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光栅衍射效率测量系统及其表面结构参数检测设备対光栅加工前后的检测内容包括光栅衍射效率*表面槽深、占宽比的检测，光栅衍射效率的检测实际测量的是光栅的衍射光光强，对光栅表面槽深、占宽比的检测是利用原子力显微镜探测扫描光栅表面获得其表面形貌图，然后通过分析软件分析计算茯得槽深、占宽比的数据。3.3.1光柵衍射效率测旱本文实验中对光栅+1级衍射效率的检测，实际测量的是+1级衍射光光强，对于衍射效率变化率与衍射光强变化率的关系*以下作简单推导：设系统主光路的朮强为Q研磨前1级衍射光朮强为倚衍射效率伽=如t』总I■研磨肓1级衍射巴巴強为厂廿衍射效率帀驚二亠*则衍射效率变化率色V，沟：丿总与总光强切的大小无关，通过测量研磨前光栅的衍射光强值丿衍和研磨后的厂衍即可茯得衍射效率的变化率’无需对总光强进行测卷t,光栅衍射效率检测系统由激光器、步逬器、微弱光採测器、计算机、控制软件等纽成’如图氏所＜|二图3乃中的激允器为半导体固体激光器W40S-75FSM-GZ.测'i土时输出波长为405tim+输出功率选抒10mW+功率稳定性优F0.6%°打描测!Il空h"采样|'iI］隔为().5mm、1mm、2mm*时Ri］采样|'i"隔为50ms图3・5衍射效率打描测量系统示意图图3・6是9#光栅研磨之前的衍射效率分布图，实际测量的是+1级衍射光光强,空间采样间隔:().5mm,时间采样间隔:50mso3.3.2光栅表面结构参数的检测光栅表面结构参数检测系统由AFM及其控制软件、分析软件组成，如图3・7所示。AFM探测扫描光栅表面，生成光栅的表面形貌图(如图3・9、图3・1()所示)，通过分析软件分析计算槽深、占宽比数据。

图3-7AFM及控制组件实验中所使用的AFM(AtomicForceMicroscope,原子力显微镜)为布鲁克公司(BrukcrAXS)原子力显微镜的旗舰产品DimensionIcon系列增强型,如图3・8所示,Icon可以实现所有主要的扫描探针成像技术，其测试样品尺寸可达：直径210mm,厚度15mm。温度补偿位置传感器使Z・轴和X-Y轴的噪音分别保持在10山和10皿级别水平。图3-8AFM实物图与效果图AFM测量中参数设置如卜•：ScanSize：10pm；ScanAngle：0 ；ScanRate：0.5Hz；IntegralGain：0.5-0.7；AmpliludcSetpoint：270-310n)V图3-9.图3-1()是1#光栅研磨之前x=2,y=7处的表面结构参数测量

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