无尘室设计要求

半导体无尘室设计标准第一章总则先进、经济合理、安全适用、确保质量、符合节约能源和环境保护的要求。条本标准适用于建和改建、扩建的干净厂房设计，但不适用24米的高层干净厂房和地下干净厂房的设计。条在利用原有建筑进展干净技术改造时，干净厂房设计必需根据生产工艺要求，因地制宜、区分对待，充分利用已有的技术设施。行制造必要的条件。条干净厂房设计除应按本标准执行外，尚应符合现行的国家标准、标准的有关要求。其次章空气干净度等级规定划分为四个等级。空气干净度 等级〔每升〕空气中≥0.5微米尘粒数每立方米〔每升〕空气中≥5微米尘粒数100级1000级≤35×100〔3.5〕≤35×1000〔35〕≤250〔0.25〕10000级≤35×10000〔350〕≤2500〔2.5〕100000级≤35×100000〔3500〕≤5000〔25〕:5微米尘粒的计数，应进展屡次采样，当其屡次消灭时，方可认为该测试数值是牢靠的．数为依据。干净室空气干净度的测试，应符合附录二规定。第三章总体设计第一节干净厂房位置选择和总平面布置后确定：一、应在大气含尘浓度较低，自然环境较好的区域；二、应远离铁路、码头、飞机场、交通要道以及散发大量粉尘和有害气体的三、应布置在厂区内环境清洁、人流货流不穿越或少穿越的地区。条对于兼有微振把握要求的干净厂房的位置选择，应实际测定分析比较。条干净厂房最大频率风向上风侧有烟囱时，干净厂房与烟囱之12倍。50米。〔可利用交通道路〕。如有困难时，可沿厂房的两个长边设置消防车道。条干净厂房四周的道路面层，应选用整体性好、发尘少的材。度不产生有害影响的树木，并形成绿化小区，但不得阻碍消防操作。其次节工艺布置和设计综合协调条工艺布置应符合以下要求：空气干净度等级要求的工序和工作室；二、在满足生产工艺要求的前提下，空气干净度高的干净室或干净区宜靠近空处宜布置空气干净度等级较低的工作室；三、干净室内要求空气干净度高的工序应布置在上风侧易产生污染的工艺设备应布置在靠近回风口位置；须进展清洁处理。条干净厂房内宜少设隔间，但在以下状况下可予以分隔：或有防火分隔要求者；二、生产过程中产生较强噪声或散发较多热量、尘粒和有害气体，且不能采取局部措施加以把握者；三、生产联系少，并常常不同时使用的两个生产区段之间。条干净厂房的平面和空间设计，宜将干净区、人员净化、物料条干净厂房设计必需合理确定各种管线的平面位置和坚向标高。〔如送风口、照明器、回风口、各种管线等〕的布置，宜首先考虑净化空气调整系统的要求第三节噪声把握条干净室内的噪声级，应符合以下要求：70A。60A；层流干净室的噪65A。70A对生产无影响时，噪声75A；〔人离开〕的测量值。对于变动噪声，则取一样位置处在一个正常工作日内的等效连续声压级。条干净室的噪声频谱限制，应承受倍频程声压级；各频带声压3．3．2的规定。噪声频谱限制 倍频程＼中心频＼高声＼率洁净＼压值＼〔赫〕室分类＼〔分贝〕631252505001000202340008000空态乱流7970635855525040层流8374686360575554动态 87 78 72 68 65 62 60 59构造应有良好的隔声性能，并宜使各局部隔声量相接近。条干净室内的各种设备均应选用低噪声产品。对于辐射噪声超过干净室允许值的设备，应设置专用隔声设施〔如隔声间、隔声罩等〕。隔振等把握措施。除事故排风外，应对干净室内的排风系统进展减噪设计。按以下规定选用：6--10米／秒；求，不用因把握噪声而影响干净室的净化条件。第四节微振把握〔包括水泵等〕及其通往干净室的管道，应实行乐观隔振措施。条对干净厂房内外各类振源，应测定其对干净厂房的综合振动周密仪器仪表的允许环境振动值进展比较，以确定对其实行必要的田振措施。条周密设备、周密仪器仪表的隔振措施，应考虑削减发尘量、处理，使其到达干净室的空气干净度等级。第四章建筑第一节一般规定区的主体构造不宜承受内墙承重。100毫根本模数。条干净厂房主体构造的耐久性与室内装备和装修水平相协调，〔地震区应符合抗震设计规定〕。厂房变形缝应避开穿过干净区。条送、回风管和其他管线需暗敷时，应设置技术夹层、技术夹道或地沟等；穿越极层的竖向管线需暗敷时，宜设置技术竖井。造的处理，应避开在人流与物流运输以及防火方面对干净生产带来不利影响。其次节人员净化和物料净化设施需要设置生活用室和其他用室。条人员净化用室，宜包括雨具存放间、治理室、换鞋室、存外衣室、盥洗室、干净工作服室和空气吹淋室等。可依据需要设置。条人员净化用室和生活用室的设计，应符合以下要求：一、人员净化用室的入口处，应设净鞋器。设计人数每人设一柜。10人设一个。四、干净区不得设厕所。人员净化用室内的厕所应设前室。五、空气吸淋室应设在干净区人员入口处，并应与干净工作服室相邻。单人100级垂直层流干净室时，可改设气闸室。5人时，空气吹淋室一侧应设旁通门。的人员净化程序进展布置。条依据不同的空气干净度等级和工作人员数量，干净厂房内人4～6平方米计算。条干净工作服室内，对空气净化应有确定的要求。条干净室的设备和物料出入口，应依据设备和物料的性质、外形在传递过程中被污染。第三节防火和疏散0．25小时。条干净厂房内一般的生产工作间的火灾危急性，可按附录三进行分类。条甲、乙类生产的干净厂房，宜承受单层厂房。其防火墙间最2，000平方米。条甲、乙类生产或设置在甲、乙类生产环境中的装配式干净室，其顶棚和壁板〔包括内部填充物〕应为非燃烧体。条在一个防火区内的综合性厂房，其干净生产与一般生产区域之1小时。穿过隔墙或顶板的管线四周空隙应承受非燃烧材料严密填塞。1小时。井小时；竖井内在各层或间隔一层楼板处，应承受相当于楼板耐火极限的非燃烧体作水平防火分隔；穿过水平防火分隔的管线四周空隙，应承受非燃烧材料严密填塞。口的数量，均不应少于两个。但符合以下要求者，可设置一个安全出口：50平方米，且同一时间内的生产人员总数不用过5人；者。安全出口应分散均匀布置，从生产地点至安全出口不用经过曲折的人员净化路线。散方向开启。安全疏散门不得承受吊门、转门、侧拉门以及电控自动门。条当干净厂房同层外墙上可供消防人员通往厂房干净区的门窗，80米时，则应在该段外墙的适当部位设置专用消防口。7501800毫米，并应有明显标志。楼层的专用消防口应附设阳台，并从二层起向上设爬楼。第四节室内装修条干净厂房的建筑围护构造和室内装修，应选用气密性良好，温层时。应承受非燃烧体或难燃烧体。条干净室内墙壁和顶棚的外表，应符合平坦、光滑、不起灰、于操作；如为抹灰时，应承受高级抹灰标准。条干净室的地面，应符合平坦、耐磨、易除尘清洗、不易积聚静电、避开眩光、并有舒适感等要求。更换高效空气过滤器时，宜增刷涂料饰面。地面、回风地沟和位于地下的技术夹层，应承受防水或防潮、防霉措施。应易于除尘。条干净室和人员净化用室设置的外窗，应承受双层玻璃金属窗，并应有良好的气密性。室的密闭门上宜设观看窗。条干净室门窗、墙壁、顶棚、地〔楼〕面的构造和施工缝隙，均应实行牢靠的密封措施。0．15--0．35。第五节装配式干净室要求空气干净度较高的生产环境可承受装配式干净室。条装配式干净室所在的房间应有空气净化要求，并应与装配式洁净室的空气干净度等级相适应。外围建筑的耐火等级不得低于二级。也可固定在外围建筑上。回风地沟或回风地坑宜设在外围建筑的地面以下。条装配式干净室设计应满足在该室室内安装壁板的要求。装配包装和运输。条装配式干净室的四周壁板中，宜有一面或两面紧贴或靠近外扫距离。当装配式干净室时,壁板外侧设有技术夹道时，壁板与外围建筑内墙面600毫米。第五章空气净化第一节一般规定要求：一、干净室内有多种工序时，应依据各工序的不同要求，承受不同的空气洁净度等级。区空气净化和全室空气净化相结合的形式。条层流干净室和乱流干净室以及运行班次和使用时间不同的洁净室，其净化空气调整系统均宜分开设置。一、满足生产工艺要求；70％；16－28℃。的最大值：10－302～4％；二、补偿室内排风和保持室内正压值所需的颖空气量；40立方米。真空吸尘系统。干净室内集中式真空吸尘系统的管道，应暗敷。条在净化空气调整系统设计中，对施工和维护治理要求，可按附录四和附录五的规定。其次节干净室正压把握条干净室必需维持确定的正压。不同等级的干净室以及干净区毫米水柱；干净区与室外的静压差，不1．0毫米水柱。条干净室维持不同的正压值所需的正压风量，宜按下式计算：Q＝a．∑(q．L) 〔5．2．2〕式中Q一维持干净室正压值所需的正压风量〔立方米／时〕，a一依据围护构造气密性确定的安全系数，可取l．l－l．2；q一当干净室为某一正压值时，其围护构造单位长度缝隙的渗漏风量〔立方•米〕；L一围护构造的缝隙长度〔米〕。风量可按表5．2．3承受。围护构造单位长度缝隙的渗漏风量 漏风＼门窗＼量〔＼形压差＼米^3＼式差〔毫＼/时＼米水柱〕＼米〕 非密闭门 密闭门 单层固定密闭木窗 当层固定密闭钢窗 单层开启式密闭钢窗 传递窗壁板0.51741.00.73.52.00.31.02461.51.04.53.00.61.53082.01.36.04.00.82.03692.51.57.05.01.02.540102.81.78.05.51.23.044113.01.98.56.01.43.548123.52.19.07.01.54.052133.82.310.07.51.74.555154.02.510.58.01.95.060164.42.611.59.02.0条送风、回风和排风系统的启闭应联锁。系统开启时，联锁程条非连续运行的干净室，可依据生产工艺要求在置值班风机，并应对风进展处理。第三节气流组织和送风量条气流组织的选择，应符合以下要求：使干净工作区气流流向单一；二、回风口宜均匀布置在干净室下部；5．3．2选用。气流组织和送风量 ┌───────┬───────────────┬───────┐│空气干净 │100级 │ 1000级││度等级 │ │ │├─┬─────┼───────┬───────┼───────┤││气流流型│垂直层流 │水平层流 │ 乱流││气├─────┼───────┼───────┼───────┤│流│送凤 │1.顶棚满布高效│1.送风墙满布高│1.孔板顶棚送风││组│主要 │空气过滤器送风│效空气过滤器│2.条形布置高效││织│方式 │〔高效空气过│水平送风 │空气过滤器顶棚││形│ │滤器占顶棚面积│2.送风墙局部布│送风 ││式│ │置高效空气过滤│3.间隔布置带扩│││ │ │器水平送风 │散板高效空气││││2.侧布高效空气│〔高效空气过滤│过滤器顶棚送风││││过滤器，顶棚设│器占送风墙面│ ││││阻尼层送风 于40％〕│ ││││3.全孔板顶棚送│ │ ││││风 │ │ ││├─────┼───────┼───────┼───────┤││回风 │1.格栅地面回风│1.回风墙满布│1.相对两侧墙下│││主要 │⑴满布 │回风口 │部均匀布置回│││方式│⑵均匀局部布置│2.回风墙局部布│风口 ││││2.相对两侧墙下│置回风口 │2.干净室面积较││││部均匀布置回│ │大时，可承受││││风口 │ │地面均匀布置││││ │ │回风口 │├─┼─────┼───────┼───────┼───────┤气流流经室│不小于0.25 于0.35 │ ││风│内断面风速│││││量│〔米／秒〕│││││├─────┼───────┼───────┼───────┤││换气次数│ │ 小于50 │││〔次／时〕│ │ │ │├─┴─────┼───────┼───────┼───────┤│送风口风速 │ 板孔口3～5││〔米／秒〕 │ │ │ │├───────┼───────┼───────┼───────┤│回风口风速 │不大于2 于1.5 │1.干净室内回风│〕││2│││││2.走廊内回风口│││││不大于4 │└───────┴───────┴───────┴───────┘垂直层流干净室承受相对两侧墙下部均匀布置回风口方式，仅适用于两对侧5米．2.乱流干净室送风量确实定，宜考虑室内含尘浓度不均匀集中的因素．┌───────┬───────────┬───────────┐│空气干净 │ 10,000级 │ 100,000级││等级 │ │ │├─┬─────┼───────────┼───────────┤│气│气流流型│ 乱流 │ 乱流 ││流├─────┼───────────┼───────────┤│组│送风 │1.局部孔板顶棚送风 │1.带集中板高效空气过││织│主要 │2.带集中板高效空气过│滤器顶棚送风 ││型│方式 │滤器顶棚送风 │2.上侧墙送风 ││式│ │3.上侧墙送风 │ ││├─────┼───────────┼───────────┤││回风 │1.单侧墙下部布置回风口│1.单侧墙下部布置回风口│││主要│2.当承受走廊回风时，在│2.当承受走廊回风时，在│││方式│走廊内均匀布置回风口或│走廊内均匀布置回风口或││││在走廊端部集中设置回│在走廊端部集中设置回││││风口 │风口 │├─┼─────┼───────────┼───────────┤│送│气流流经室│ │ ││风│内断风面风│ │ ││量│速 │ │ │││〔米／秒〕│ │ ││├─────┼───────────┼───────────┤││换气次数│ 于25 小于15 │││〔次／时〕│ │ │├─┴─────┼───────────┼───────────┤│送风口风速 孔板孔口3～5│侧送风口││〔米／秒〕 │2.侧送风口2～5││ 流2～5 │⑵非贴附射流同侧墙下部││ 1.5～2.5，对侧墙││ 下部回凤1.0～1.5 ││ │ │├───────┼───────────┼───────────┤│回风口风速 干净室回风口不大于2│1.干净室回风口不大于2││〔米／秒〕 走廊内回风口不大于4│2.走廊内回风口不大于4│└───────┴───────────┴───────────┘条乱流干净室的送风量，应取以下规定的最大值：规定的送风量；四、按空气平行所需要的送风量。条当生产工艺仅要求在干净室内局部工作区到达更高的空气干净5．3．选用。工作台，但其位置应远离回风口。条干净室内有局部排风装置时，其位置应设在工作区气流的下风侧。第四节空气净化处理高效空气过滤器三级过滤。注：100,000级空气净化处理,可承受亚高效空气过滤器代替高效空气过滤器。条确定集中式或分散式净化空气调整系统时，应综合考虑生产净化空气调整系统。条净化空气调整系统设计应合理利用回风。凡工艺过程产生大风。条净化空气调整系统除直流式系统和设置值班风机的系统外，应实行防止室外污染空气通过风口渗入干净室内的防倒灌措施。一、初效空气过滤器不应选用浸油式过滤器二、中效空气过滤器宜集中设置在净化空气调整系统的正压段；四、中效、亚高效、高效空气过滤器宜按额定风量选用；择。中效、高效空气过滤器的阻力宜按其初阻力的两倍计算。条净化空气调整系统如需电加热时，应选用管状电加热器，位置应布置在高效空气过滤器的上风侧，并应有防火安全措施第五节采暖通风条干净室的采暖型式，应按以下不同状况确定：一、100级、1000级、10，000级干净室，不应承受散热器采暖；l00，000级干净室，不宜承受散热器采暖。二、值班采暖可利用技术夹道的散热器进展间接采暖，或承受间歇运行净化空气调整系统、值班风机系统进展热风采暖。条散热器应承受外表光滑、不易积尘、便于清扫的型式。置，排风罩的操作口面积应尽量缩小。条局部排风系统在以下状况下，应单独设置：一、非同一净化空气调整系统；三、所排出的有害物毒性相差很大。一、防倒灌措施；二、含有易燃、易爆物质局部排风系统的防火、防爆措施。措施。其室内的静压值，应低于干净区。15～20次。化空气调整系统联锁，其室内宜设报警装置。第六节风管和附件并在适当位置设置密闭的清扫口。风管壁厚按附录六选用。送风机的吸入口处和需要调整风量处，应设置调整阀。干净室内的排风系统，应设置调整阀、止回阀或密闭阀。总风管穿过楼板和风管穿过防火墙处，必需设置防火阀。条净化空气调整系统的风管和调整阀以及高效空气过滤器的保其所处的空气环境条件确定。干净室内排风系统的风管、调整阀和止回阀等附件的制作材料和涂料，应根据排解气体的性质及其所处的空气环境条件确定。和送回风总管以及需要调整风量的支管上，应设置风量测定孔。条排解腐蚀性气体的风管，可承受塑料风管。其他风管以及风管的保温存消声材料及其粘结刑，应承受非燃烧材料或难燃烧材料。第六章给水排水第一节一般规定地沟管槽内或地下埋设。干净室内应少敷设管道。引入干净室的支管宜明敷，但对空气干净度等级要求高的干净室可暗敷。条管道穿过干净室顶棚、墙壁和楼板处应设套管。管道与套管之间应实行牢靠的密封措施。非燃烧体管材。其次节给水条干净厂房内的给水系统设计，应依据生产、生活和消防等各水系统。高纯水系统应设置循环管道。条管材的选择，应符合以下要求：二、冷却循环给水和回水管宜承受镀锌钢管；四、管道的配件应承受相应的材料。条干净厂房内可设置开水供给设施；盥洗室内的盥洗盆宜供给条干净厂房的四周，应设置洒水设施。第三节排水度、水量等特点确定排水系统，并应有废水处理或综合利用设施。条干净室内的排水设备以及与重力回水管道相连接的设备，必须在其排出口以下部位设水封装置，并应有防止水封被破坏的设施。条级、1000级干净室内，不宜设置地漏；如必需设置时，应承受有盖地漏，并不应设排水沟。10，000、100，000级干净室内允许穿过排水竖管，但在竖管上不得设置检查口。条干净厂房内应承受不易积存污物、易于清扫的卫生器具、管材、管架及其附件。第四节消防设施因素确定消防设施。10升／5升／秒；10米。25米，水枪喷19毫米。条干净室及其技术夹道和技术夹层内，均宜同时设置卤代烷或等部位，应同时设置卤代烷或二氧化碳等固定灭火装置和消防给水系统。第七章工业气体管道第一节一般规定条工业气体管道的干管，应敷设在技术夹层、技术夹道内。氢施。引入干净室的支管宜明敷。条高纯气体管道设计，应附合以下要求三、不宜设预留口；“盲管”等不易吹除的部位；五、干管和支管上应设置吹除口；六、在管道系统上应设置必要的取样口。套管内的管段不应有焊缝。管道与套管之间应实行牢靠的密封措施。条氢气和氧气管道末端或是高点宜设放散管。放散管应高出屋脊1米，并应设在防雷保护区内。选择。气体终端净扮装置应设在靠近用气点处。条气体过滤器应依据生产工艺对气体含尘量的要求进展选择。高纯气体管道应装设高气体过滤器。其次节管道材料、阀门和附件用：四氟乙烯管、聚乙烯管，不得承受乳胶管。条高纯气体管道应承受密封性能好的阀门和附件，其材料与管应承受聚四氟乙烯材料。条高纯气体管道与附件连接的密封垫,应承受不锈钢、有色金属、聚四氟乙烯或氟橡胶材料。第三节管道连接和清洗条管道连接应承受焊接。高纯气体管道应承受承插焊。性能优良的连接件。螺纹处宜承受聚四氟乙烯带密封。条高纯气体管道内的内壁、阀门和附件在安装前，应进展清洗、脱脂等预处理。第四节安全技术一、氢气管道的支管和放散管上，应设置回火防止器；三、各种气体管道应设明显标志。条干净室内使用氢气时，宜在室内设置报警装置。时，气瓶可设置在干净室内。第八章电气第一节配电空气调整用电负荷、照明负荷，应由变电所专线供电。条电源进线〔不包括消防用电〕应设置切断装置，并宜设在非干净区便于治理的地点。大型配电设备不宜设在干净室内。条干净室内的电气管线宜暗敷，管材应承受非燃烧材料。由非干净区进入干净区的电气管线管口，应实行牢靠的密封措施。其次节照明技术经济指标要求时，也可承受其他光源。条干净室内一般照明灯具宜明装。如灯具嵌入顶棚暗装时，其安装缝隙应实行牢靠的密封措施。8．2．3的规定数值。8．2．3┌──────┬──────┬──┬───────┐│识别对象的│视觉工作分类│亮度│照度〔勒克斯〕││最小尺寸 ├──────┤比照├───┬───┤│d〔毫米〕│ 等级│ │混合│一般││及场所 │ │ │照明│照明│├──────┼─┬────┼──┼───┼───┤│d≤0.15 │Ⅰ│ 甲│小│2500│500 ││ ││ 乙│大│1500│300 │├──────┼─┼────┼──┼───┼───┤│0.15≤d≤0.3│Ⅱ│甲│小│1000│300 ││ ││乙│大│750 │200 │├──────┼─┼────┼──┼───┼───┤│0.8≤d≤0.6│Ⅲ│甲│小│750 │200 ││ ││乙│大│750 │150 │├──────┼─┼────┼──┼───┼───┤│d＞0.6 │Ⅳ│ │ │750 │150 │├──────┼─┼────┼──┼───┼───┤│通道、休息室││ │ │ │100 │├──────┼─┼────┼──┼───┼───┤│暗房工作室││ │ │ │30 │└──────┴─┴────┴──┴───┴───┘150勒克斯。条干净厂房内应设置供人员疏散用的事故照明。在应急安全出0．7。第三节把握、通信和防护条干净厂房的净化空气调整把握系统，应满足生产工艺对温度、条干净厂房内应设置与厂房内外联系的通信装置。条干净厂房〔包括技术夹层〕应单独或组合设置感温、感光、〔受讯台〕应设置在有人值班的地点，供电应牢靠。条干净区内应设紧急按钮。如发生火灾危急时，应能发出报警信号，并应同时切断风机电源。附录一 名词解释┌──┬──────┬────┬────────────┐│序号│本标准用名词│曾用名词│解释 │├──┼──────┼────┼────────────┤│1│干净室││依据需要，对空气中尘粒、│││││温度、湿度、压力和噪声│││││进展把握的密闭空间,并│││││以其空气干净度等级符合│││││本标准规定为主要特征 │├──┼──────┼────┼────────────┤│2 │干净区 │净化区│由干净室所组成的区域 │├──┼──────┼────┼────────────┤│3 │人身净化用室│人净生活│干净区工作人员在进入洁││ │ │间 │净区之前按确定程序进展││ │ │ │净化的关心用室 │├──┼──────┼────┼────────────┤│4 │物料净化用室│ │物料在进入干净区之前按一││ │ │ │定程序进展净化的关心用室│├──┼──────┼────┼────────────┤│5 │技术夹层 │管道夹层│主要以水平构件分隔构成││ │ │技术阁楼│的供安装管线等设施使用││ │ │ │的建筑夹道 │├──┼──────┼────┼────────────┤│6 │技术夹道 │技术走廊│主要以垂直构件分隔成的││ │ │技术管械│供安装管线等设施使用的││ │ │技术夹墙│建筑夹道 │├──┼──────┼────┼────────────┤│7 │技术竖井 │ │主要以垂直钩件分隔构成││ │ │ │的供安装竖向管线使用的││ │ │ │井式建筑关心空间 │├──┼──────┼────┼────────────┤│8 │建筑风道 │ │以建筑构件组成的风道 │├──┼──────┼────┼────────────┤│9 │轻型吊顶 │轻吊顶、│以轻型骨架和饰面板材安││ │ │软吊顶│装组成的顶棚 │├──┼──────┼────┼────────────┤│10│粒径││指尘粒由某种测定方法测│││││出的长度名义尺寸，并不│││││含有具体的几何外形的意│││││义。当承受光学显微镜测│││││定时，是指尘粒投影通过│││││测微标尺时为标尺刻度线│││││所切两瑞的长度 │││││当承受光散射式粒子计│││││数器测定时，是指标准尘│││││粒〔如聚本烯小球〕作散│││││射光强度的等效比较而得││ │ │ │的综合效果 │├──┼──────┼────┼────────────┤│11│含尘浓度 │ │指单位体积空气中所含悬││ │ │ │浮尘粒的数量 │├──┼──────┼────┼────────────┤│12│干净度 │ │ 指干净环境中空气含尘││ │ │ │粒多少的程度 │├──┼──────┼────┼────────────┤│13│全室空气净化│全面净化│通过空气净化等技术措施，││ │ │ │使室内整个空间的空气含尘││ │ │ │浓度到达本标准的空气干净││ │ │ │度等级，这种方式称全室空││ │ │ │气净化 │├──┼──────┼────┼────────────┤│14│局部空气净化││仅使室内工作区域特定的│││ ││局部空间的空气含尘浓度达│││ ││到本标准的空气干净度等级│││ ││这种方式称局部空气净化│├──┼──────┼────┼────────────┤│15│层流干净室│平行流│在干净室内，空气以均匀的│││││断面速度沿平行流线流淌〔│││││与流体力学的层流概念不完│││││全一样〕 │├──┼──────┼────┼────────────┤│16│乱流干净室│ │在干净室内，空气以不均匀││ │ │ │的速度呈不平行流线流淌│├──┼──────┼────┼────────────┤│17│干净工作区│ │指干净室内〔除生产工艺特││ │ │ 0.8～1.5││ │ │ │米高度的区域 │├──┼──────┼────┼────────────┤│18│第一干净工作│ │指水平层流干净室工作区││ │区 │ │内空气干净度最终的工作位││ │ │ │置 │├──┼──────┼────┼────────────┤│19│空气吹淋室、│风淋室、│强制吹除工作人员及其衣││ │通道式空气吹│空气淋│服上附着尘粒的设备 ││ │淋室 │浴室 │ │├──┼──────┼────┼────────────┤│20│气闸室 │ │为保持干净区的空气干净││ │ │ │度和正压把握而设置的缓冲││ │ │ │室 │├──┼──────┼────┼────────────┤│21│ │ │无尘服│衣服产生的尘粒限于最小程││ │ │ │度所使用的灰尘量少的干净││ │ │ │服装 │├──┼──────┼────┼────────────┤│22│过滤器额定风│ │指在确定滤速下，使其效率││ │量 │ │和阻力为最合理时的过滤器││ │ │ │风量 │├──┼──────┼────┼────────────┤│23│隧道式干净室││在干净室内承受层流罩组│││ ││成隧道式的垂直层流型的局│││ ││部干净工作区，以布置有较│││ ││高空气干净度要求的生产工│││ ││序或生产流水线 │├──┼──────┼────┼────────────┤│24│外围建筑 │b │指安装装配式干净室所在││ │ │ │的建或改建建筑物 │├──┼──────┼────┼────────────┤│25│气流组织 │ │指对气流流向和均匀度按││ │ │ │确定要求进展组织 │├──┼──────┼────┼────────────┤│26│滤膜显微镜│ │将测定用薄膜过滤器捕集││ │计数法 │ │到的尘粒用显微镜放大后，││ │ │ │观看尘粒大小和数量的方法│├──┼──────┼────┼────────────┤│27│纯水 水│指温度25℃时，电阻率││ │ 0.1×10^6欧姆•厘米││ │ │水 │水 │├──┼──────┼────┼────────────┤│28│高纯水││││欧姆•厘米水中││││0.5微米的尘粒││││300粒／毫升，活微生││││9个／毫升的纯水│├──┼──────┼────┼────────────┤│29│纯水终端净│纯水后处│在用水点四周，对水质作进││ │扮装置 │理设备│一步净化处理的装置 │├──┼──────┼────┼────────────┤│30│高纯气体││指纯度大于或等于│││││99，9999％，││ │ │ 量小于5ppm的气体 │├──┼──────┼────┼────────────┤│31│气体终端净│ │在用气点四周，对气体作进││ │扮装置 │ │一步纯化处理的装置 │├──┼──────┼────┼────────────┤│32│高效气体过││气体经过滤后，到达小于或│││滤器 │0.5微米尘粒含量小于│││ │3.5粒／升的气体过│││ ││滤器 │└──┴──────┴────┴────────────┘附录二干净室空气干净度的测试一、干净室的空气干净度，应进展以下测试：〔一〕空态、静态测试有工艺设备和生产人员的状况下边行测试。静态测试：干净室净化空气调整系统已处于正常运行状态，工艺设备已安装，室内没有生产人员的状况下进展测试。〔二〕动态测试干净室已处于正常生产状态下进展测试。空气调整的有关规定执行。三、空态、静态测试〔一〕测试前的预备1、应对干净室及其净化空气调整系统进展彻底清洁。2、承受光散射粒子计数器对高效空气过滤器进展检漏测试。首先测定高效〕0．5微米的尘粒数应30，000粒／升。如假设不够，可引入烟雾，然后开头检漏。将粒子〕2--32～4厘米0．53粒／分•升〔或其即认为该处有明显渗漏，必需进展堵漏。〔二〕测试内容1、总送风量、总回风量、颖空气量、排风量等；2、干净室压力值；3、层流干净室断面风速和气流流向；4、干净工作区的干净度；5、室内温度、湿度及其把握力气的调整测试；6、干净室内噪声。〔三〕干净工作区空气干净度的测试方法5微米的尘粒计数。也可承受滤膜显微镜计数法。光散射粒子计数法：1、光散射粒子计数器采样量1升。0．3升。0．1升。100级干净室，宜承受大流量粒子计数器进展测试；假设条件不具备时，可承受每次采样量不小于1升的粒子计数器。2、采样留意事项采样管必需干净，连接处严禁渗漏。1．5米。样口的下风侧。采样挨次应按含尘浓度从低到高进展。3、测点布置1米。200．5～2．0米，粒径大一干净工作区内。505个测点〔2〕。3--5个测点。4、数据整理取其平均值，即为该点的实测数值。0．5微米的尘粒数确定：层流干净室取各测定点最大值，乱流干净室取各测点的平均值。毫米水柱的微压计。四、动态测试。态、静态测试。附录三 干净厂房生产的火灾危急性分类举例┌──┬────────────────────────┐│生产│举 例 ││类别 │├──┼────────────────────────┤│甲│微型轴承装配的精研间、装配前的检查间│││周密陀螺仪装配的清洗间│││磁带涂布烘干工段│││化工厂的丁酮、丙酮、环乙酮易燃熔剂的物│││理提纯工作间〔光致抗蚀剂的配制工作间〕││ │半导体材料厂使用氢气的拉晶间、硅烷热分解室 ││ 〔28℃的易燃││ │液体者〕外延间、化学气相沉积间和化学试剂贮存间│├──┼────────────────────────┤│乙│胶片厂的洗印车间 │├──┼────────────────────────┤│丙│计算机房记录数据的磁盘贮存间 ││ │显像管厂装配工段烧枪间 ││ │磁带装配工段 ││ │集成电路工厂的氧化、集中间、光刻间 │└──┴────────────────────────┘附录四净化空气调整系统设计对施工的要求一、风管、静压箱和附件的施工，应符合以下要求：施工现场应保持清洁。风管及其附件、静压箱、空气调整器、技术夹层、机房以及其它设备、装置等的清洁工作应边施工边进展；〔二〕风管、静压箱和附件等制作后，应存放在清洁、枯燥的地点，并应采取防止积尘的措施；承受复合钢板、镀锌钢板制作的风管，在加工、安装、施工过程中造成的破损应补涂涂料；〔四〕清扫、擦拭应选用不产尘、不掉纤维的工具和材料。二、高效和亚高效空气过滤器的安装，应符合以下要求：必需在土建施工、净化空调系统初效、中效空气过滤器安装完毕，全12小时前方能进展；〔二〕高效空气过滤器必需在安装时方可从保护袋中取出，同时应进展透光目视检查。凡滤纸破损、漏胶和外框变形者，不得安装；〔三〕过滤器与安装框架之间，必需实行密封措施；〔四〕过滤器安装就位后，必需进展检漏和堵漏。安装，应严格依据产品的安装、施工要求进展。附录五净化空气调整系统设计对维护治理的要求干净室的空气监测频数 附表5┌──────┬──┬───┬────┬──────┐│＼空气洁│ │ │ │ ││鉴测＼净度│100│1000│10,000│100,000 ││工程＼等级│ │ │ │ │├──────┼──┴───┴────┴──────┤│温