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文档简介

1清洗

衬底清洗和表面预处理

23一、杂质的形式颗粒金属有机物挥发性无机物自然氧化物微粗糙4二、湿法清洗主要机理：1、溶解/分解2、化学反应3、表面腐蚀5三、干法清洗主要机理：1、化学反应2、表面刻蚀3、烘烤6四、物理清洗法擦洗高压冲洗超声/兆声清洗7五、通常的清洗步骤

1、擦洗去除大的颗粒杂质2、有机溶剂去除油杂质3、酸溶液或碱溶液去金属杂质4、甲苯或四氯化碳去有机杂质5、丙酮去甲苯6、乙醇去丙酮7、去离子水去乙醇8、酸溶液去表面氧化层9、去离子水冲洗10、氮气吹除水滴，红外烘干8六、有机杂质的清洗

有机溶剂的去污原理

互溶溶解

碱液和合成洗涤剂的去污原理

碱：将油脂水解，生成相应的脂肪酸钠盐（肥皂）

肥皂：利用其特殊的分子结构，分布在水和油污的界面处，以一端的疏水基团指向油，以另一端的亲水基团指向水免除了油和水的相互排斥，使它们形成稳定的乳浊液。

合成洗涤剂：与肥皂的去污原理相同9七、无机杂质的清洗金属、金属离子、氧化物及其它离子型和原子型无机杂质无机酸在化学清洗中的作用

HCl、H2SO4、HNO3氧化剂在化学清洗中的作用

硫酸H2SO4、硝酸

HNO3、重铬酸钾

K2Cr2O7、铬酐CrO3、双氧水

H2O2

等

过氧化氢的氧化作用利用过氧化氢在酸性和碱性溶液中具有强氧化性来清除有机和无机杂质。10络合剂在化学清洗中的作用特别对“三强酸”也难以清除的重金属杂质，如Au、Ag、Cu、Pt

碱性过氧化氢洗液（I号洗液）：H2O:H2O2:NH3.H2O=5:1:1to5:2:1酸性过氧化氢洗液（II号洗液）：H2O:H2O2:HCl=6:1:1to8:2:1

王水的去污作用：HNO3+3HCl=2H2O+2Cl+NOCl

氢氟酸的性质和作用11去离子水在清洗中的作用

去除衬底表面因清洗而留下的有机溶剂或无机酸。

加热超声

12八、清洗工艺的安全操作

化学试剂的强酸强碱、易燃易爆、有毒13常用有机溶剂毒性情况简介

名称空气中的最大容许量毒性情况甲醇50毫克/立方米对神经系统有剧毒，少量能使眼睛失明丙酮400毫克/立方米刺激呼吸道苯50毫克/立方米少量侵入身体后慢性中毒，引起疲倦、头痛贪睡，破坏血液循环及血液正常组成甲苯100毫克/立方米麻醉神经，慢性中毒，对血液和脉络有毒四氯化碳50毫克/立方米麻醉神经，慢性中毒

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