K465装机培训资料

---K465装机培训●K465简介

K465为美国Veeco公司的GaN机台，现公司有两台（X炉和U炉），K465的最大优点是产能大，操作简单，维护少，很适合公司大规模生产。缺点是源耗大，均匀性与TS比稍差。●机台硬件手套箱反应室源电源叉子CBAElectrical/CircuitBreakerAssembly(ECA)ELECTRICRACKSDA/SourceDeliveryAssemblyRHA/ReactorHousingAssemblyTHA/TransferHousingAssemblyPEA/ProcessExhaustAssembly尾气处理给八个电流源供电1.PowerSupplyUnit(电源)K465一共有8个电源箱，分别给Inner、Middle和Outer加热丝供电:InnerPowerSupply（40/250）（Inner加热丝较小）MiddleMasterPowerSupply(60/250)MiddleSlave1PowerSupply(60/250)MiddleSlave2PowerSupply(60/250)MiddleSlave3PowerSupply(60/250)（Middle加热丝较大）OuterMasterPowerSupply(60/250)OuterSlave1PowerSupply(60/250)OuterSlave2PowerSupply(60/250)●“60/250”表示电源能提供的最大电压和电流，即最大功率；●相同功率的电源箱可以互换；InnerMiddleOuter2.Sourcegas（源）源材料：MO源：TMGa、TEGa、TMAl、TMIN、CP2Mg载气：H2，N2特气：NH3，SiH4恒温槽温度：TMGa：液态，5°CTEGa：液态，25°CTMAl:液态，25°CTMIn:固态，30°C（两瓶TMIn，串联）Cp2Mg：固态,30°C恒温槽3.Reactor（反应室）反应室冷却水管chiller循环水，灰进黄出厂务循环水，黑进红出里外两个RT，中间DRTshutterMainHydrideAlkylMiddle加热丝的电极反应室基座和加热丝Outer加热丝Middle加热丝镍支架Inner加热丝Spindle耐高温陶瓷反应室基座反应室顶盖Alkyl/III族Hydride/V族CenterpurgeHydrideAlkyl盖子内部结构Robot（叉子）K465机台是用叉子来实现反应室-手套箱反应室-loadlock第一天1.把MOCVD设备部件搬入车间2.确定设备放置位置3.把Loadlock和GV的框架相连第二天1.安装Hub，调节Hub的高度与GloveBox的高度一致，利用水平仪校准2.把Hub与GloveBox对接，对接后用水平仪校准，保证Hub水平，用卡子把两边，在检漏口连接检漏仪，对Hub进行检漏3.装上两个EbaraPump，用波纹管把出气、进气管道相连（O-ring和卡套），调节高度4.连接Ebara泵的电源线、干泵的电源线及Ebara的冷却水管道（下进水黑色，上出水红色）5.把反应室与Loadlock对接，用卡子固定，检漏6.连接chiller的冷却水管道7.安装MO源恒温槽，连接每台的冷却水8.安装电脑PLC

chillerbathGrowthdataRT主机第三天1.调试新叉车2.用叉车吧反应室顶盖拆下3.拆开隔热板包装，安装Inner加热丝，安放陶瓷绝缘支柱4.把隔热板放入反应室，然后安放加热丝支架，安装陶瓷绝缘块5.在反应室上部的Alk五路管路上缠绕加热线6.安装反应室底部的Heaterbasecoil#1和#2冷却水管道用黑色的O-ring密封7.安装反应室底部电极冷却水管道接口8.拆开Hub顶盖9.通电，检查电路10.定位叉子位置（从Loadlock到Glovebox和从Loadlock到Hub）第四天1.把Ebarapump的冷却水管接好，尾气管道联结至排风口，给泵通电，同时把N2隔离气流量调至最小2.开泵，同时打开设备主控机器，把rebotfock归位，然后通过操作软件把插板阀门打开3.定位Robotfock在反应室的位置，然后按各个位置的高位地位检查了一遍，确认fock的运行准确无误。4.测量inner，middle和outer加热丝的电阻，确认阻值在0.5欧姆左右，测量inner，middle和outer的电极对地电阻，确认各个电极没有短路5.首先安装outer的6根电缆线6.连接电极冷却水管路，连接basecoil#1和#2的冷却水管路，连接paro冷却水管路等7.连接inner和middle的电缆8，连接各水路的进出口快速接头到总路接口上，并确认无误。1.通冷却循环水，检查各水路是否有漏。此时发现outer电极冷却水管接口处漏水，拆下重装，再检查，无漏。2.继续缠绕反应室上盖ALK加热线3.发现outer加热丝的电源线已作更改，变为左负右正，拆下重装。4.装反应室后的尾气管道与过滤器连接的Y管.(注意水平)

5.调节MO源恒温槽冷却水的流量.

6.将缠好加热带的反应室盖盖上并检漏及检漏Y管.

第五天第六天1.检漏反应室，关闭蝶阀后，可以抽到5e-10，大喷之后，掉至5e-9，下午重新抽低压，关闭蝶阀，保持在2.2e-9Pam3/s，微漏检查无漏，大喷，5分钟后升至4.5e-9

2.给水浴槽通电，设置温度，检查是否能正常工作3.给heatexchanger加水，通电，再加满水，检查是否工作正常，是否漏水，是否水管温度上升，水是否流动4.设置水浴槽的泵速，通讯地址，接口模式等，其中泵速设置为4，接口模式选择为485，通讯地址按顺序设置TMAl=1，TEGa=2，TMGa#1=3，TMGa#2=3，Cp2Mg=4，TMIn#2=5，TMIn#1=6，并进入电脑系统文件进行更改6.连接马达数据线，电源线，测试马达工作生否正常7.检查所有气动阀是否能正常工作第七天1.安装mainhydride的N2、H2和NH3的MFC

2.安装各有机源的管脚，并针对outline缠绕加热线3.对反应室之前的所有管路进行检漏，分三个部分：a,检漏口24，对SiH4