真空检漏概述

一：真空检漏概述1:实际真空系统达不到预定真空度的原因：①泵的有效抽速不够；②存在放气；③存在漏气。2：静态升压法：把容器抽到一定的压力后，关闭阀门，隔离真空室和真空泵，测量容器内的压力变化。（由静态升压法可以确定上述哪种因素其主导作用）3：检漏的冃的就是判断有无漏孔，确定漏孔位置，测量漏孔漏率，以及堵漏。4：漏孔漏率：露点低于一25°C的空气，入口压力为标准大气压，出口压力低于103Pa,温度为23±3°C时，空气通过漏孔的流量。5：最大允许漏率：真空装置或系统正常工作允许的最大漏气率。用仇表示。对于动态真空系统Q/p=0.1Xpwmaxxse,对于静态真空系统0厂命X竺严XV。6：真空检漏方法：①压力检漏法；②真空检漏法；③背压检漏法。①压力检漏法一一将被检漏的真空容器中充入一定压力的示漏物质，如有漏孔存在，示漏物质将从漏孔中漏岀。②真空检漏法一一将被检漏真空容器和敏感元件，抽成真空状态，然后将示漏物质依次施加在可疑部位，若有漏孔，示漏物质将进入容器内，被敏感元件所发现。③背压检漏法一—有三个步骤：充压，净化，检漏。—:各种检漏方法•静态升压法一一把容器抽到一定的压力后，关闭阀门，隔离真空室和真空泵，测量容器内的压力变化。一般常用的静态升压法有以下两种：①辅助真空罩法一一可以排除放气的干扰；②压力平衡法一一可以测量那些不能安装真空规管的被检件的漏率。•气泡检漏法一一在被检件中充入一定压力的示漏气体后放入水中，气体将通过漏孔进入水中，形成气泡，从而判断漏孔的有无及其位置和大小。属于压力检漏法。一般有以下两种：①水槽法一一适用于小型器件；②皂膜法一一适用于尺寸较大的器件。3•氨气检漏法一一把被检件抽真空，在其外壁可疑位置上贴上显影带，然后在其内部充入高于大气压的氨气，当有漏孔时，氨气会漏出并进入显影带，使其变色。具体步骤为：清洁处理一一贴显影带一一充氨一一排氨。4•真空计检漏法一一相对真空计的读数不但与压力有关，还与气体的种类有关，利用这一性质，可以进行真空检漏。常用的有：①热传导真空计法一一选用热传导系数与空气相差较大的气体作为示漏气体。②电离真空计法一一选用电离系数与空气相差较大的气体作为示漏气体；③差动真空计法一一将两个相同的真空计作为电桥的相邻两臂，其中一个真空计前安装有冷阱，可以捕集示漏气体，当有漏孔时，电桥将失去平衡，从而判断有无漏孔，及其位置和漏孔漏率。5•离子泵检漏法一一利用当示漏气体进入离子泵时，将引起泵的电流发生变化的原理制成的。示漏气体应选用与空气的抽速相差较大的气体，如He,Ne,的等。•氢一耙检漏法一一利用耙在高温时对氢的渗透率特别大而对其他气体则很小的原理制成的。将耙管加热到700°C-800°C,选用氢气作为示漏气体。在氢气进入耙管时必须加一个冷阱，其作用是：①捕集碳氢化合物和水蒸气,防止其分解产生氢气；②裂化的碳氢化合物会在耙管上沉积一层碳化层，降低锂管对氢气的渗透能力。•荧光检漏法一一荧光检漏法是一种利用荧光材料的发光作为漏孔指示的无损检漏法，多用于小型件的检漏。•放射性同位素检漏法——将少量的放射性材料放入被检件中并密封好，如有漏孔便会有射线泄露出来，从而在外面用特殊的射线探测仪指示岀来。放射性同位素检漏法在背压检漏法中应用的相当成功。9•慢性气体的加速检漏法一一将管子置于高压的氮气中，管内的压力上升率会比在空气中快得多，这便是慢性气体的加速检漏法的理论依据。三：真空检漏仪器1•高频火花检漏仪一一实际上就是一个小功率，高频，高压的塔式线圈，在其次级线圈的尖端会形成高频高压电脉冲,在大气中会不断引发随机，短促的脉冲放电，在尖端会有尖细，曲折的电火花，检漏时就是利用其尖端的高频放电火花来搜寻漏孔。有两种类型一一电容电感串联谐振式和振动子式。有两种检漏方法一一火花法和放电法。火花法只适用于玻璃系统或器件，，放电法适用于玻璃系统或金属系统，但在检漏金属系统时需要借助于玻璃硅管或盲管。2•卤素检漏仪一一当钳被加热到800°C以上时，表面会有正离子发射，正离子电流的大小取决于加热温度和气体种类,特别是当遇到卤素气体时，正离子电流急剧增加，卤素检漏仪就是基于这一原理制成的。按卤素检漏仪的工作条件,检漏方法可分为真空法和加压法。真空法一一采用固定式卤素检漏仪，检漏管装在被检系统内，并被抽真空；加压法一一釆用移动式卤素检漏仪，将示漏气体压入被检系统内，使其压力高于大气压。3•气敏半导体检漏仪一一某些半导体材料，在一定的温度|<电阻随环境气氛的不同而变化，尤其对某些可燃性气体特别敏感，这种半导体称为气敏半导体。利用这一特性，采用可燃性气体作为示漏气体，气敏半导体作为敏感元件的仪器叫做气敏半导体检漏仪。检漏时需进行加热，使其处于最佳检漏灵敏度温度。气敏半导体检漏仪釆用压力检漏法。4•氨质谱检漏仪：①原理一一采集被检件中的气体样品并将其电离，由于不同种类的气体具有不同的荷质比，利用磁偏转原理可以将其区分开来，仪器只对其示漏气体氨气有响应信号，而对其他气体没有响应。冃前主要有单极磁偏转型氮质谱检漏仪和双极磁偏转型氨质谱检漏仪。示漏气体一般选择氨气的原因是：质量轻，易于通过漏孔；荷质比小，可以减小偏转半径；氨在空气中的含量少，因此本底信号小；氨的化学性质不活泼，不会发生反应，使用安全。②整体结构一一氨质谱检漏仪一般由质谱室，真空系统和电气系统三部分组成，在必要时还可以配置辅助真空系统。质谱室是检漏仪的心脏，由离子源，分析器和收集器三部分组成。真空系统是提供质谱室正常工作的条件。（注：将书上的图记下来，P139图11—11）电气系统的核心是质谱室的供电和测量。辅助真空系统,它具有预抽被检件，保证检漏仪真空度，进行气体分流等功能。对于体积小，漏气小的系统可以不选用辅助真空系统，对于体积大，漏气大的系统需要选用辅助真空系统。③氨质谱检漏仪的灵敏度：对于氨质谱检漏仪有三种灵敏度一一漏率灵敏度，记作QLemin；分压比灵敏度，记作Pmin；检漏灵敏度，氨质谱检漏仪在实际检漏条件下所能达到的灵敏度，记作qLdniino当氨质谱检漏仪安装在真空系统的不同位置时，所能达到的检漏灵敏度是不同的。氨质谱检漏仪在检漏中的两大重要参数是一一反应时间耳和清除时间6。反应时间指的是输出指示上升到最大值的0.632所需要的时间；清除时间指的是输出指示下降到最大值的0.368所需要的时间。一般情况下巧二®二?④常用的检漏方法：1•喷吹法，属于一种真空检漏法；2•氨罩法，其检漏结果是被罩部位的总漏率，若要确定具体位置，还要釆用喷吹法来进一步检漏；3•检漏盒法，大多用于焊接件的焊缝的检漏；4•充压法，属于一种压力检漏法；5•吸嘴法，该法多用于定性检漏；6•背压检漏法，三个步骤，充压，净化，检漏；7•累计检漏法，适用于岀气和漏气都不大的被检件；8•选择性抽气法，采用对氮，氧，二氧化碳等气体的抽气能力强而对氨抽气能力弱的原理，可以提高检漏的灵敏度；9.逆流氨检漏法，来自被检件的氨气由前级真空侧通入真空系统，然后逆其主泵气流方向到达高真空侧的质谱室。（&：由于该部分的检漏方法较多较杂,请具体对照课本上的内容,仔细阅读,熟练的掌握这九种检漏方法。）四：标准漏孔1•标准漏孔的定义：专门为真空检漏及校准工作而制造，能够在一定