清洗间安全管理规范

清洗间安全管理规范为确保无尘室冲洗间的干净有序，保证工作人员和工作环境的安全，根据无尘室车间冲洗间实际情况，特制订以下冲洗台安全管理规范：

1、冲洗间负责管理人员负责管理监管冲洗间的工作情况，有权制止和阻止违背冲洗间管理的人员的犯罪行为。

2、有机与无机化药必须在适当的冲洗间分离采用，有机与无机洗间分别独立采用，严禁串用。所有采用化学药品展开的湿法退火、锈蚀工艺必须在冲洗间操作方式。原则上有机冲洗可于有机冲洗台展开，无机冲洗、酸碱锈蚀在无机冲洗台展开。不得在同一通风柜中展开有机和无机冲洗。

3、冲洗操作方式时，特别注意个人防水意识，根据操作规程，无机冲洗时，必须佩带完备的防水，包含：严防酸碱手套、围裙、眼镜、面罩、护袖等。有机冲洗时，若采用有害或剧毒化药，例如：三氯乙烯、四氯化碳、氯苯等，必须佩带完备的防水。任何冲洗工艺，必须佩带较完整的乳胶手套。所用个人防护用品采用完后，必须用水冲洗整洁，防止化药残余在防护用品上，影响他人采用，采用完后整齐摆回去原位。

4、采用化学药品必须预先介绍所用化药的采用注意事项和适当的应急措施。展开冲洗操作前必须看看化学药品标识，恰当采用化学药品。

5、冲洗操作方式时，必须节约使用化药和无尘纸等耗材。崭新液化药就可以用作冲洗样品，不得新液用作其他用途。必须采用适宜的器皿，严禁用小的器皿冲洗大的样品。化药用量参照：液面砌过样品不要少于1CM。采用崭新液化药顺序：先采用已打开试剂，已打开试剂采用完后再打开代莱试剂，并在采用完后的空瓶表面写下上“废为”字。

6、冲洗操作方式时，冷却、加热、拆分等须要返回时，在无人看护情况下，置放在公共边线的任何溶液必须置放标识牌（采用人、化药名称、日期、时间），置放的边线严禁影响其他人工作，冲洗完后，恳请及时用酒精或丙酮读取标识牌，没标识的犯罪行为和标识牌没及时去除将视作违规行为。

7、挑崭新液时，必须把新液桶外面的外包装塑料袋和橡皮筋放进垃圾桶，不得送回崭新液柜。不得把觑崭新废液桶送回崭新液柜中。无机废液桶要置放在装有废液废旧桶的蓝盒子里，有机废液桶要置放在空废液瓶整理箱或废液柜中。用户例如存有自己的化药新液，恳请搞好标识，置放在用户适当的崭新液柜中，遵从：有机与无机分离，酸、碱分离置放原则。有机废液柜未放八十时，不得把废液瓶置放在地面（只有废液柜摆满时，才可以把废液整齐置放在地面）。

8、在采用8槽清洗机展开冲洗样品时，必须采用选定的公共冲洗器皿。不得在未经容许的情况下采用别人的冲洗器皿，个人和公共冲洗器皿采用完必须冲洗整洁，用气枪揉搓后，摆回去选定边线。

9、冲洗废液、锈蚀废液、光刻所用废液必须按照建议和命令放入适当的废液废旧桶，松开废液桶盖时，必须向反方向转盘半圈，桶盖必须吉。处置无机废液时，必须特别注意挑选不好适当的废液桶，好像废液之前重新加入5倍以上的去离子水吸收（浓硫酸除外），其中废液吸收的水包含原溶液中的水。吸收时特别注意：把废液重新加入水中吸收（务必特别注意顺序）。无机废液飞溅时，必须双手展开同一操作方式。不要一只手拿废液或空烧杯，一只手扳动或松开废液桶盖。

10、废为浓硫酸桶中放置废液存有：（1）、废为浓硫酸占到总体积大于50％以上的废液。（2）、废为氢铵浓硫酸。两者废液都不须要吸收，轻易放入废为浓硫酸桶。如果废液中浓硫酸总体积比大于50％，则须要提5倍以上去离子水吸收（废为浓硫酸重新加入水）放入废酸桶。

11、冲洗操作方式时，从一个冲洗台至另一个冲洗台时间间隔一分钟以上，必须停用适当冲洗台通风门。如果冲洗完返回冲洗间，清扫台面并检查通风门、灯、超音波机、水浴机的开关电源与否停用。超音波机采用完后及时关上超音波机盖子。

12、有机废液废旧时，只有丙酮、异丙醇、无水乙醇可以混合废旧，其他例如：三氯乙烯、四氯化碳、氯苯等存有毒化药要单独废旧并搞好标识。有机废液处置时，必须在废液桶上写下不好标识，如果别人已写下不好你须要搞的标识，而且废液桶未装进，可以不写下标识，轻易放入废液桶。

13、冲洗完后，必须整理并冲洗台面，并更改一次性乳胶手套。冲洗前后必须在记录本上分别备案完备的已经开始和完结时间、目的、化药名称等记录。

14、弃置手套、无尘布、无尘纸等恳请放进垃圾桶，所用化学药品摆回去原处，用水跳冲洗台面用无尘纸刮除，再用放大氮气揉搓冲洗台，维持冲洗台干净柔软。严禁在冲洗台上遗留任何废弃物，并及时停用冲洗台的通风门。冲洗间采用人员存有义务及时清扫所用冲洗台遗留的废弃物。

15、在飞溅废液时，必须特别注意观测与否存有废液遗撒地面，或在冲洗完结后，检查与否存有水或其他液体洒满在冲洗台附近的地面，若存有一定必须及时用无尘纸或其他方式处置整洁。

16、冲洗操作方式时，采用氢氟酸（HF）、氟化铵（NH4F）或（BOE）所含氟离子的化药时，必须用塑料的烧杯、量筒等器皿，严禁用玻璃及石英器皿。

17、酿制无机溶液时，遵从：一、存有水在酿制溶液中的，先喝水，后放入密度大的化药，再至进密度小的化药；二、没水在酿制溶液中的，先好像密度大的化药，再放入密度小的化药。密度的大小可以根据分子量的大小区分，通常情况下分子量小的化药密度小，分子量大的化药密度大。

18、溶液冷却时，必须要到温度升至预设温度时，再放上器皿回去冷却，冷却完后，关闭电源，等溶液加热至室温才可以抽出。（通常：有机与无机，酸、碱无法同时冷却操作方式）。

19、在冲洗时，摔伤把大量化药淋在地面或辨认出存有大量化药在地面，应立即处置。BOE烧伤眼睛或皮肤，一份钟内用六氟鬼神冲洗，再用水冲洗，而后立即看病。

20、未经许可的情况下，严禁擅自随身携带化学药品出入无尘室间。

21、未通过培训和考核的人员严禁擅自采用冲洗设备。

22、如果在冲洗过程中，存有任何疑点，应当及早主动与有关工艺负责人人沟通交流。

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