微加工中心实验室安全管理规范

微加工中心实验室安全管理规范（2015年第3版）Q/NNLMJG1-G005微加工中心安全管理总则“安全管理，人人有则”。全体实验人员必须加强法制观念，认真执行有关安全生产的相关政策、法令、规定，严格遵守各项操作规范和安全规章制度。申请进入微加工中心超净实验室人员必须经过实验室综合培训并通过考试者才能进入实验室。严禁私自带领无关人员进入实验室。在超净实验室内工作时应集中精力，坚守岗位，不准打闹、睡觉和做与本职工作无关的事。微加工中心各种仪器设备和设施须有专人负责，实验人员应严格遵守各项仪器设备操作规程。严格遵守超净实验室清洗间安全操作规程、化学危险品操作规程和工艺气体操作规程等。定期检查并保持消防器材牌良好状态，严禁挪作它用。发生事故应及时采取合理措施，并保护好现场，逐级上报。对于因违反安全生产的政策法令，不遵守安全制度或玩忽职守不负责任造成事故的，必须根据情节严重和损伤大小，给予不同的处理，情节严重的，要追究法律责任。超净实验室清洗间安全管理规范：实验人员在使用化学试剂（药品）前必须预先详读所用化学药品的物质安全资料表(MSDS)，了解使用注意事项和相应的应急措施。实验人员在使用化学试剂（药品）前必须看清化学试剂（药品）标志，正确地使用化学试剂（药品）。在进行清洗和腐蚀实验时，须在清洗通风柜中进行。在清洗台边工作时应养成良好工作姿势，上身应避免前倾至装有化学试剂（药品）容器及清洗槽之上方。在规定的有机清洗的清洗台内进行有机清洗；在标有无机清洗的清洗台内进行无机清洗或腐蚀实验。严禁在同一清洗台内同时进行有机和无机清洗。超净实验室清洗通风柜使用规则：5.1超净实验室内操作使用化学试剂（药品）必须在通风柜中进行；5.2光刻间清洗通风柜仅允许使用显影液和有机溶剂；5.3光刻间清洗通风柜不允许使用、存放无机试剂、化学药品；5.4使用无机试剂、化学药品的用户到清洗间内进行；5.5化学试剂（药品）分类存放，废液分类存放，不得将有机、无机试剂（药品）和废液混合存放。常用化学品安全使用和急救措施6.1酸类药品（浓硫酸、浓盐酸、浓硝酸、氢氟酸、浓磷酸、醋酸）等：6.1.1使用强酸（浓硫酸、浓盐酸、浓硝酸）或氢氟酸药品前，应带上耐酸碱手套，穿上塑胶围裙，并带上防护面罩；6.1.2在配置浓硫酸溶液时，浓硫酸应最后缓慢加入水溶液中，并用石英棒不断的搅动，绝对禁止把水溶液到入浓硫酸，以免飞溅伤人；6.1.3使用氢氟酸时，务必使用塑料容器，严禁使用玻璃容器；6.1.4氢氟酸溶液使用完毕后，应把残液倒入废氢氟酸桶内，严禁直接倒入下水管道；6.1.5酸废液需稀释后方可倒入废酸桶内（除氢氟酸废液外），切不可任意倾倒，更不可与有机溶液混合。尤其是浓硫酸废液需等溶液完全冷却方可到入废浓硫酸桶。6.1.6皮肤或眼睛接触浓硫酸切忌用水冲洗，先用干布吸取浓硫酸，再用大量水冲洗，接着用3%－5%的碳酸氢钠溶液中和，最后用水清洗；6.1.7皮肤或眼睛接触氢氟酸时，用六氟灵冲洗；6.1.8皮肤或眼睛接触浓盐酸、浓硝酸、浓磷酸或醋酸时，应先用大量水冲洗，再用3%－5%的碳酸氢钠溶液清洗。6.2碱类药品（氢氧化钠、氢氧化钾、TMAH、氨水）等：6.2.1使用碱类药品前，应带上耐酸碱手套，穿上塑胶围裙，并带上防护面罩；6.2.2配置氢氧化钠或氢氧化钾溶液时，严禁把固体氢氧化钠或固体氢氧化钾直接放在天平上称量，需放在称量纸上称量，称后应迅速转入溶液容器中。同时配置溶液时务必先加入水，后加入固体氢氧化钠或固体氢氧化钾；6.2.3皮肤或眼睛接触碱类药品应先用大量水冲洗，再用2%的乙酸溶液清洗；6.2.4碱废液需稀释后方可到入废碱桶内，切不可任意倾倒，更不可与有机溶液混合。6.3有机药品（甲苯、丙酮、乙醇、异丙醇）等：6.3.1使用有机药品时，应带上乳胶手套，并带上防护面罩；6.3.2甲苯属于剧毒类有机药品，除非是特别脏的晶片，清洗晶片时，应尽量避免使用甲苯；6.3.3皮肤接触有机药品时，应用清水和肥皂水彻底冲洗；6.3.4眼睛接触有机药品时，提起眼睑，用流动清水或生理盐水冲洗；6.3.5废有机溶剂倒入废有机溶剂回收瓶内，甲苯、三氯乙烯等剧毒类有机溶剂须单独回收。实验人员在进行清洗或腐蚀实验时，注意个人防护，选择恰当个人防护用品，避免意外发生。个人防护用品包括防酸碱手套，围裙、眼镜、面罩、防毒面具等。所用个人防护用品使用完毕，必须冲洗干净，避免化学药品残留在防护用品上，影响他人使用。清洗干燥后放回原位。严禁直接加热有机化学药品，而应采用水浴加热方式加热有机化学药品。在化学试剂在加热或水浴过程时，实验人员不得离开。在无人看管情况下而放置于公开、公共位置的任何化学药品的容器必须放置清晰明确的指示标志。使用化学药品后立即旋紧其容器盖子；稀释酸液时，应加酸于水，绝不可加水于酸；勿尝任何化学药品或以嗅觉来确定容器内之药品；不明容器内为何种药品时，切勿摇动或倒置该容器。清洗或腐蚀实验完成后，应及时清除在清洗台使用过的样品盒、滤纸、镊子、PH试纸等物品；废弃手套、无尘布、滤纸等请放入垃圾袋；所用化学药品归放原位；用水冲洗溅出物质并用无尘布擦净，保持清洗台面整洁干爽。禁止在清洗台上遗留任何废弃物。清洗废液、腐蚀废液、光刻所用废液必须按照要求和指示倒入相应的废液回收容器中，并盖上桶盖（注意：废液桶盖不要拧得过紧）。废液存放的原则是“有机无机分开，酸碱分开”，回收容器必须作出明确标志，倒入并回收化学废液；强氧化性酸（如浓硫酸、浓硝酸或王水等）单独回收和存放；氢氟酸单独回收和存放；固体类废弃物如碘、碘化钾或重铬酸钾等应与废弃液分开存放。化学试剂泄漏时，应迅速反应，并做适当处理，并报知微加工中心工作人员。实验结束后，应将关好清洗台防护玻璃门，并按照记录要求进行记录。化学危险品控制化学危险品必须到有可靠资质的定点厂家购买。化学危险品的运输与装卸：2.1装运时应轻装轻卸，堆置稳妥，防止撞击、重压、倾倒和磨擦，发现包装容器不牢固、破损或渗漏时，必须重装或采取其它措施后，方可启运。2.2碰撞、互相接触容易引起燃烧、爆炸或造成其它危险的化学危险品，以及化学性质或防护、灭火方法互相抵触的化学危险品，不得同时混合装运。2.3遇潮容易引起燃烧、爆炸或产生有毒气体的化学危险品，在装运时应当采取隔热、防潮措施。2.4夏季气温在30℃以上时，从上午10点钟到下午4点钟，一律停止装运易燃易爆物品及氢气、液氯、乙炔等气瓶。化学危险品的存放3.1化学危险品必须存放在条件完备的专用仓库、专用场地或专用储存室（柜）内，应当符合有关安全规定，并根据物品的种类、性质，设置相应的安全设施，并设专人管理。3.2化学危险品应当分类分项存放，堆垛之间的主要通道应达到规定的安全距离，不得超量储存。3.3遇火、遇潮容易燃烧、爆炸或产生有毒气体的化学危险品，不得在露天、潮湿、漏雨和低洼容易积水地点存放；3.4受阳光照射容易燃烧、爆炸或产生有毒气体的化学危险品和桶装、罐装等易燃液体、气体应当在阴凉通风地点存放3.5化学性质或防火、灭火方法相互抵触的化学危险品，不得在同一仓库或同一储存室存放3.6对爆炸物品、剧毒物品应严格遵守双人保管，双人收发，双人使用，双人运输，双把锁的制度3.7对化学危险品库的管理人员，要严格遵守出入库管理制度，审批手续必须完备才能予以发放，双人双锁管理，精确计量，严加保管3.8储存化学危险品的仓库内严禁吸烟和使用明火，并根据消防条例配备消防力量、消防设施以及通讯、报警等必要装置化学品的领用：使用化学危险品和剧毒品前，须经微加工中心工作人员批准并填写《加工平台化学危险/剧毒品使用登记表》。工艺气体使用规定微加工中心所用气体钢瓶必须有专人管理。对于所有在用气体，建立气体使用管理档案，档案内容包括气体供应商、规格、数量、价格和开始使用日期等内容。经常检查气瓶阀门、阀杆、销片等影响瓶阀开关的零件，如有弯曲和裂纹等缺陷应更换新件或新阀，不得私自更换或修理。气瓶的漆色必须符合国家标准并保持完好，不准任意涂改。气瓶在使用过程中应遵守下列规定：5.1钢瓶使用必须有减压用的气压表，且一定要上满扣；5.2气瓶应放置在气瓶架上，防晒，远离明火和热源；5.3操作人员在开关时应该站在阀门接管的侧面，使用适当的工具慢开、关，以防止气表脱落伤人；5.4氧气瓶严禁玷污油脂；5.5气瓶内部的压力不能全部用完，应该留有不小于0.05MPa的剩余压力；5.6冬季瓶嘴冻结时可用热水解冻或移至暖和的地方自行解冻，严禁用火烤。运输气瓶时应遵守下列规定6.1运送应当使用专用气瓶车，严禁用肩扛以及滚动，在运送过程中必须保持不使气瓶跌落、撞击、受热、玷污和损坏；6.2气瓶帽、防震圈等安全附件齐全；6.3运输有毒、可燃气体时应备有防毒面具和灭火器材；6.4易燃品、油脂或带有油污的物品不得和氧气瓶同车运输，充装互相接触后能引起燃烧气体的钢瓶不能同车运输；储存气瓶应符合下列规定7.1