。当产出芯片上的有效IC数目越多,即表示用相同制造时间所得到的效益愈大.生产周期(CycleTime)对成本(Cost)的影响是什幺?答:生产周期愈短,则工厂制造成本愈低。正面效益如下:(1)积存在生产线上的在制品愈少(2)生产材料积存愈少(3)节省管理成本(4)产品交期短,赢得客户信赖,建立公司信誉FAC根据工艺需求排气分几个系统?答:分为一般排气(General)、酸性排气(Scrubbers)、碱性排气(Ammonia)和有机排气(Solvent)四个系统。苍高架叉地桨板分遍有孔科和无论孔作腿用?奇掩答:痕使循碗环空追气能才流通父,奥不起誓尘,良保证刃洁净炒房内连的洁冤净度触;苏防静捉电;消便于昂HO牲OK轨-U吼P。终拾离子丸发射走系统雷作用把社答:黎离子锹发射躬系统折,防盖止静颠电锣SM说IC挪洁净泰等级佩区域撇划分税岗答:纲Ma棵sk岔S塘ho律p序cl枕as闪s没1它&辞10允0F喘ab智1敞&棵Fa超b2垂P蹦ho饰to午a厘nd博p碧ro屿ce率ss霜a暴re姨a:品C括la亏ss骂1得00赴Cu青-l今in通e矩Al鸭-L戒in垄e冻OS肝1不L惨3秋OS则1西L愉4某te使st辨in乌g蹄Cl惨as鸟s责10浇00瓣祸什幺似是制冲程工判艺真潜空系膜统(雕PV载)预答:低是提山供厂蕉区无金尘室陶生产阁及测敞试机哑台在罢制造越过程柳中所分需的旅工艺债真空俭;如蛙真空封吸笔义、光释阻液棉涂布朱、吸藏芯片离用真穷空源杨等。眼该系笑统提荒供一农定的构真空纠压力详(真需空度留大于施8低0嫌kp巩a)钻和流筝量,纳每天筛24信小时纠运行蚊教什幺烈是M镰AU养(M宵ak弯e贵Up纳A姿ir要U绘ni焰t)欺,新夏风空献调机屿组作苗用课答:专提供隙洁净肉室所陵需之茫新风趴,对船新风逢湿度卖,温填度,屯及洁他净度害进行袋控制毫,维非持洁箱净室暖正压赢和湿群度要绳求。让裕Ho梳us目e剃Va妥cu筑um仗S怀ys屿te送m羊作用订蓝答:疾HV抚(H阵ou脂se译V挑ac问uu鹊m)谋系统根提供复洁净膛室制赢程区资及回贱风区颤清洁雁吸取垂微尘胀粒子俘之真乒空源橡,其络真空狐度较谨低。部使用以方法等为利顷用软销管连骗接事令先已由安装慌在高政架地押板下丙或柱关子内悲的真谦空吸摩孔,祥打开始运转战电源危。此引系统鹊之运狡用可汤减低柏清洁探时的国污染围。查Fi残lt狮er贵F障an葵U朱ni抄t带Sy凭st司em锣(F剑FU刚)作婚用蒸答:束FF粒U系译统保纽证洁肯净室那内一饮定的奋风速笔和洁胳净度卸,由乌Fa位n和晒Fi纠lt登er蛛(U温LP北A)店组成弦。转什幺状是C捧le梨an筐R搅oo字m尼洁净稠室系嫁统欲答:扰洁净伪室系怒统供根应给跟制程雹及机湾台设渐备所倦需之普洁净吴度、除温度剖、湿久度、惰正压依、气扛流条李件等愚环境蹈要求笛。档Cl筹ea附n平ro牺om船s农pe钢c:绞标准抖弦答:突Te称mp鸟er叙at因ur洽e植23夫嘱°已C骑±虏1足°拍C同(P社ho价to榆:蝇23万宵°柱C蛋±和0.创5利°明C膀)H泳um缩id恢it拿y赚45基%晋±贸5渡%(废Ph寿ot尊o:品45计%害±祥3松%旗)C芬la浩ss僚1淘00驳Ov替er臂pr夸es加su扩re芒+竭15誉pa具Ai图r住ve旧lo倒ci堆ty冬沟0.映4m蹄/s平仇±是0.翁08聚m此/s握恨Fa丽b矿内的嫁sa映fe享ty她s静ho毅we替r的薄日常社维护嚷及使柜用监图督由劫谁来岭负责坛迎答:木Fa屿b靠内的喷A症re绒a晴Ow丽ne模r(光若出肠现无读水或礼大量番漏水吊等可肥请厂霜务水闻课(酬19捏10赴5)作协助图)挠工程悬师在斩正常堵跑货伍用纯灶水做款ri梯ns包e或概做机显台维骗护时撞,要彼注意匙不能促有酸疲或有激机溶忘剂(吵如I绒PA邻等)铸进入爱纯水劲回收爹系统蛋中,让这是晴因为索:刺答:犯酸会钟导致泳co眉nd灵uc么ti宗vi辣ty以(导竹电率告)升皱高,韵有机崭溶剂夜会导际致T迅OC割升高绪。两苍者均宗会影术响并戴降低全纯水更回收攻率。莲江若在则Fa泛b姐内发浮现地答面有公水滴比或残辨留水痛等,鸟应如库何处爹理或点通报哄牢答:谎先检平查是融否为俩机台弹漏水堆或做歌PM顽所致艺,若搜为厂没务系叛统则慎通知涝厂务督中控鞠室(睁12络22床2)凡椅机台嫂若因删做P沟M或猴其它身异常料,而逢要大俗量排项放废校溶剂想或废馆酸等盏应首红先如模何通拒报凯答:边通知治厂务帽主系披统水臂课的市值班珠(1舒91省05奴)润废水木排放砍管路打中酸山碱废针水/达浓硫昂酸/帖废溶践剂等韵使用底何种找材质南的管休路?引看答:墙酸碱拜废水疑/高碰密度驻聚乙庄烯(枣HD命PE坑)浓情硫酸担/钢斑管内跨衬铁锻福龙民(C领S-遮PT唤FE蓄)废甜溶剂缠/不泳琇钢胳管(断SU续S)地响若机型台内控的d合ra厚in氧管有轿接错拴或排吗放成瞒分分炭类有恳误,化将会欢导致枝后端东的主市系统逮出现厚什幺蓝问题粉?衔答:弱将会翅导致冈后端舱处理庄的主毕系统亏相关功指标衫处理俭不合迈格,稍从而痰可能菌导致虾公司推排放号口超谦标排体放的竭事故供。脾公司桂做水煤回收村的意余义如皂何?兼沃答:烧(1毯)絮节约涝用水穿,降沙低成临本。逐重在依环保猫。南(2奔)蓄符合吃IS狱O可塘持续备发展习的精摧神和级公司赚环境卵保护千暨安眨全卫幅生政绳策。炕业何种赏气体泥归类厅为特松气(月Sp看ec碗ia粮lt棕y缓Ga壶s)蹲?麻答:竞Si贿H2彻Cl旗2均何种母气体旺由V糟MB音S侵ti稀ck愿点供厨到机哲台?任阶答:舱H2刚企何种茅气体运有自座燃性舰?涌答:畜Si黎H4钱将何种桂气体抽具有姐腐蚀巾性?税川答:熄Cl丰F3洗例当机急台用殿到何身种气轰体时堪,须平安装俭气体龙侦测烧器?边券答:汗PH羡3哀名词裁解释内G毒C,裹V欲MB挎,兆VM扰P际答:倾GC案-腥Ga斤s误Ca饮bi菊ne驶t拉气瓶向柜V斧MB价-养Va乒lv厌e枣Ma融ni俭fo丘ld锋B轧ox怜阀礼箱,厅适用循于危激险性灿气体再。V斗MP矿-舒Va捞lv夸e列Ma昼ni退fo狮ld尘P冶an匆el御阀哑件盘漫面,闭适用乳于惰摘性气赠体。榨房标准兆大气企环境森中氧千气浓么度为净多少养?工灭作环畅静氧仔气浓镰度低逢于多肢少时做人体萍会感笔觉不帜适?辱涨答:污21嘴%1积9%饲欲什幺扮是气援体的晶L拴EL夸?惹H2奏的L亿EL型为射多少女?娘答:嘱LE冰L-笑L黄ow把E吨xp假lo歇si琴ve谷L堵ev止el喝气仙体爆艺炸下世限H洪2美LE液L-徒4冷%.辞号当F盐AB收内气性体发粱生泄恳漏二断级警随报(栗既L赤ea素k伤Hi福Hi叮),雷气体剥警报语灯(微LA漠U)忘会如暑何动途作?象FA胶B内坑工作青人员怠应如躬何应撤变?甩赖答:鞠LA签U红泪、黄厉灯闪柿烁、赔蜂鸣密器叫餐听从溜ER景C广炼播命罢令,锻立刻诵疏散蚊。柳化学备供应已系统唯中的铃化学国物质捡特性庄为何鞠?两答:榨(1锁)逮Ac睡id充/C当au让st畅ic岂酸训性/毅腐蚀睬性(己2)判S嘴ol痕ve农nt客有机乒溶剂驻(3锈)治Sl毁ur锤ry安研磨剑液无有机曲溶剂浊柜的浇安用腹保护显装置抄为何健?戏答:迟(1本)蜜Ga程s/盐Te复mp叶.耳de拣te抱ct武or弟;气悔体/结温度俘侦测服器(堂2)价C辅O2腥e吧xt萍in槐gu蔑is支he壤r;刺二氧四化碳叉灭火钻器拣中芯苍有那甲几类咏研磨毯液(丰sl撤ur近ry镰)系成统?赴走答承:(粥1)巾O酱xi沉de票(曾Si足O2愚)苗(2融)装Tu酿ng平st贡en暮(很W)齐鵭兆设备绞机台甚总电勿源是狗几伏敞特?餐小答:叹20级8V译O悼R蚂38城0V型碍欲从精事生僵产/门测试斗/维镜护时启,如努无法迅就近择取得懂电源册供给孕,可触以无便限制库使用血延长倦线吗划?逼答:姜不可钉以骂如何殿选用浩电器牵器材药?顽答:遍使用狂电器帆器材萄需采混用通仇过认逝证之真正规种品牌肺告机台停开关居可以梅任意鹊分/顶合吗魄?啊答:猪未经波确认唇不可航随意戚分/后合任虏何机咽台开港关,述以免岩造成逼生产残损失肺及人歪员伤盟害.秀不欲从露事生叉产/比测试府/维技护时痕,如岭无法羡就近庙取得客电源山供给庙,也肌不能森无限馋制使哨用延络长线网,对宿吗?朋找答:最对热假设猪断路狗器启垒断容劳量为钟16细安培繁导线浙线径珍2.暑5m具m兔2,补电源恩供应衰电压免单相梢22立0伏糊特,贝若使白用单机相5撇00构0W察电器劣设备它会产遇生何坛种情境况?匙烦答:甚断路举器跳原闸辅当供永电局塔供电择中断旋时,余人员皱仍可谅安心南待在犬FA预B中友吗?忽质答:扇当供宽电局摘供电众中断价时,掏本厂精因有希紧急箩发电贼机设罩备,今配合消各相妹关监括视系饺统,刻仍然庭能保葱持F崭AB浪之S陷af锐et绕y,趴所以缠人员鹊仍可炉安心凑待在府FA贪B中绩.践MF总G忙什幺属是W直PH千?罩答:流WP栋H(丧wa筹fe志r碰pe边r遥ho淋ur供)土机台抗每小道时之危芯片举产出捷量婆如何旬衡量战W面PH览?葛氏答:愚WP奴H混值愈利大,谅表示正其机独台每燃小时闯之芯床片产川出量吸高,益速度努快最什幺农是意Mo蜘ve肤?歌答:愚芯片需的制拌程步斯骤移勒动数忌量.乏关什幺碍是辉St胖ag偿e径Mo想ve劳?系答:振一片神芯片饰完成道一个棒St奔ag顾e之脂制程姥,称蜓为一恩个S缠ta骄ge瓜M攀ov厉e易什幺掉是S版te踪p下Mo盛ve欣?夺答:鬼一片拴芯片毁完成狼一个喘St膀ep驴之概制程山,抽称为两一个洲St沉ep红M序ov刊e.纲挡St稍ag规e愤和叹st白ep挽的凑关系虫?吓答:芹同一宁制程乎目的虾的s舅te拴p合篮起来扮称为棒一个槽st芹ag艇e;鬼例秃如炉牲管制畜程长趁ox笋id目e的颜st握ag云e,易通斥常要佛经过桌清洗顶,进属炉管呜,出庸炉管纷量测爽厚度花3道禁st他ep协金AM正HS倒名词秩解释脊?嚷答:残Au其to脆ma喇ti岗on蠢M惠at患er蛾ia碌l切Ha霉nd呼li尝ng浅S咐ys游te效m;跌生斤产线盛大部弹份的动lo拢t是除透过侦此种六自动龄传输谨系统考来运化送虑SM页IF荐名词位解释雪?言答:蔽St速an率da抱rd册M裤ec浅ha厨ni晨c齿In差te许rF及ac在e悉(确椅保芯诊片在南操作维过程辆中;宅不染会曝卖露在堂无尘完室的暂大环基境中谜;所扣需的火界面叼)那所需县使用旨的器斩具有奴FO体UP师/L材oa棕dp忽or耍t/补Mi贯ni污-e控nv摊ir滥on严me热nt名等;蔬庙为什正幺S技MI哄F可标以节吉省厂酬务的炒成本腹?脏答:秀只需抓将这评些w夺af吊er谁r汤un案货过置程中帖会停轨留的枪小区疫域控驾制在例cl购as执s考1揪下即西可,凑而其慨它大边环境戚洁净好度只身要维蚂持在抽cl惩as笨s狡10缩0何或较什低的量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海伯关进信行资召产盘袭点?勤(机循台/具芯片誉/原睁物料风)受答:浑因为开进口驴的大烧部份盯资产呈都有酸关税烟优惠式;海废关为诵了解真企业主确实孟将这阳些进足口的嘱材料芦加工恋成品赏后卖驰钱;纤而不捐是转肢手卖跪掉.壳这一秀盘点浅对公纸司来础说是奏非常帝重要僻的糕PH之OT贴O区宴域若盼发生牛mi醒ss斧o立pe歪ra居to门n宫;稠可进巧行r末ew笔or岁k将若光阻拔去除旨后重泛新来榨过;垮所以翁不用徒太紧锈张对目吗?收肃答:姥错!毙重释做多被次将眉影响布良率芬撒PE妨L-粱ST震EL颜(s刚ho喜rt讨t筝er辛m轧ex党po灵su让re明l壮im摆it中)潮短时扒间(克15沿分钟策)时胆量平随均容倒许浓枝度蛛答:罗劳工遍在短翻时间扣之内腐可以誉连续滤暴露新,而诸不会肢遭受呈刺激贱,慢沟性或霜不可厘逆的盆组织峰损害赔,或酒在每羊天之浙暴露按没有朝超过宣工作破日时醋量平揉均容寺许浓徒度时惰不致脑因昏拿迷以盾致于慰会增淋加意醒外事没故,霉损害扇自我店救援弄能力砖,或狱实质背地降辉低工咬作效敬率。呆吼PE腹L-装Ce览il猾in排g最未高容顶许浓或度:兼贫答:飞在工捷作期随间之狮任何辜时间轮暴露蒸,均淋不可专以超稀过的示浓度掘。燥LE顾L威&将UE症L猾(L举ow咱er纹(U济pp瑞er兄)漂Ex说pl竖os习io龄n抗Li猜mi负t)旷毫答:思.爆贿炸下杯限副&撑爆炸唯上限奇;可拳燃性捆气体误分子享在空屈气中坟混合盯后的睬气体影百分锐率,爬达爆组炸范钥围时黎,可凝引起惧燃烧晨或爆建炸,锈此爆党炸范唉围的震下限腥及上占限称暴为L脂EL幼及U圆EL苗例如扰S裁iH左4件1.跨4%由-9鸭6%副慈TL岭V柱(T秃HR僻ES菊HO猜LD股L老IM倍IT撞V沙AL旨UE涂)榨国瓦际标鉴准阈烧限值沫、恕畅限量辟茶答:题空气若中的长物质俱浓度朵,在铸此情袋况下浮认为锁大多新数人扣员每赔天重遭复暴荐露,赏不致尤有不搂良效耗应。苹在此暗浓度喇每天辅呼吸渡暴露孕8小吊时不旦致有痕健康钉危害燃。但踏因每阁人体橡质感晒受性必差异呜很大蚕,因抱此,慨有时央即使优低于蹄TL平V之恶浓度芬方可俗能导当致某物些人盘之不蒙舒服像、生伸病或劲使原拔有情烂况加绕剧。纪的PE稳L-侵TW章A(锅ti脂me要-w江ei托gh竖te朝d膝av骡er奇ag淡e)很工东作日逆时量嫁平均膜容许洋浓度招:各回国家脆对同尊要物量质可安能有蜓不同搂T初WA巧;例疤如A痛sH务3亩在错US备A:念20耀pp沉
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