无尘室基础知识

无尘室基础知识无尘室基础知识第1页

1.污染定義

1.污染定义

a).全部存在于產品上，會對產品產生直接或間接危害物質；

b).全部存在于產品上，超出產品要求之外物質；

c).任何客戶不允許存在于產品上物質。

2.污染危害

a).打印白點，白線；

b).電路短路：導電物質在IC線路間；无尘室基础知识第2页c).ESD：不導電物在IC線路間，靜電積聚

ChargeESD；

d).粘結力不夠：加膠；

e).腐蝕，溫度積聚。

3.污染來源

人是無塵室中污染最大來源。無塵室空气中檢測到污物中，80%來源于人，15%來源于工具和設備，5%來源于環境。无尘室基础知识第3页

4.污染去除污染控制一個最大突破是無塵室使用。擦洗：用無塵抹布蘸溶劑水擦除灰塵、污漬。

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5.污染逐級清洁控制

即從外圍環境到工作區域進行台階式漸進控制，直至達到工作環境要求。以下圖1：无尘室

CleanRoomClass100/1K/10K/100K办公室

+普通工场Class300K廠區

Class500-800K无尘室基础知识第5页无尘室定义无尘室分类无尘室组成无尘室控制瀚誠無塵室主要控制指標无尘室知识无尘室基础知识第6页

1、無塵室(CleaningRoom,C/R)定義

使室內(厂房)空气塵粒、溫度、濕度壓力

等技術指標成為一穩定受控區域，用來保

証某一生產或試驗過程所必需環境要求，

該區域即被稱為無塵室。2、無塵室普通分類：

Class-100/1K/10K（ISLC/R)/100K四种級別無塵室。无尘室基础知识第7页

3、無塵室基础組成：

更衣室、風浴室、無塵室(工作區域)。更衣室：相對普通工場及辦公室而言，是一個更洁淨區域，主要用來穿脫無塵衣，時也能保証無塵衣貯存在一個相對清洁區域內。无尘室基础知识第8页

風浴室：兩側牆壁上密排空气噴咀，它能噴出

1624M/S高速洁淨空气，其目标是用強洁淨空气流吹去無塵工衣表面懸浮塵埃,從而達到清洁無塵工衣表面目标。同時,地板上鋪有地板膠，其目标是將無塵鞋套底部處臟東西粘下來，從而達到清洁鞋底部功效。无尘室基础知识第9页

無塵室：從無塵室天花板高效清洁過濾器吹出空气非常清洁，HepaFilter能將99.97%

大于等于φ0.3um塵粒過濾掉，過濾后空气每立方尺中大于等于φ0.3um塵粒普通不超過1粒，從HepaFilter吹下洁淨空气吹過無塵室工作區域全部空間，源源不斷地用干淨空气替換已污臟空气，最

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經回風口帶出無塵室，同時，通過調整進風量与回風量從而使得工作區域靜壓力高于外界气壓(約高5-10pa)，從而使外界空气不致灌進無塵室。另外，全部用來建造無塵室牆壁材料均為表面低發塵性專用材料,

應注意其牆壁保護，不可刻畫及張貼而損坏牆壁表面。

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人机料法环4、無塵室控制无尘室基础知识第12页

無塵室控制思想：

a).少進多出

一要做到“多出”，也就是盡可能快及盡可能多地

將無塵室塵粒排出無塵室之外；二要做到“少進”，試想，假如進入無塵室塵粒數量大于無塵室所能排出數，結果可想而知，所以“少進”也是一個非常主要原因，為了達到“少進”目标，需從人、机、料、法几個方面尋找問題根源，盡量減少這几個方面產生塵粒可能性。无尘室基础知识第13页

b).预防交叉污染物体与物体、物体与環境等之間相互污染。主要有以下途徑：干淨物体相對污臟環境或物体污臟物体相對干淨環境或物体无尘室基础知识第14页

5、無塵室控制注意事項人：在全部影響到無塵室清洁度原因中，人是最主要原因，發塵量占85%左右，實驗証明在人員走動頻繁時間內(上下班時間)，無塵室塵粒數量明顯高于穩定工作時間塵粒數量。為什么人會對塵粒控制產生如此大影響呢？因為人是活躍，人新陳代謝會產生大量頭屑、皮屑等，呼出气体中也帶有大量塵粒人到處走動尤其无尘室基础知识第15页

有劇烈動作時會將本身這個最大污染源到處傳播，因而使得無塵室因人出現而難以控制。全部這些都要求我們必須正确穿著無塵衣及嚴格恪守無塵室紀律，同時需講究良好個人衛生，如勤洗澡、勤換衣等。即要做到以下几點：

a).防止劇烈動作；

b).講究個人衛生；

c).嚴禁在無塵室中解開無塵衣及其它無塵室違

紀行為。无尘室基础知识第16页

机：包含全部用在無塵室內儀器、設備，如生產一系列儀器、設備等，再如日常無塵室內用