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文档简介
物料基板
製程能力和信賴性管控規範---IQC測試項目測試资料測試工具測試步標準值驟凹陷基板10x放大鏡以10x放大鏡觀察基板表面值凹陷點數和凹陷大小深度≦20%銅厚空洞≦3mil厚度基板螺旋測微器用螺旋測微度量測基板總厚度出貨規格銅厚基板MRX以MRX銅厚量測儀量測銅厚並記錄數據依出貨規格尺寸進料基板卷尺以卷尺量測基板尺寸規格±0.25mm垂直度基板角度規以角度規測試直角度狀況≦2度1.將P.P膠片以剪刀,剪下約10cm×10cm正方形之樣品一片。
測試頻率責任人1次/進料1次/進料1次/進料1次/進料1次/進料1.天秤RC膠片2.塑膠袋3個
2.將樣品放入塑膠袋中,揉下之膠粉至於秤量紙,且濾去膠粉中之玻璃纖維,同時拿至精细微量天秤稱重約0.2±0.02g。3.秤量紙中之膠粉,倒入凝膠時間測試機之熱膠臺上,同時按下測試機上之計時器。4.待15sec後,將膠粉均勻攤開約2cm×2cm之面積。±2%5.待30sec後,再用木棒以攪拌方式化圈。6.每2~3sec拿起木棒,看膠黏度之變化,能否有拉絲之現象。7.直至膠黏度變大,即開始脆化。當膠絲斷裂,及停止計時。
1次/進料PP
8.算出計時器所需之時間.1.取60cm寬之P.P膠片對折2次。以方型油壓沖模機,分別在P.P膠片的左、中、右三1.膠流量測試機處斜沖出4"×4"之樣品4枚,共3組。(左、右兩點取樣地点需離板邊4",左、中、右三點每組之膠流量均需計算出),以天秤秤出每組之重量。2.Temp:171±2℃2.將測完重量之樣品上下墊離型紙後,再墊牛皮紙。RF膠片3.樣品上下再壓一片鋼板後,將樣品送入膠流量測試機即按上涨按鈕待恆溫恆壓10分±5%3.P:1452Kg鐘後熱壓板自動降落,拿出樣品於常溫中冷卻。4.將樣品離型紙除掉(須去除乾淨),放在圓形沖模機正中央沖出圓形樣品,以天秤秤出圓形樣品之重量DW。5.計算公式:(W1-DW)×2/W1100×%1.凝膠時間測試1.將P.P膠片以剪刀,剪下約10cm×10cm正方形之樣品一片。機2.將樣品放入塑膠袋中,揉下之膠粉至於秤量紙,且濾去膠粉中之玻璃纖維,同時拿2.天秤至精细微量天秤稱重約0.2±0.02g。3.計時器3.秤量紙中之膠粉,倒入凝膠時間測試機之熱膠臺上,同時按下測試機上之計時器。geltimepp粉4.待15sec後,將膠粉均勻攤開約2cm×2cm之面積。90±20sec5.待30sec後,再用木棒以攪拌方式化圈。6.每2~3sec拿起木棒,看膠黏度之變化,能否有拉絲之現象。7.直至膠黏度變大,即開始脆化。當膠絲斷裂,及停止計時。8.算出計時器所需之時間.
IQC1次/進料1次/進料物料
測試項目測試资料測試工具1.銅箔2.裁刀機
製程能力和信賴性管控規範---IQC測試步標準值驟1.取試樣在橫向裁取左中右各一片,大小100*100mm
測試頻率責任人銅箔RCC
基重/寬度銅箔3.天平4.厚度計表面粗度測1.銅箔試銅箔牙釘1.銅箔2.粗度計銅箔破孔銅箔外觀RCC尺寸RCC千分尺膠流量1牛皮紙(ResinFlow)RCC2離型紙1.凝膠時間測試膠化時間RCC膠粉機(GelTime)2.天秤3.計時器
2.稱重w,基重=w*1003.寬度以卷尺測量銅箔的寬幅。1.取23.5"×14"之銅箔基板6PNL,進行不一样微蝕程度之處理。微蝕程度分別為:30、40、50、60、70μ〞。2.將測試板均匀取6點,進行上下板面粗拙度剖析。1.觀察銅箔毛面的粗度狀況。(粗度計)2.切片觀察牙釘大小以及經瘤化處理之情况。(金像顯微鏡)3.拉離銅箔後,以金相顯微鏡觀察殘銅狀況;4.之外層蝕刻的條件咬蝕銅箔後,以金相顯微鏡觀察殘銅狀況;(HOZ咬蝕設定0.9mil,1oz咬蝕設定1.8mil)取全寬,長30cm之試樣目視有無透光之破孔目視外觀狀況,依据標準判斷千分尺量測層壓條件:170℃(setup),14kgf/cm2(setup),10min.牛皮紙:6”x6”(160g/m2);SUS:6厚”度x:63”mm)(背膠銅箔:4”x4”R/F(%)=(W1-W2)/(W1-W3)100×W1:Weightof4pliesofLGF-2000(4”×4”)W2:Weightof4pliesofLGF-2000afterpressingW3:Weightof4pliesofbarecopperfoilbeforecoating1.將P.P膠片以剪刀,剪下約10cm×10cm正方形之樣品一片。2.將樣品放入塑膠袋中,揉下之膠粉至於秤量紙,且濾去膠粉中之玻璃纖維,同時拿至精细微量天秤稱重約0.2±0.02g。3.將秤量紙中之膠粉,倒入凝膠時間測試機之熱膠臺上,同時按下測試機上之計時器。待後,將膠粉均勻攤開約×之面積。4.15sec2cm2cm5.待30sec後,再用木棒以攪拌方式化圈。6.每2~3sec拿起木棒,看膠黏度之變化,能否有拉絲之現象。7.直至膠黏度變大,即開始脆化。當膠絲斷裂,及停止計時。
153+/-100、光面Ra:0.2~0.35Rz:<6.5牙釘有無尖銳,易折斷問題牙釘殘留採用對比方式無透光CopperSide標準:無皺褶、裂紋、針孔、銅屑、銅瘤、髒點等外觀性不良標準:顏色正常,依產品規格18/70→12±5%18/80→15±5%依產品規格
1次/進料1次/進料1次/進料1次/進料IQC1次/進料1次/進料1次/進料製程能力和信賴性管控規範---IQC物料測試項目測試资料測試測試工具驟步
標準值
測試頻率責任人鑽針/銑刀/槽刀外觀鑽針顯微鏡1.顯微鏡觀察鑽針外觀直徑鑽針千分尺1.千分尺量測鑽針或銑刀或槽刀直徑厚度遊標卡尺1.將牛皮紙左中右各裁切10x10cm的樣品,使用遊標卡尺量測厚度,計算均匀值基重天平1.將裁切的樣品15*15cm,放在天平上稱重W1,計算:2.基重=質量/樣品面積(g/cm2)牛皮紙1.將裁切的樣品15*15cm,放在天平上稱重W1,1.烤箱含水率2.將已稱重樣品在烤箱內120℃烘乾1小時,冷卻30分鐘
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