无尘室安装工程监理细则

C13瑞仪光电（苏州）大陆厂一期工程监理细则（无尘室安装工程）内容提要：监理目标关键控制点监理措施其它项目监理部（章）：专业监理工程师：卢英男总监理工程师：丁忠华日期：二00二年十一月五日江苏省建设厅建设监理处监制工程概况本工程包括瑞仪光电（苏州）大陆厂一期工程中A、B厂和员工宿舍、食堂、台干宿舍、设备附房，建筑总面积57000㎡。无尘室系统：集中在A厂，空气洁净度最高等级为2级，温湿度要求为22＋2。C，55＋5%，气流流型采用单向流。监理依据：监理时应以国家及地方法律、法规及给排水工程的有关规范、标准，以及业主与承包商签定的合同文件为依据，对工程质量、进度、投资实施监理。空调、通风工程监理的主要技术规范有：《通风与空调工程施工质量验收规范》（GB50243-2002）《建筑给水排水与采暖工程施工质量验收规范》（GB50242-2002）《高层民用建筑设计防火规范》 （GB50045－95）《洁净厂房设计规范》 （GB50073-2001）《建筑灭火配置设计规范》 （GBJ140－90）并有当地政府部门制定的地方法规。监理目标：1.质量：达到市优；2.进度：保证按总进度计划完成；3.投资：在批准的工程造价内。目标分解：1．冷、热水管路及其保温、管支、吊架安装；优良率>50%2．MAU、DRYCOIL、FFU及其配件安装优良率>50%3．风管、风口及其配件的安装；优良率>50%4．设备电源线和中央监控线安装；优良率>50%5．围护结构和室内装修安装；优良率>50%关键控制点及难点1.室内温湿度、风速、换气次数、正压和噪声控制；2.风管漏风量的控制和洁净控制；3．净化设备安装及调试控制；4．围护结构和室内装修材料质量控制；5．所有隐蔽工程的检查与验收；六.施工阶段质量控制实施细则·要求施工单位全面质量管理，建立健全质量保证体系，做到开工有报告，施工有措施，技术有交底，定位有检查，材料、设备有试验，隐蔽工程有记录，质量有自检、专检，交工有资料。·针对本工程制定一套具体的、细致的质监措施标准：净化空调系统安装工程质量控制表序号控制项目控制内容1准备工作1.学习有关图纸和技术资料；2.学习操作规程和质量标准；管材及其他材料和设备：材料和设备在使用和安装前，应按设计要求检验规格、型号和质量；施工机具准备；对操作人员进行交底。2施工净化空调施工质量应满足一般空调施工质量要求；漏风量检测应以高压系统风管的规定执行；矩形风管边长小于或等于900MM时，底面板不应有拼接缝，大于900MM时，不应有横向拼接缝；风管所用的螺栓、螺母、垫圈和铆钉均应采用与管材性能相匹配、不会产生电化学腐蚀的材料，或采取镀锌或其他防腐措施，并不得采用抽芯铆钉；风管的清洗不得用对人体和材质有危害的清洁剂；镀锌钢板风管不得有镀锌层严重损坏的现象，如表层大面积白花、锌层粉化等；现场应保持清洁，存放时应避免积尘和受潮。风管的咬口缝、折边和铆接等处有损坏时，应做防腐处理；风管法兰铆钉孔的间距，不应大于65MM；静压箱本体、箱内固定高效过滤器的框架及固定件应做镀锌、镀镍等防腐处理；制作完成的风管应进行第二次清洗，经检查达到清洁要求后应及时封口；风阀的活动件、固定件以及紧固件均应采取镀锌或作其他防腐处理（如喷塑或烤漆）；阀体与外界相通的缝隙处应有可靠的密封措施；法兰垫料应为不产尘、不易老化和具有一定强度和弹性的材料，厚度为5-8MM，不得采用乳胶海绵；法兰垫片应尽量减少拼接，并不允许直缝对接连接，严禁在垫料表面涂涂料；风管与洁净室吊顶、隔墙等维护结构的接缝处应严密；风口安装前应清洁干净，其边框与建筑顶棚或墙面间的接缝处应加设密封垫料或密封胶，不应漏风；洁净室内不应设置地漏，不应有排水立管穿过；洗手台的纯水管道系统各组成部分必须密封，不得有渗气现象，干管流速为1.5-3m/s,供水干管上应设有清洗口，排出口以下部位设水封装置，管路不渗、不漏；本工程中洁净室内有N2、CDA管，要求管路不应出现不易吹除的“盲管”等死角，系统应设必要的吹除口和取样口，干管应敷设在技术夹层内，采用内抛光不锈钢管，氩弧焊；净化空调系统用电负荷、照明负荷应由变电所专线供电，电气管线宜暗敷，穿线导管应采用不燃材料，电气管线管口及安装于墙上的各种电器设备与墙体接缝处应有可靠的密封措施；FFU应在系统进行全面清扫和系统连续试车12H以上后，在现场拆开包装并进行安装；安装前需进行外观检查和仪器检漏。目测不得有变形、脱落、断裂等破损现象；仪器抽检检漏应符合产品质量文件的规定；合格后立即安装，其方向必须正确，安装后的FFU四周及接口应严密不漏；在调试前应进行扫描检漏；净化空调设备与洁净室维护结构相连的接缝必须密封；在系统试运转时，必须在进风口处加装临时中效过滤器作为保护；带有通风机的气闸室、吹淋室与地面间应有隔振垫；机械式余压阀的安装，阀体、阀板的转轴均应水平，允许偏差为2/1000。余压阀的安装位置应在室内气流的下风侧，并不应在工作面高度范围内；传递箱的安装应牢固、垂直，与墙体的连接处应密封；风管及管道的绝热不应采用易产尘的材料；送、回风总管段上应采取消声措施，满足洁净室内噪声要求；系统总风量调试结果与设计风量的允许偏差为0-20%，室内各风口风量与设计风量的允许偏差为15%，新风量与设计新风量的允许偏差为10%；室内截面平均风速的允许偏差为0-20%，且截面风速不均匀度不应大于0.25，新风量与设计新风量的允许偏差为10%；相临不同级别洁净室之间和洁净室与非洁净室之间的静压差不应小于5Pa，洁净室与室外的静压差不应小于10Pa；室内空气洁净度等级必须符合设计规定的等级或在商定验收状态下的等级要求；在门开启的状态下，测定距离门0.6M室内侧工作高度处空气的含尘浓度也不应超过室内洁净度等级上限的规定；净化空调系统应采取防静电接地措施；3质量评定执行有关质量验收标准，不合格的须做处理。4资料整理材料及设备合格证或试验报告；水压试验记录、气密性试验记录及系统调试记录；监理日记记录；质量评定记录。2.室内精装安装工程质量控制表序号控制项目控制内容1准备工作学习有关图纸和技术资料；学习操作规程和质量标准；维护结构、EPOXY、天花材料要求出具合格证，并根据设计要求对其进行验收；施工机具准备；5.对操作人员进行交底。2施工洁净厂房每一生产层、每一防火分区或每一洁净区的安全出口数目不应少于2个；洁净生产与一般生产区域之间应设置不燃烧体隔断措施，隔墙及其相应顶棚的耐火极限不应低于1H，隔墙上的门窗耐火极限不应低于0.6H，穿隔墙或顶棚的管线周围空隙应采用防火或耐火材料紧密填堵；洁净厂房的建筑维护结构和室内装修应选用气密性良好，且在温度和湿度变化时变形小的材料；洁净室的顶板和壁板（包括夹心材料）应为不燃材料，且不得采用有机复合材料，顶棚的耐火极限不应低于0.4H，疏散走道顶棚的耐火极限不应低于1.0H；壁板的构配件和辅助材料的开箱应在清洁的室内进行，安装前应严格检查其规格和质量，壁板应垂直安装，底部宜采用圆弧或钝角交接，安装后的壁板之间、壁板与顶板间的拼缝应平整严密，墙板的垂直允许偏差为2/1000，顶板水平度的允许偏差与每个单间的几何尺寸的允许偏差均为2/1000，踢脚不应突出墙面；维护结构的材料应满足保温、隔热、防火、防潮、少产尘、抗静电等要求，耐火等级不能低于二级；技术夹层应为不燃烧体，其耐火极限不应低于1H，其墙壁和顶棚表面应平整，光滑；3MM厚EPOXY的电阻抗为104-106Ω，在相对湿度15%条件下，5000V电压与0.03秒内降至0V电压，地面应干燥、平整，平整度允许偏差为1/1000，地面面层应具有导电性能，并应保持长时间性能稳定；洁净区和人员净化用室设置外窗应采用双层玻璃固定窗，并有良好的气密性；洁净室门窗、墙壁、顶棚、地面的构造和施工缝隙均应采取可靠的密闭措施；洁净室吊顶为可踏式金属无尘天花板，承重为75kg,二级A防火，接头负载要达到400kg以上，在受荷载后应保持平直，压条全部紧贴，做到不脱落，密封良好，所有附件需做防锈处理；传递箱要求有机械连锁装置，在同一时间只能开启一边门，避免外气污染洁净室；吹淋室要求有电子式连锁装置，避免内部喷洗时门被打开或两边门被开；3质量评定执行有关质量验收标准，不合格的须做处理。4资料整理维护结构、EPOXY、天花材料质量合格证；地面平整度记录和密封性能记录；监理日记记录；质量评定记录。进度控制具体实施细则·施工阶段进度控制工作细则是针对具体的施工项目编制的，是施工阶段监理人员实施进度控制的一个指导性文件，其内容包括：1.施工阶段进度目标分解图；2.施工阶段进度控制的主要工作内容和深度；3.人员的具体分工；4.与进度控制有关的各项工作的时间安排，总的工作流程；5.进度控制所采取的具体措施（包括进度检查日期、收集数据方式、进度报表形式、统计分析方法等）；6.进度控制的方法；7.进度目标实现的可能性及风险分析；8.尚待解决的有关问题。·严格审核总承包单位编制的施工组织设计，总进度计划，编制网络计划，具体内容有：项目的划分是否合理，有无重项和漏项；进度在总的时间安排上是否符合合同中规定的工期要求或是否与项目总进度计划中施工进度分目标的要求一致；施工顺序的安排是否符合逻辑，是否满足分期投产的要求以及是否符合施工顺序的要求；全场性材料物资供应的均衡性是否满足要求；劳动力、材料、机具设备供应计划是否能够确保施工总进度计划的实现；施工组织总设计的合理性、全面性和可行性如何。·对总包单位提交的施工进度计划进行审核后，要把若干相关关系的处于同一层次或不同层次的施工进度计划综合成一个多阶群体的施工总进度计划，以利于进行总体控制。·要求总包单位以施工计划为基础编制年度工程计划，安排年度工程投资额，单项工程的项目、形象进度和所需各种资源，作好综合平衡，此外，还需审核月度和季度计划，作为施工单位近期执行的指令性计划，以保证施工总进度的实施。·严格进行进度检查。为了了解施工进度情况，避免承包单位谎报工作量的情况，监理工程师需进行必要的现场跟踪检查，以检查现场工作量的实际完成情况，为进度分析提供可靠的数据资料。·对收集的进度数据进行整理和统计，并将计划与实际进行比较，从中发现是否出现进度偏差。·分析进度偏差将带来的影响并进行进度预测，从而提出可行的修改措施。·协调各施工单位之间的关系，使他们相互配合、相互支持、搞好衔接。·利用工程款签证权，督促施工单位按计划完成任务。投资控制具体实施细则·事前控制：1.熟悉设计图纸、设计要求、标底标书，分析合同价构成因素，详细分析中标者的标书和报价，明确工程费用最易突破的部分和环节，从而明确投资控制的重点；2.预测工程风险及可能发生索赔的诱因，制定防范性对策，减少向业主索赔的情况发生；3.按合同规定的条件，如期提交施工现场，使工程能如期开工、正常施工、连续施工、不要违约，造成索赔条件；4.按合同要求，如期、如质、如量地供应由业主负责的材料、设备到现场，不要违约，造成索赔条件；5.按合同要求，即使提供设计图纸等技术资料，不要违约，造成索赔条件。·事中控制：1.按合同规定，及时答复施工单位提出的问题及配合要求，不要造成对方违约及索赔的条件；2.施工中主动搞好设计、材料、设备、土建、安装及其他外部协调、配合，不要造成对方索赔的条件；3.工程变更、设计修改要慎重，事前应进行技术经济合理性预分析；4.严格经费签证。凡涉及费用支出的停窝工签证、使用机械签证、材料代用、材料调价等的签证，项目总监理工程师最后核签后方才有效；5.按合同规定，及时对已完工程计量、验方，不要造成未经监理验方认可就承认其完成数量的被动局面；按合同规定，及时向施工单位支付进度款，不要造成违约被处以罚款的条件；6.完善价格信息制度，及时掌握国家调价的范围和幅度；7.检查、监督施工单位执行合同情况，使其全面履约；8.定期向总监、业主报告工程投资动态情况；9.定期、不定期的进行工程费用超支分析，提出控制工程费用突破的方案和措施。·事后控制：1.审核施工单位提交的工程结算书，严格审核各种不合理因素；2.公正的处理施工单位提出的索赔。无尘室管理作业规范目的:建立无尘室管理规则有效管理无尘室之运转并对生产设备工具物料人员进出洁净衣等管制以确保无尘室之高洁净度需求与正常运作适用范围:适用于台鑫国际股份有限公司无尘室ClassParticle(0.5u)环境规格10001000232ºC4551000010000232ºC555100000100000232ºC55203.权责:3.1无尘室管制:生产作业区主管或当班负责人员3.2稽核单位:生产作业区领班以上或执行IPQC稽核人员3.3新进人员(无尘室)作业说明:人事或制造单位3.4无尘服管理:行政单位4.作业内容:4.1人员进出要求4.1.1资格:a.甄选无尘室工作人员时,应避免任用对化学溶剂过敏,有烟瘾者,手容易出汗或因气喘经常性咳嗽或打喷嚏者b.凡进入无尘室人员皆需经教育训练,方可单独进出无尘室若未经合格而需进入者,得须由合格人员陪同带领下,方可进入c.外宾进入无尘室,务必由各单位主管或指定人员陪同,陪同人员将外宾资料于­「厂商/来宾进入无尘室豋记表」后方可进入.4.1.2无尘服要求:各区域无尘服穿着如下所示一楼二楼区域Class无尘服要求访客区域Class无尘服要求访客切割区100000大衣+四孔鞋大衣+鞋套洗净区1000全罩连身衣+长筒鞋+手套全罩连身衣+鞋套+手套蚀刻区10000量测区1000抛光区10000包装区10004.1.3进入注意事项：a.作业人员进入Class1000无尘室不可化妆，包含口红、粉、眼影，香水等。b.无尘室(含更衣室)严禁携带或使用香烟、打火机、食品、口香糖及化妆品等。c.临时携入之文件允许使用一般纸张。d.抽烟后,15分钟内禁止进入无尘室(Class1000)e.禁止携入木质用具或易产生粉尘材质之用具，例如铅笔，橡皮擦、立可白等。f.凡是携入一般用具、物品皆需于更衣室中用IPA擦拭，以确保所入物品不会造成微尘污染。g.非经事先核准，无尘室内严禁摄影，录像….等，若经核准，务必由各单位主管陪同。g.外套,私人物品放置于个人铁柜。h.人员及携入之物品，需在经过空气洗尘室以空气洗尘。4.1.4进入程序：人员进入无尘室之程序如下。a.脱鞋置于换鞋柜中，进入更衣室。b.检查，擦拭所携带之物品。c.更衣程序：连身全罩式半套式1.穿戴发。2.至自己所属之衣架处(依部门别/序号别)取无尘衣。以双手抓住无尘衣之下跨开口处，由头顶套入，再将双手及双脚套入袖口，拉好下跨拉铀炼。4.确实将发帽入头套内。5.至自己所属之鞋柜处取无尘鞋或鞋套(无尘衣裤管需扎入无尘鞋中)。6.穿戴口罩，钢丝线朝向上方，绿色外沿朝外，以手指压口罩钢丝部份，以便口罩和鼻梁密合。7.戴PVC手套：穿戴前先前配带电环(见4.1.5动作)，再将PVC手套上自己双手，手套需确实扎入无尘衣之袖口中，不可边走边穿戴手套。8.检视仪容，特别注意头发有无外露，口罩是否紧贴鼻梁。同左1.同左2.穿上大衣式无尘衣d.经洗尘室洗尘后方可进入无尘室，洗尘时间为20秒以上，每次最多以两人为限。e.洗尘室：站立于空气洗尘室内，双手摆动，旋转身体至空气洗尘结后，始可开门离开洗尘室。f.着无尘服时不可离开无尘室区域(含更衣)以外。4.1.5离开无尘室：a.经由洗尘室离开无尘室，禁止人员从旁安全门出入。b.将无尘衣置于自己的衣架上(衣架悬挂方式：将衣架子两边夹至双肩，挂上衣架)，无尘鞋置于鞋柜中。c.乳胶手套、口罩、发帽、鞋套等视使用情况可重复使用(针对经常性进出人员)，并将其无尘服一同摆放整齐，原则上每双乳胶手套使用8小时，口罩为8小时，发帽与鞋套为一周后丢弃、更新之。d.不用之乳胶手套、口罩、发帽、鞋套等一律丢入垃圾桶内，不可到处摆放。4.1.6洁净事项a.无尘室每日例行清洁(5S)与垃圾处理工作，原则上由生产制造单位执行之b.无尘室每周地板清扫(吸尘器)工作，原则上由行政部委外执行之。c.无尘衣、鞋汰旧换新：(1)无尘衣使用大于三年时，必需予以丢弃。(2)无尘衣破损修补超过三次时，必需予以丢弃(3)因工程施工，而严重污染时，予以丢弃。4.1.7无尘衣、鞋送洗分派：a.频率：原则上每周统一送洗一次(各单位可视个人使用状况调整延长)，行政单位提供整理箱(依部门别)由使用者自行提出清洗需求，若遇有紧急逃生紧急施工等状况时，得视需要加强清洗频率。b.无尘衣、鞋送洗送洗作业：无尘衣、鞋依编号管理之,送洗时使用者自行投入整理箱，并登记于无尘服送洗作业登录表中行政单位人员依据登录之.记录清点量；清洗回厂时仍需包装在同一整理箱或塑料袋中，无尘衣名牌需朝外，字体清晰可见，由行政单位人员清点确认。4.2无尘室管理注意事项:4.2.1秩序要求事项：a.任何门户应需随时保持关闭b.非因工作上需要，不得坐于地板之上。c.严禁以身体依靠机台、墙壁、工作桌，Cassette，推车站立。d.面对工作桌及Cassette时尽量少讲话，面向机台时请注意肢体动作。e.严禁快速走动或追逐(紧急警报响除外)f.遵守无尘衣之穿着规定。g.于工作区内尽少通私人电话，公事电话亦以简短为宜。h.无尘室用之货架，推车，垃圾桶等应放置于固定位置。i.生产流程单书写应于工作台上，禁止于Cassette上盖板之直接撰写。j.无尘室内可允许之人员数目超过规定数目时(生产作业区主管判定之)，将暂不允许人员再进入无尘室。k.非经许可，请勿擅自使用化学药剂。l.非经许可，请勿擅自携出机台操作手册。4.2.2安全卫生注意事项：a.无尘室内发现异状(不明之声音、烟蒂，溶液及味道)应迅速反应至值班之主管。b.火警报响时，应迅速呼叫同伴从安全门撤退，并立刻设法与厂务部及消防单位联络。c.身体不适时应立刻通知主管。d.同一区域不能单独一人作业，设备维修必需至少两人(含)以上以维护个人安全。4.2.3运转设备：a.设备应选发尘量少，表面不易积尘之设备。b.真空帮浦(Pump)，马达皮带等容易产生污染物质之设备应尽量装于无尘室外，但若需装设在无尘室内时，应有适当的覆盖或局部的排气。c.设备安装位置及连接管路，应考虑容易清扫为原则。d.磨耗之机件，皮带等，容易产生尘粒，故要定期更换。e.无尘室内使用之工具，原则上要作为无尘室专用，除特别理由不得携出无尘室。4.2.4维修或施工注意事项：a.严禁切削工程，如有必要，需先作防护措放(以真空吸尘器，塑料布铺于地板上)方可进行。b.工程施工后，需清洁施工处周遭环境，使用过之工具，垃圾不任意丢弃。c.禁止使用砂纸、木材、铅笔和橡皮擦等易造成污染之工具。d.大范围施工或破坏性施工时，应以隔板隔离施工区，并明确标示施工中字样之告示牌。4.2.5生产机台周遭：a.为防止产生影响制程之气流扰乱，不可在机台作业区气流之上放置物品或其它作业。b.避免不必要之动作，以防止乱流及微尘污染。c.掉落地上之物品若为消耗品则禁止使用，如需继续使用则需先经酒精或IPA清洁干净方可使用，机台每日操作前应有清洁之动作。4.2.6设备、机台、用具和原料进入：a.大型机台或用具由可拆封板或安全门进入外，其余一般用品和人员由更衣室进入。b.由可拆封板或安全门进入之大型机台或用具，需在走道上将包装部份拆除并以酒精或IPA擦拭干净再行搬入。c.经由更衣室进入之物品，需在经无尘布沾酒精或IPA擦拭后才可进入空气洗尘室。4.2.7化学药品a.化学药品置放于固定地点，使用后应立即加盖，避免外泄，发生危险或影响工作。b.化学药品容器，应有明确之中/英标示,标示不可擅自涂改,更不可私自更换容器包装,以免误用.c.化学药品不可摆放在机台上,货架上.d.不清楚的化学药品不可自作主张,擅自处理,以免发生危险.e.有机化学药品与酸性化学药品不可混合以免危险.f.有关化学药品的处理问题,请依工业安全卫生规定办理.3无尘室5S管理作业1无尘室中未经主管指定(认可)之位置,不可任意于机台,工作桌/椅,等任何一处张贴字条,告示,标语,若同意张贴时应注意工整美观.4.3.2推车:a.推车轮轴损坏应立即停用并送修.b.无尘室外推车要进入无尘室前必